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基于电容检测接口ASIC的闭环微机械加速度计被引量：1: 1; 作者刘民杰刘云峰董景新《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2012年第1期90-93,共4页; 对于采用微传感器和接口ASIC两芯片方案来实现的电容式微机械加速度计来说,寄生电容是影响其性能的重要因素之一。采用采样电荷结构,设计实现了电容检测接口ASIC电路,该电路具有对寄生电容不敏感的特点,并在0.35-μm CMOS标准工艺下流... 展开更多; 关键词微机械加速度计电容检测接口专用集成电路寄生电容; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于时分复用全差分技术的电容检测模拟接口ASIC: 2; 作者方硕侯长波 +2 位作者王立晶刘云涛邵雷《实验技术与管理》北大核心 2025年第8期133-140,共8页; 为了提高MEMS微传感器的检测精度和检测范围,该文提出一种新型时分复用全差分电容检测接口ASIC(application specific integrated circuit,专用集成电路)。该ASIC采用新型时分复用全差分电容-电压转换器代替了传统的全桥传感结构,通过... 展开更多; 关键词电容检测接口asic 时分复用全差分分辨率; 在线阅读下载PDF 职称材料

双电容接口式微机械陀螺的信号检测方法被引量：2: 3; 作者莫冰刘晓为 +3 位作者谭晓昀尹亮丁学伟汤佳郁《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期2236-2239,共4页; 在研究双电容接口式微机械陀螺结构与分析传统差分电容检测方法对其驱动力的影响的基础上,提出了一种适合于该陀螺的新型信号检测方法,此方法具有两个显著特点:第一,能够使公共电容极板偏置到零电压,消除其对驱动力的影响,进而提高微机... 展开更多; 关键词微机械陀螺驱动力双电容接口信号检测; 在线阅读下载PDF 职称材料

具有自检测功能的闭环加速度计接口电路设计(英文) 被引量：5: 4; 作者刘云涛尹亮 +1 位作者陈伟平吴群《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1379-1384,共6页; 为了改善微机电系统(MEMS)电容式加速度计的噪声特性,提出了一种基于开关电容的低噪声闭环接口电路。该电路采用电荷积分器作为前级预放大装置,对寄生电容不敏感,而且具有非常低的噪声。采用相关双采样(CDS)技术消除了1/f噪声和运算放... 展开更多; 关键词加速度计闭环控制自检测开关电容接口电路; 在线阅读下载PDF 职称材料

电容式微机械陀螺接口电路被引量：6: 5; 作者蒋庆华苑伟政常洪龙《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期2223-2225,共3页; 接口电路是电容式微机械陀螺研制中的关键技术之一.给出了一种通用的电容式微机械陀螺接口电路方案.该方案包括电容检测和信号处理两个模块.相位相反幅度相同的两路高频载波加在敏感差动电容的两端形成敏感电桥,另一频率的高频载波叠加... 展开更多; 关键词微机械陀螺电容检测电桥电荷放大器接口电路电容传感器; 在线阅读下载PDF 职称材料

硅微机械陀螺的接口检测技术被引量：4: 6; 作者李万玉阮爱武 +1 位作者罗晋生冯培德《传感器技术》 CSCD 1999年第3期40-42,共3页; 研究了微陀螺的电容变化率为１０－７～１０－８时的微弱输出信号的检测技术，这是微机械器件研制中具有普遍性的技术难点。在研究检测微小电容变化量的积分电路的基础上，进一步采用了可抑制低频噪声和漂移的相关双采样技术，以及抑制... 展开更多; 关键词微机械陀螺寄生电容积分电路硅接口检测技术; 在线阅读下载PDF 职称材料

新型运载火箭中电容式液位传感器接口专用集成电路被引量：1: 7; 作者陈威黄诚 +2 位作者秦尧张国瑞尹亮《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第4期875-883,共9页; 为了提高新型航天运载火箭中电容式液位传感器系统的电容检测性能,设计了一款适用于航天运载火箭中电容式液位传感器的接口专用集成电路(Application Specitic Integrated Circuit,ASIC)芯片。首先,完成了整体电路的系统级设计,实现了... 展开更多; 关键词电容式液位传感器微弱电容检测接口asic芯片开关电容电路; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于电容检测接口ASIC的闭环微机械加速度计被引量：1: 1; 作者刘民杰刘云峰董景新; 机构清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室; 出处《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2012年第1期90-93,共4页; 基金国家十二五预研基金资助项目(51309020301) 中国博士后科学基金资助项目(2011M500291); 文摘对于采用微传感器和接口ASIC两芯片方案来实现的电容式微机械加速度计来说,寄生电容是影响其性能的重要因素之一。采用采样电荷结构,设计实现了电容检测接口ASIC电路,该电路具有对寄生电容不敏感的特点,并在0.35-μm CMOS标准工艺下流片实现。基于流片得到的电容检测ASIC样片,以梳齿式硅微传感器为敏感元件,采用滞后比例积分调节器,通过力平衡反馈方案设计实现了一种闭环微机械加速度计。实验结果表明:该闭环微加速度计的灵敏度为650 mV/g,噪声基底为23.17μg Hz。; 关键词微机械加速度计电容检测接口专用集成电路寄生电容; Keywords micro-accelerometer capacitive sensing interface asic parasitic capacitors; 分类号 U666.1 [交通运输工程—船舶及航道工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于时分复用全差分技术的电容检测模拟接口ASIC: 2; 作者方硕侯长波王立晶刘云涛邵雷; 机构哈尔滨工程大学信息与通信工程学院先进船舶通信与信息技术工信部重点实验室; 出处《实验技术与管理》北大核心 2025年第8期133-140,共8页; 基金国家自然科学基金重大仪器研制项目(62027814) 国家自然科学基金项目(62104054) 黑龙江省教改项目(SJGY20220121)。; 文摘为了提高MEMS微传感器的检测精度和检测范围,该文提出一种新型时分复用全差分电容检测接口ASIC(application specific integrated circuit,专用集成电路)。该ASIC采用新型时分复用全差分电容-电压转换器代替了传统的全桥传感结构,通过降低虚拟地节点的电荷转移增益,可以极大地抑制共模电压的影响。该文还采用了一种差分开关电容型可编程增益放大器。在连接MEMS微加速度计后,该接口ASIC的检测灵敏度达到1.342 V/g,检测范围达到±3 g。噪声性能和偏置稳定性显著提高,底噪为10.5μg/Hz^(1/2),4 h内最大输出变化量仅为0.3 mV,温度灵敏度比仅为0.007‰/℃。该接口ASIC还具有驱动电压低(5 V)、功耗低(7.5 mW)以及带宽大(1.5 kH_(Z))等优点。相比于当前国内外其他文献的报道,该接口ASIC结构性能具有显著优势。所提出的时分复用全差分电容检测技术进一步提高了电容检测的精度上限,将显著推动高精度MEMS微传感器系统的发展与应用。; 关键词电容检测接口asic 时分复用全差分分辨率; Keywords capacitance detection interface asic time-multiplexed fully differential resolution; 分类号 P235.1 [天文地球—摄影测量与遥感]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名双电容接口式微机械陀螺的信号检测方法被引量：2: 3; 作者莫冰刘晓为谭晓昀尹亮丁学伟汤佳郁; 机构哈尔滨工业大学MEMS中心; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期2236-2239,共4页; 文摘在研究双电容接口式微机械陀螺结构与分析传统差分电容检测方法对其驱动力的影响的基础上,提出了一种适合于该陀螺的新型信号检测方法,此方法具有两个显著特点:第一,能够使公共电容极板偏置到零电压,消除其对驱动力的影响,进而提高微机械陀螺的系统灵敏度;第二,能够消除直流电压的不匹配以及失调电压对输出信号的影响.最后,通过HSPICE软件仿真验证了该方法的可行性.; 关键词微机械陀螺驱动力双电容接口信号检测; Keywords micromachined gyroscope driving force double capacitive output signal detecting; 分类号 TN492 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名具有自检测功能的闭环加速度计接口电路设计(英文) 被引量：5: 4; 作者刘云涛尹亮陈伟平吴群; 机构哈尔滨工业大学MEMS中心哈尔滨工程大学信息与通信工程学院微系统与微结构制造教育部重点实验室; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1379-1384,共6页; 基金 Supported by the National Hi-Tech Research and Development Program of China (863 Program)(Grant No .2008AA042201); 文摘为了改善微机电系统(MEMS)电容式加速度计的噪声特性,提出了一种基于开关电容的低噪声闭环接口电路。该电路采用电荷积分器作为前级预放大装置,对寄生电容不敏感,而且具有非常低的噪声。采用相关双采样(CDS)技术消除了1/f噪声和运算放大器失调电压的影响。同时,为了改善系统的动态响应特性,反馈部分采用积分电路,提高了系统阻尼比和响应速度。利用电荷泻放通道实现了自检测功能。采用0.5μm CMOS工艺完成了版图设计,仿真结果表明,系统灵敏度为0.115V/g,非线性度<0.12 %,可检测的最小加速度为20μg,自检测输出与自检测电压成正比。; 关键词加速度计闭环控制自检测开关电容接口电路; Keywords accelerometer closed loop control self-test switched-capacitor interface circuit; 分类号 TH824.4 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电容式微机械陀螺接口电路被引量：6: 5; 作者蒋庆华苑伟政常洪龙; 机构西北工业大学微/纳米系统实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期2223-2225,共3页; 基金国家自然科学基金项目资助(50505038); 文摘接口电路是电容式微机械陀螺研制中的关键技术之一.给出了一种通用的电容式微机械陀螺接口电路方案.该方案包括电容检测和信号处理两个模块.相位相反幅度相同的两路高频载波加在敏感差动电容的两端形成敏感电桥,另一频率的高频载波叠加了驱动信号后加在驱动差动电容两端形成驱动电桥,质量块作为所有电容的公共端连接两电桥接虚地的放大器,构成前置电容检测模块;后续的带通滤波电路将驱动和敏感信号分离,各自解调滤波得到两个模态相应的振动信息,驱动振动对敏感振动再次解调即可得到和输入角速度信号成线性关系的直流电压.采用音叉电容式陀螺进行实验,结果表明该电路能够有效的能够有效的抑制寄生电容和各个接口电容之间电耦合的,电容分辨率可以达到10-15F.; 关键词微机械陀螺电容检测电桥电荷放大器接口电路电容传感器; Keywords capacitive sensors charge amplifier microgyroscopes Interface circuits MEMS; 分类号 TH7 [机械工程—精密仪器及机械] V241.5 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名硅微机械陀螺的接口检测技术被引量：4: 6; 作者李万玉阮爱武罗晋生冯培德; 机构航空工业总公司第西北工业大学自动控制系西安交通大学电子与信息学院; 出处《传感器技术》 CSCD 1999年第3期40-42,共3页; 文摘研究了微陀螺的电容变化率为１０－７～１０－８时的微弱输出信号的检测技术，这是微机械器件研制中具有普遍性的技术难点。在研究检测微小电容变化量的积分电路的基础上，进一步采用了可抑制低频噪声和漂移的相关双采样技术，以及抑制由开关的电荷注入引起的误差的技术。; 关键词微机械陀螺寄生电容积分电路硅接口检测技术; Keywords Micromachined gyroscopesParasitic capacitorsIntegratorCharge injectionCorrelated double sampling; 分类号 V241.550.6 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名新型运载火箭中电容式液位传感器接口专用集成电路被引量：1: 7; 作者陈威黄诚秦尧张国瑞尹亮; 机构上海航天设备制造总厂哈尔滨工业大学MEMS中心; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第4期875-883,共9页; 基金上海航天科技创新基金资助项目(No.SAST2015052); 文摘为了提高新型航天运载火箭中电容式液位传感器系统的电容检测性能,设计了一款适用于航天运载火箭中电容式液位传感器的接口专用集成电路(Application Specitic Integrated Circuit,ASIC)芯片。首先,完成了整体电路的系统级设计,实现了对电容式液位传感器输出电容的线性检测,将传感器输出电容量转化为与之呈线性关系的电压量输出。然后,对接口ASIC芯片的线性度、噪声特性和温度环境适应性进行了理论分析与研究。最后,采用0.5μm CMOS工艺完成接口ASIC的流片,并进行了芯片的性能测试。实际测试结果显示,芯片电容检测非线性为0.005%,输出噪声密度3.7aF/Hz^(1/2)(待测电容40pF),电容测量稳定性7.4×10-5 pF(参考电容40pF,待测电容40pF,1σ,1h),输出零位温度系数4.5μV/℃。测试结果证明,该接口ASIC的电容检测性能已经达到国外最高性能的电容式液位传感器液位测量芯片的水准,可以广泛应用到多种电容式检测传感器中。; 关键词电容式液位传感器微弱电容检测接口asic芯片开关电容电路; Keywords capacitive liquid level sensor weak-capacitance detection interface Application Specitic Integrated Circuit(asic) switched-capacitor circuits; 分类号 TP212.9 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	基于电容检测接口ASIC的闭环微机械加速度计	刘民杰刘云峰董景新	《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心	2012	1	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于时分复用全差分技术的电容检测模拟接口ASIC	方硕侯长波王立晶刘云涛邵雷	《实验技术与管理》北大核心	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	双电容接口式微机械陀螺的信号检测方法	莫冰刘晓为谭晓昀尹亮丁学伟汤佳郁	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2006	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	具有自检测功能的闭环加速度计接口电路设计(英文)	刘云涛尹亮陈伟平吴群	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2009	5	在线阅读下载PDF 职称材料
5	电容式微机械陀螺接口电路	蒋庆华苑伟政常洪龙	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2006	6	在线阅读下载PDF 职称材料
6	硅微机械陀螺的接口检测技术	李万玉阮爱武罗晋生冯培德	《传感器技术》 CSCD	1999	4	在线阅读下载PDF 职称材料
7	新型运载火箭中电容式液位传感器接口专用集成电路	陈威黄诚秦尧张国瑞尹亮	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2018	1	在线阅读下载PDF 职称材料