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高精度电容测微仪关键技术 被引量:9
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作者 李建文 刘书亮 +2 位作者 付敬业 周涛 郑义忠 《天津大学学报(自然科学与工程技术版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第9期787-791,共5页
针对非接触式电容测微技术的应用问题,介绍了非接触式高精度电容测微仪的基本工作原理及关键技术,给出了仪器的主要结构,对仪器电路进行了模块化设计,研究分析了实际测量过程中不可避免的各种误差,并提出了相应的消除或修正方法.研究结... 针对非接触式电容测微技术的应用问题,介绍了非接触式高精度电容测微仪的基本工作原理及关键技术,给出了仪器的主要结构,对仪器电路进行了模块化设计,研究分析了实际测量过程中不可避免的各种误差,并提出了相应的消除或修正方法.研究结果表明,探头的有效直径为1mm时,仪器的分辨率可达1nm,测量范围为±5μm.探头的有效直径为9mm时,分辨率可降到0.1μm,测量范围可扩大到±1mm,动态频响0~4kHz. 展开更多
关键词 电容测微仪 非接触 误差修正
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电容测微仪动态特性的改进及标定方法 被引量:6
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作者 张宇华 王晓琳 +1 位作者 张国雄 郑义忠 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 1999年第1期87-91,共5页
目的对一种高精度、高频响的电容测微仪系统进行改进.方法以8阶Butter-worth滤波器MAX291为核心元件,设计了该系统的动态测量电路,提出了电容测微仪系统动态特性的测试与标定方法.结果与结论改进后的电容测微仪... 目的对一种高精度、高频响的电容测微仪系统进行改进.方法以8阶Butter-worth滤波器MAX291为核心元件,设计了该系统的动态测量电路,提出了电容测微仪系统动态特性的测试与标定方法.结果与结论改进后的电容测微仪在±10μm的量程内非线性误差最大不超过0.80%,重复性精度优于0.15%,测量精度优于0.10μm,频响范围达4.2kHz. 展开更多
关键词 电容测微仪 标定法 主轴 机床 回转运动精度
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数字式微型化低功耗电容测微仪的研究 被引量:3
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作者 刘宇 王宝光 +1 位作者 刘健 孙春生 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第7期1502-1505,共4页
介绍一种新型电容测微仪.通过测头与测量电路的一体化设计,精缩了仪器体积;采用差动测头结构,减少了由于环境变化引起的测量误差;使用数字信号传输测量结果,增加了信号的传输距离,提高了抗干扰能力.给出了电容量和被测距离之间的非线性... 介绍一种新型电容测微仪.通过测头与测量电路的一体化设计,精缩了仪器体积;采用差动测头结构,减少了由于环境变化引起的测量误差;使用数字信号传输测量结果,增加了信号的传输距离,提高了抗干扰能力.给出了电容量和被测距离之间的非线性关系的直线拟合方法.研究结果表明:有效直径为3 mm的传感器测量范围为±80μm,分辨力达到0.01μm,时间稳定性达到0.01μm/h. 展开更多
关键词 数字式 微型化 电容测微仪 直线拟合
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高精度电容测微仪的自校正方法 被引量:2
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作者 李建文 付敬业 +3 位作者 张洪刚 赵玉春 郑义忠 叶声华 《计量学报》 CSCD 北大核心 2001年第3期181-184,共4页
本文详细叙述了一种电容测微仪的自校正方法 ,并就其工作原理进行了讨论。采用这种方法不需要其它高精度标准 ,仅利用两相同精度的电容传感器和自校正装置即可进行多次相互校准 ,最终得到各自准确度达到自身能力极限的校正结果。
关键词 电容测微仪 自校正 线性误差 工作原理 试验装置 电容传感器
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智能电容测微仪系统 被引量:2
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作者 赵晋云 樊玉铭 张国雄 《电子测量技术》 2005年第4期11-12,共2页
文中剖析电容测微关键技术,设计以单片机C8051F060为控制核心的一种智能化高精度电容测微仪系统,解决测量仪器的随机漂移的难题,并给出其软硬件设计和实现方法。该测量系统具有测量精度高、抗干扰能力强、自动化程度高及成本低等优点。
关键词 电容传感器 驱动电缆技术 电容测微仪 量系统 智能化 软硬件设计 抗干扰能力 自动化程度 随机漂移 量仪器
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改进电容测微仪稳定性的技术措施 被引量:7
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作者 赵树忠 郑义忠 《中国测试技术》 2003年第5期7-9,共3页
简述了JDC系列精密电容测微仪的组成原理,介绍了为改进仪器的稳定性而对稳压电源、主放大器、参比电容、传感器、滤波电路等组成环节所采取的一些技术措施。
关键词 电容测微仪 稳定性 稳压电源 主放大器 参比电容 传感器 滤波电路 改进 精度
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运算式电容测微仪解调滤波器动态特性优化 被引量:1
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作者 赵树忠 李科 《中国测试》 CAS 北大核心 2015年第4期118-121,共4页
为改善运算式电容测微仪的动态特性,扩展其动态测量范围,对影响其动态特性最大的解调滤波器的参数进行优化。以解调滤波器动态特性的理论分析为基础,通过Matlab仿真以及实验确定解调滤波器的优化参数,同时对解调滤波器的动态特性进行实... 为改善运算式电容测微仪的动态特性,扩展其动态测量范围,对影响其动态特性最大的解调滤波器的参数进行优化。以解调滤波器动态特性的理论分析为基础,通过Matlab仿真以及实验确定解调滤波器的优化参数,同时对解调滤波器的动态特性进行实际测试。测试结果表明:优化后,滤波器在0~2 k Hz的工作频率范围内,幅频特性的变化不超过3%,其动态特性较好地满足不失真测试条件的要求,可将电容测微仪的动态测量范围扩展到0~2 k Hz。 展开更多
关键词 电容测微仪 滤波器 解调 动态特性 失真
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新型电平衡式差动电容测微仪
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作者 沈申生 杨奕 华亮 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2005年第11期24-26,共3页
阐述了新型电平衡式差动电容测微仪的工作原理、硬件结构设计及其软件实现方法。应用LabVIEW对传感器的输出信号进行检测,获得位移数据、曲线和图形。与其他测微仪相比,具有更高的灵敏度、更高的检测精度和更好的线性度。
关键词 差动电容 电容测微仪 LABVIEW
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JDC智能化精密电容测微仪 被引量:1
9
作者 赵树忠 郑义忠 《实用测试技术》 1996年第5期42-43,24,共3页
JDC智能化精密电容测微仪赵树忠,郑义忠(河北承德石油高等专科学校,067000)JDC智能化精密电容测微仪是天津大学精仪系最新研制出来的一种高精度、可测量多种工程参数的智能比测量仪器。它具有量程大、线性好、动态范围... JDC智能化精密电容测微仪赵树忠,郑义忠(河北承德石油高等专科学校,067000)JDC智能化精密电容测微仪是天津大学精仪系最新研制出来的一种高精度、可测量多种工程参数的智能比测量仪器。它具有量程大、线性好、动态范围宽、功能强等一系列特点,特别适合于... 展开更多
关键词 电容测微仪 电气
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数字式电容测微仪的研制 被引量:2
10
作者 李红燕 李均 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第2期22-26,共5页
本文研制了一种用于微位移和振动测量的新型仪器——数字式电容测微仪,介绍了它的工作原理、性能指标以及特点,分析了电容传感器两极板不平行对测量精度的影响程度。测试表明该仪器具有体积小、精度高、成本低等优点,具有广泛的应用前景。
关键词 电容传感器 电容测微仪 数字式
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数字式电容测微仪及其精度的提高 被引量:2
11
作者 秦明暖 李均 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1993年第6期49-54,共6页
本文介绍一种新型的高精度微位移测量仪器一数字式电容测微仪,它可以广泛应用于工件形状误差、尺寸参数的精密测量以及机械振动、冲击的动态测试。本文在误差分析的基础上,提出改进措施,以期提高仪器的测量精度,理论分析和实验表明改进... 本文介绍一种新型的高精度微位移测量仪器一数字式电容测微仪,它可以广泛应用于工件形状误差、尺寸参数的精密测量以及机械振动、冲击的动态测试。本文在误差分析的基础上,提出改进措施,以期提高仪器的测量精度,理论分析和实验表明改进措施是有效的。 展开更多
关键词 微位移 量误差 电容测微仪
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利用钢丝-电容测微仪法测量机床竖直运动直线度和滚动误差
12
作者 臧艳芬 刘向阳 +1 位作者 张国雄 郑义忠 《计量学报》 CSCD 1995年第1期42-45,共4页
介绍了一种测量机床竖直运动直线度和滚动误差的新方法。以悬挂在被测机床刀架附近的竖直钢丝作为测量基准,用固定在刀架位置的电容测头瞄准钢丝,当机床主轴竖直运动时,机床主轴上的刀架系统相对于竖直方向的运动直线误差可由电容测... 介绍了一种测量机床竖直运动直线度和滚动误差的新方法。以悬挂在被测机床刀架附近的竖直钢丝作为测量基准,用固定在刀架位置的电容测头瞄准钢丝,当机床主轴竖直运动时,机床主轴上的刀架系统相对于竖直方向的运动直线误差可由电容测微仪测得,钢丝本身的直线度可用转位法消除。再增加一个测微仪,还可测出导轨本身的直线度误差。将刀架沿水平方向运动到两个不同位置,分别测出两位置处的竖直运动直线度误差,由这两组数据可以计算出机床竖直运动时的滚动误差。 展开更多
关键词 钢丝 电容测微仪 机床 直线度 滚动
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电容传感器及其纳米量级定位技术 被引量:10
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作者 张洪刚 吴敬国 郑义忠 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2001年第10期3-5,共3页
介绍了大型天体望远镜光学镜面面形的控制方法和工作原理。该大型天体望远镜 10m直径的主镜由 36块对角线长 1.8m的六角形子镜拼接而成 ,应用电容测微技术使此超大型镜面的共面性达到纳米量级的定位控制。通过检测原理的分析 ,阐述了电... 介绍了大型天体望远镜光学镜面面形的控制方法和工作原理。该大型天体望远镜 10m直径的主镜由 36块对角线长 1.8m的六角形子镜拼接而成 ,应用电容测微技术使此超大型镜面的共面性达到纳米量级的定位控制。通过检测原理的分析 ,阐述了电容式传感器在使用中提高其准确度和长期稳定性的理论分析和具体技术措施 ,并提出新型涂敷式差动传感器 ,采用新材料和高集成度的新器件 ,以满足传感器在温。 展开更多
关键词 电容测微仪 天文望远镜 电容传感器 面形控制 定位
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盲孔深度的精确测量方法研究 被引量:5
14
作者 王宝光 张恒 +1 位作者 钱征宇 郑义忠 《计量学报》 EI CSCD 北大核心 2006年第3期228-231,共4页
当盲孔深度允差在微米量级,且其深度是相对某基准面而言时,这种深度测量一直是当前精密测量中的一个难点。根据被测对象的实际安装工况,设计出一种非接触式的多传感器组合测量法。组合测量克服了单一传感器数据的片面性和不确定性,利用... 当盲孔深度允差在微米量级,且其深度是相对某基准面而言时,这种深度测量一直是当前精密测量中的一个难点。根据被测对象的实际安装工况,设计出一种非接触式的多传感器组合测量法。组合测量克服了单一传感器数据的片面性和不确定性,利用多传感器对环境敏感所产生漂移的同向性抑制了单一传感器数据的漂移,提高了测量的稳定性,克服了单一传感器无法进行形位误差测量的缺陷。实验证明了该方法的可行性,测量精度优于2μm。 展开更多
关键词 计量学 盲孔深度 多传感器 非接触式 电容测微仪
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圆度误差在线检测系统 被引量:5
15
作者 王春海 陈明 石望远 《电子测量技术》 2005年第2期86-87,共2页
文中介绍以单片机为核心的车削加工圆度在线检测系统的构成和测试原理,该系统采用非接触式电容测微仪拾取所需信号,在主轴位置脉冲的配合下,由单片机进行数据处理得到工件的圆度误差。系统精度高、结构简单、成本低,具有良好的应用前景。
关键词 在线检系统 圆度误差 电容测微仪 试原理 车削加工 非接触式 主轴位置 数据处理 系统精度 单片机 成本低
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电容传感器与LabView在内镶式滴灌管在线监控系统中的应用 被引量:1
16
作者 宋丽梅 李斐 +3 位作者 宋立斌 郑义忠 郭强 李平 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2003年第9期25-27,52,共4页
在线监控系统可以有效的控制加工生产线的误差趋势,提高产品质量,并减少废品的产生。内镶式滴灌管是干旱地区的节水灌溉设备,其加工和打孔精度都有很高的要求。采用非接触式高精度电容测微仪和LabView对滴灌管生产线进行在线检测和控制... 在线监控系统可以有效的控制加工生产线的误差趋势,提高产品质量,并减少废品的产生。内镶式滴灌管是干旱地区的节水灌溉设备,其加工和打孔精度都有很高的要求。采用非接触式高精度电容测微仪和LabView对滴灌管生产线进行在线检测和控制。高精度电容测微仪通过A/D采集板将电压信号的微变传入计算机,然后利用LabView软件中的虚拟仪器、虚拟信号处理等模块进行实时数据采集、数据处理、误差超差报警及打孔控制等功能。详细论述了测控系统的原理、强噪声的排除及并口控制等关键技术。 展开更多
关键词 内镶式滴灌管 在线监控系统 电容传感器 LABVIEW 匹配滤波器 电容测微仪
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超精密车床的闭环控制系统 被引量:1
17
作者 汪建新 董申 +1 位作者 刘晋春 李国伟 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期434-434,共1页
超精密车床的闭环控制系统汪建新,董申,刘晋春,李国伟(哈尔滨工业大学特种加工研究室)本机床主要用于车削圆柱面、端面、沟槽和圆锥面。要求机床分辨率为0.01μm。机床的运动是通过精密伺服电机、精密丝杠和十六位工业控制机... 超精密车床的闭环控制系统汪建新,董申,刘晋春,李国伟(哈尔滨工业大学特种加工研究室)本机床主要用于车削圆柱面、端面、沟槽和圆锥面。要求机床分辨率为0.01μm。机床的运动是通过精密伺服电机、精密丝杠和十六位工业控制机来控制的,使用双路双频激光干涉仪实... 展开更多
关键词 超精密车床 闭环控制系统 微动刀架 干涉仪 伺服电机 工控机 工业控制机 双频激光 电容测微仪 分辨率
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