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脉冲偏压下电弧离子镀等离子体负载的等效电路模型及其定量表征被引量：2: 1; 作者戚栋王宁会 +1 位作者林国强董闯《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期176-180,共5页; 为了解决电弧离子镀(AIP)工艺中脉冲偏压电源与AIP等离子体负载间的匹配问题,结合脉冲偏压下AIP工艺实验,运用等离子体鞘层理论、电路理论和仿真模拟技术,得到AIP等离子体负载本质上是由鞘层引起的容性负载,在电路中可以等效为电容和电... 展开更多; 关键词电弧离子镀等离子体负载脉冲偏压电路模型定量表征鞘层; 在线阅读下载PDF 职称材料

脉冲偏压下电弧离子镀等离子体负载的等效电路模型及其定量表征: 2; 作者戚栋王宁会 +1 位作者林国强董闯《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期654-658,共5页; 为了解决电弧离子镀(AIP)工艺中脉冲偏压电源与AIP等离子体负载间的匹配问题,结合脉冲偏压下AIP工艺实验,运用等离子体鞘层理论、电路理论和仿真模拟技术,得到AIP等离子体负载本质上是由鞘层引起的容性负载,在电路中可以等效为电容和电... 展开更多; 关键词电弧离子镀等离子体负载脉冲偏压电路模型定量表征鞘层; 在线阅读下载PDF 职称材料

利用朗缪尔双探针诊断电弧离子镀等离子体参数被引量：15: 3; 作者袁方园陆文琪林国强《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期509-512,共4页; 本文利用朗缪尔双探针对电弧离子镀等离子体进行了诊断。双探针具有收集电流小的优点(小于离子饱和电流),可以避免探针在高密度电弧离子镀等离子体中被烧坏。利用离散傅里叶变换(DFT)对测量曲线进行平滑,有效地克服了电弧离子镀等离子... 展开更多; 关键词朗缪尔双探针电弧离子镀等离子体; 在线阅读下载PDF 职称材料

等离子体增强电弧离子镀1Cr17Ni2不锈钢表面氮化/DLC涂层复合改性研究被引量：2: 4; 作者刘一奇韩克昌 +3 位作者林国强石昌仑卢国英李晓勇《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第1期100-105,共6页; 在等离子体增强电弧离子镀设备中,用热丝增强放电的辉光等离子体对1Cr17Ni2马氏体不锈钢进行表面氮化处理。对氮化层的表面形貌、成分、相结构及性能进行了测试及分析。结果表明,氮化处理后不锈钢的表面硬度从3.67 GPa最高提升到9.25 G... 展开更多; 关键词 1Cr17Ni2不锈钢电弧离子镀等离子体增强氮化/DLC涂层复合改性; 在线阅读下载PDF 职称材料

多弧离子渗金属——利用金属弧光等离子体进行表面合金化的新技术: 5; 作者王福贞唐希源 +2 位作者周友苏万春萍裴显英《中国表面工程》 EI CAS CSCD 1991年第4期12-17,共6页; 本文作者将多弧离子镀技术发展为多弧离子渗金属技术。充分发挥了阴极电弧源产生的金属弧光等离子体的作用。获得了各种渗金属层、渗镀结合层。本文介绍了多弧离子渗金属原理和各种渗金属层的特征。; 关键词离子渗金属多弧离子镀表面结合层电弧等离子体阴极弧光; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种大功率等离子体火炬电源系统及控制策略被引量：3: 6; 作者何敏朱超 +2 位作者贾忠琪孟繁星于子泉《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期312-316,共5页; 在大功率等离子体电弧系统中,采用PWM整流加BUCK斩波电路作为电源系统主电路,通过设计主电路参数与控制环,使电源在稳态运行时具有较强的抵抗负载扰动的能力。对系统进行的仿真模拟结果和实验结果均验证了所提方案的有效性。; 关键词等离子体电弧负载扰动 LCL滤波器; 在线阅读下载PDF 职称材料

物理气相沉积中等离子体参数表征的研究进展被引量：7: 7; 作者曲帅杰郭朝乾 +5 位作者代明江杨昭林松盛王迪田甜石倩《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第10期140-146,185,共8页; 物理气相沉积作为制备表面防护薄膜的重要方法,一直是表面薄膜领域研究重点,而物理气相沉积中等离子体作为直接影响薄膜性能的关键因素,其参数的表征对优化沉积工艺和提高薄膜性能具有重要指导意义。概述了常用物理气相沉积方法及其发展... 展开更多; 关键词物理气相沉积薄膜等离子体参数电弧离子镀磁控溅射发射光谱法 LANGMUIR探针; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名脉冲偏压下电弧离子镀等离子体负载的等效电路模型及其定量表征被引量：2: 1; 作者戚栋王宁会林国强董闯; 机构大连理工大学电气工程系大连理工大学三束材料改性国家重点实验室; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期176-180,共5页; 基金国家高技术研究发展计划资助项目(No.2002AA302507); 文摘为了解决电弧离子镀(AIP)工艺中脉冲偏压电源与AIP等离子体负载间的匹配问题,结合脉冲偏压下AIP工艺实验,运用等离子体鞘层理论、电路理论和仿真模拟技术,得到AIP等离子体负载本质上是由鞘层引起的容性负载,在电路中可以等效为电容和电阻相并联的单元;根据AIP等离子体鞘层演化的特性,将AIP等离子体负载的等效电容表征为与时间无关而只与脉冲偏压幅度和等离子体相关参数有关的量,AIP等离子体负载的等效电阻,可以在直流偏压下通过测量与脉冲偏压幅值对应的AIP等离子体负载电流来确定。经验证,本文建立的AIP等离子体负载的等效电路模型及其定量表征是有效的。; 关键词电弧离子镀等离子体负载脉冲偏压电路模型定量表征鞘层; Keywords AIP plasma load, Pulsed-bias voltage, Circuit model, Quantitative indication, Sheath; 分类号 TN702 [电子电信—电路与系统] O539 [理学—等离子体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名脉冲偏压下电弧离子镀等离子体负载的等效电路模型及其定量表征: 2; 作者戚栋王宁会林国强董闯; 机构大连理工大学电气工程系大连理工大学三束材料改性国家重点实验室; 出处《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期654-658,共5页; 基金国家高技术研究发展计划资助项目(2002AA302507); 文摘为了解决电弧离子镀(AIP)工艺中脉冲偏压电源与AIP等离子体负载间的匹配问题,结合脉冲偏压下AIP工艺实验,运用等离子体鞘层理论、电路理论和仿真模拟技术,得到AIP等离子体负载本质上是由鞘层引起的容性负载,在电路中可以等效为电容和电阻相并联的单元;根据AIP等离子体鞘层演化的特性,将AIP等离子体负载的等效电容表征为与时间无关而只与脉冲偏压幅度和等离子体相关参数有关的量,AIP等离子体负载的等效电阻,可以在直流偏压下通过测量与脉冲偏压幅值对应的AIP等离子体负载电流来确定.经验证,本文建立的AIP等离子体负载的等效电路模型及其定量表征是有效性的.; 关键词电弧离子镀等离子体负载脉冲偏压电路模型定量表征鞘层; Keywords AIP plasma load pulsed - bias voltage circuit model quantitative indication sheath; 分类号 TN702 [电子电信—电路与系统] O539 [理学—等离子体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名利用朗缪尔双探针诊断电弧离子镀等离子体参数被引量：15: 3; 作者袁方园陆文琪林国强; 机构大连理工大学物理与光电工程学院; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期509-512,共4页; 基金国家自然科学基金(批准号:No.50572012 No.60576022) 国家高技术研究发展计划(863)资助项目(批准号:No.2006AA03Z521); 文摘本文利用朗缪尔双探针对电弧离子镀等离子体进行了诊断。双探针具有收集电流小的优点(小于离子饱和电流),可以避免探针在高密度电弧离子镀等离子体中被烧坏。利用离散傅里叶变换(DFT)对测量曲线进行平滑,有效地克服了电弧离子镀等离子体放电所固有的强烈波动。探针端部设计能够避免由薄膜沉积造成的探针与支撑杆短路问题。实验结果表明,等离子体密度随着弧电流和气压的增加而增加,而电子温度随着弧电流和气压变化不明显。另外,使用双靶放电等离子体密度和电子温度高于单靶放电。这些结果提供了电弧离子镀等离子体的基本参数,对于材料涂层工艺研究具有积极意义。; 关键词朗缪尔双探针电弧离子镀等离子体; Keywords Langmuir double probe, Arc ion plating, Plasma; 分类号 TN43 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名等离子体增强电弧离子镀1Cr17Ni2不锈钢表面氮化/DLC涂层复合改性研究被引量：2: 4; 作者刘一奇韩克昌林国强石昌仑卢国英李晓勇; 机构大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室常州夸克涂层科技有限公司沈阳飞机工业(集团)有限公司; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第1期100-105,共6页; 文摘在等离子体增强电弧离子镀设备中,用热丝增强放电的辉光等离子体对1Cr17Ni2马氏体不锈钢进行表面氮化处理。对氮化层的表面形貌、成分、相结构及性能进行了测试及分析。结果表明,氮化处理后不锈钢的表面硬度从3.67 GPa最高提升到9.25 GPa,并且在50μm深的范围内保持7.32 GPa以上的硬度,改性层内有CrN和Fe_2N新相生成是硬化的主要原因,不过与基体相比,摩擦系数仅从1.1略微降低到0.9。在氮化预处理的基础上,再一体化用碳靶阴极弧等离子体对1Cr17Ni2钢进行氮化/DLC涂层复合改性处理,对表面DLC涂层改性层的品质及性能进行了测试与分析。结果表明,复合改性处理后,因表面得到1.5μm厚的高品质的DLC涂层,及氮化预处理使得表面硬度有梯度提升,使1Cr17Ni2钢的整体表面硬度进一步提高到17.06 GPa,且摩擦系数显著降低到0.08。; 关键词 1Cr17Ni2不锈钢电弧离子镀等离子体增强氮化/DLC涂层复合改性; Keywords 1Cr17Ni2 stainless steel Arc ion plating Plasma enhanced Nitriding/DLC coating composite modification; 分类号 TG156 [金属学及工艺—热处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名多弧离子渗金属——利用金属弧光等离子体进行表面合金化的新技术: 5; 作者王福贞唐希源周友苏万春萍裴显英; 机构北京联合大学机械工程学院; 出处《中国表面工程》 EI CAS CSCD 1991年第4期12-17,共6页; 基金国家自然科学基金; 文摘本文作者将多弧离子镀技术发展为多弧离子渗金属技术。充分发挥了阴极电弧源产生的金属弧光等离子体的作用。获得了各种渗金属层、渗镀结合层。本文介绍了多弧离子渗金属原理和各种渗金属层的特征。; 关键词离子渗金属多弧离子镀表面结合层电弧等离子体阴极弧光; 分类号 TG174 [金属学及工艺—金属表面处理] TG156.8 [金属学及工艺—热处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种大功率等离子体火炬电源系统及控制策略被引量：3: 6; 作者何敏朱超贾忠琪孟繁星于子泉; 机构中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所; 出处《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期312-316,共5页; 文摘在大功率等离子体电弧系统中,采用PWM整流加BUCK斩波电路作为电源系统主电路,通过设计主电路参数与控制环,使电源在稳态运行时具有较强的抵抗负载扰动的能力。对系统进行的仿真模拟结果和实验结果均验证了所提方案的有效性。; 关键词等离子体电弧负载扰动 LCL滤波器; Keywords Plasma arc Load disturbance LCL filter; 分类号 TM46 [电气工程—电器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名物理气相沉积中等离子体参数表征的研究进展被引量：7: 7; 作者曲帅杰郭朝乾代明江杨昭林松盛王迪田甜石倩; 机构中南大学材料科学与工程学院广东省科学院新材料研究所现代材料表面工程技术国家工程实验室广东省现代表面工程技术重点实验室; 出处《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第10期140-146,185,共8页; 文摘物理气相沉积作为制备表面防护薄膜的重要方法,一直是表面薄膜领域研究重点,而物理气相沉积中等离子体作为直接影响薄膜性能的关键因素,其参数的表征对优化沉积工艺和提高薄膜性能具有重要指导意义。概述了常用物理气相沉积方法及其发展,包括电弧离子镀、磁控溅射和电弧磁控复合技术的原理及发展历程。归纳了目前生产中常用的等离子体参数表征方法——Langmuir探针法、汤姆逊散射法、微波干涉法和发射光谱法,阐明了这些表征方法诊断等离子体参数的原理,分析了不同表征方法的优缺点和存在的主要问题,并对常用物理气相沉积中等离子体参数表征相关研究的发展和现状作了综合论述和总结,分别整理了电弧离子镀和磁控溅射中等离子体参数诊断的发展历程和近期研究。两种物理气相沉积方法最常用的等离子体参数表征方法都是Langmuir探针法和发射光谱法,早期的研究侧重于探索等离子体瞬态参数和薄膜结构性能的关系。随着现代技术的进步,早期诊断方法不断与新技术融合,研究方向也逐渐偏向于研究等离子体参数的时间变化和优化薄膜工艺、性能评价方法。最后分析了当前物理气相沉积中等离子体参数表征存在的问题和不足,展望了等离子体参数未来的研究趋势。; 关键词物理气相沉积薄膜等离子体参数电弧离子镀磁控溅射发射光谱法 LANGMUIR探针; Keywords physical vapor deposition thin film plasma parameters arc ion plating magnetron sputtering emission spectroscopy Langmuir probe; 分类号 TG174.442 [金属学及工艺—金属表面处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	脉冲偏压下电弧离子镀等离子体负载的等效电路模型及其定量表征	戚栋王宁会林国强董闯	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2006	2	在线阅读下载PDF 职称材料
2	脉冲偏压下电弧离子镀等离子体负载的等效电路模型及其定量表征	戚栋王宁会林国强董闯	《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心	2008	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	利用朗缪尔双探针诊断电弧离子镀等离子体参数	袁方园陆文琪林国强	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2009	15	在线阅读下载PDF 职称材料
4	等离子体增强电弧离子镀1Cr17Ni2不锈钢表面氮化/DLC涂层复合改性研究	刘一奇韩克昌林国强石昌仑卢国英李晓勇	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2017	2	在线阅读下载PDF 职称材料
5	多弧离子渗金属——利用金属弧光等离子体进行表面合金化的新技术	王福贞唐希源周友苏万春萍裴显英	《中国表面工程》 EI CAS CSCD	1991	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	一种大功率等离子体火炬电源系统及控制策略	何敏朱超贾忠琪孟繁星于子泉	《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心	2023	3	在线阅读下载PDF 职称材料
7	物理气相沉积中等离子体参数表征的研究进展	曲帅杰郭朝乾代明江杨昭林松盛王迪田甜石倩	《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心	2021	7	在线阅读下载PDF 职称材料