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题名应用于MEMS加速度计的电容式检测电路设计
被引量：3
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作者
代志双
徐亮
谢亮
金湘亮
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机构
湘潭大学物理与光电工程学院
微光电与系统集成湖南省工程实验室
湖南师范大学物理与电子科学学院
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
2020年第5期77-80,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(61774129,61827812)。
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文摘
基于相关双采样、斩波技术以及电容自适应校准技术,设计了一种低噪声、高动态范围的全差分电容式微系统(MEMS)加速度计检测电路。在检测电路感应电容中采用电容自适应校准技术,消除电容失配,提高检测范围;在开关电容低通滤波器中加入斩波,降低滤波器噪声;控制滤波器时序,消除电荷注入引起的非线性。在5 V电源供电下,仿真结果表明:检测电路输出线性电压范围为±3 V,在0.01~300 Hz范围内,等效输出噪声为650 nV,检测动态范围高于120 dB。
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关键词
低噪声
高动态范围
微系统(MEMS)加速度计
电容自适应校准
相关双采样
斩波技术
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Keywords
low noise
high dynamic range
MEMS accelerometer
capacitive adaptive calibration
correlated double sampling
chopping technology
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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