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MEMS电容式超声传感器设计被引量：16: 1; 作者于佳琪何常德 +4 位作者张永平苗静李玉平薛晨阳张文栋《压电与声光》 CSCD 北大核心 2013年第5期706-710,共5页; 在传统的电容式超声传感器(CMUT)制造过程中,用低压化学气相淀积技术形成的氮化硅薄膜残余应力大且机械性能难以预知。为此,设计了一种基于阳极键合技术的CMUT,传感器薄膜和空腔分别定义在均匀性好、残余应力低的SOI片和玻璃片上。建立... 展开更多; 关键词电容式超声传感器微机电系统（MEMS）阳极键合 ANSYS 工艺流程; 在线阅读下载PDF 职称材料

支撑柱型电容式超声传感器有限元分析: 2; 作者李英拓金积德郑庆祥《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第6期936-939,共4页; 利用COMSOL软件建立简化的分析模型,对支撑柱型电容式超声传感器(CMUT)模型进行有限元分析,并将其与圆形空腔CMUT模型进行对比。结果表明,支撑柱型CMUT模型的共振频率为10 kHz,塌陷电压为52 V,有利于进行低频化设计。与圆形空腔CMUT模... 展开更多; 关键词电容式超声传感器 COMSOL 支撑柱型有限元分析低频化; 在线阅读下载PDF 职称材料

电容式MEMS超声传感器设计与分析被引量：6: 3; 作者李玉平何常德 +3 位作者张娟婷张慧宋金龙薛晨阳《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2014年第11期73-75,共3页; 目前电容式MEMS超声传感器(CMUS)多为收发一体结构,但二种工作模式对传感器结构要求存在很大差异,设计时为了兼顾收发性能往往不能使传感器性能达到最优;此外,传统的电容式MEMS超声传感器还存在寄生电容大的缺点。针对以上问题,基于收... 展开更多; 关键词电容式MEMS超声传感器接收传感器 ANSYS 寄生电容灵敏度; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于形态学串行运算的CMUT水下扇形扫描探测被引量：4: 4; 作者张睿潘理虎 +1 位作者陈立潮张永梅《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第2期234-240,共7页; 针对水下扇形扫描范围广、图像数据量有限引起的重建图像远场末端"裂缝"问题,本文在双立方漏点像素插值处理的基础上,提出了一种线性元素开运算和椭圆体元素闭运算的形态学串行算法,用于对重建图像的填充滤波。为了验证优化... 展开更多; 关键词微电容式超声传感器扇形扫描信号处理形态学水下探测; 在线阅读下载PDF 职称材料

水下CMUT动态性能仿真与测试的研究被引量：3: 5; 作者张睿解丹 +3 位作者马健喆潘理虎张永梅陈立潮《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第4期501-507,共7页; 目前CMUT以其频带宽、易集成阵列化、无需匹配层、灵敏度高等优点成为水下超声传感器在研究及应用推广方面的一个新热点。主要开展了对CMUT动态性能的仿真与测试。首先利用SIMULINK对CMUT发射和接收性能进行动态仿真分析,并建立实验平台... 展开更多; 关键词微电容式超声传感器动态性能仿真测试探测; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MEMS电容式超声传感器设计被引量：16: 1; 作者于佳琪何常德张永平苗静李玉平薛晨阳张文栋; 机构中北大学电子测试国家重点实验室中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室; 出处《压电与声光》 CSCD 北大核心 2013年第5期706-710,共5页; 基金 "基于纳机电矢量水听器面阵的水下目标成像机理与技术研究"基金资助项目(61127008) "水陆交通安全传感器及系统"基金资助项目(2011AA040404); 文摘在传统的电容式超声传感器(CMUT)制造过程中,用低压化学气相淀积技术形成的氮化硅薄膜残余应力大且机械性能难以预知。为此,设计了一种基于阳极键合技术的CMUT,传感器薄膜和空腔分别定义在均匀性好、残余应力低的SOI片和玻璃片上。建立了一个简化的分析模型对该结构进行机械性能分析,采用有限元分析软件ANSYS仿真验证该所建立的分析模型并预估传感器的性能。利用ANSYS静电-结构耦合仿真给出了塌陷电压。介绍了敏感单元的工艺流程。所设计的传感器频率为1.48 MHz,灵敏度为0.24fF/Pa,塌陷电压为70V,量程为48kPa。; 关键词电容式超声传感器微机电系统（MEMS）阳极键合 ANSYS 工艺流程; Keywords capacitive ultrasonic transducer MEMS anodic bonding technology ANSYS process flow; 分类号 TN552 [电子电信]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名支撑柱型电容式超声传感器有限元分析: 2; 作者李英拓金积德郑庆祥; 机构武汉理工大学现代汽车零部件技术湖北省重点实验室武汉理工大学汽车零部件技术湖北省协同创新中心武汉理工大学湖北省新能源与智能网联车工程技术研究中心; 出处《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第6期936-939,共4页; 基金面向5G产业的各项高新技术专项基金资助项目(#40120411211) 新能源汽车科学与关键技术学科创新引智基地基金资助项目(B17034) 教育部创新团队发展计划基金资助项目(IRT_17R83)。; 文摘利用COMSOL软件建立简化的分析模型,对支撑柱型电容式超声传感器(CMUT)模型进行有限元分析,并将其与圆形空腔CMUT模型进行对比。结果表明,支撑柱型CMUT模型的共振频率为10 kHz,塌陷电压为52 V,有利于进行低频化设计。与圆形空腔CMUT模型相比,支撑柱型CMUT模型的有效面积较大,寄生电容较少,器件的灵敏度较高,塌陷电压较低,振膜的振幅较大,工作时发出的声信号较弱。; 关键词电容式超声传感器 COMSOL 支撑柱型有限元分析低频化; Keywords capacitive micromachined ultrasonic transducer COMSOL support column finite element analysis low frequency; 分类号 TM533 [电气工程—电器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电容式MEMS超声传感器设计与分析被引量：6: 3; 作者李玉平何常德张娟婷张慧宋金龙薛晨阳; 机构中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室中北大学测试技术重点实验室; 出处《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2014年第11期73-75,共3页; 基金国家"863"计划资助项目(2011AA040404) 国家自然科学基金资助项目(51075375); 文摘目前电容式MEMS超声传感器(CMUS)多为收发一体结构,但二种工作模式对传感器结构要求存在很大差异,设计时为了兼顾收发性能往往不能使传感器性能达到最优;此外,传统的电容式MEMS超声传感器还存在寄生电容大的缺点。针对以上问题,基于收发分离的思想,设计了一种专用作超声接收的MEMS电容式传感器,结构上采用上下电极引线互错,单元间电极联线交错的方式来减小寄生电容。通过理论分析和ANSYS仿真得到所设计传感器的最佳工作电压为586V,灵敏度为174.2fF/Pa,满足现有超声接收传感器的应用要求。; 关键词电容式MEMS超声传感器接收传感器 ANSYS 寄生电容灵敏度; Keywords CMUS receiving sensor ANSYS parasitic capacitance sensitivity; 分类号 TN552 [电子电信]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于形态学串行运算的CMUT水下扇形扫描探测被引量：4: 4; 作者张睿潘理虎陈立潮张永梅; 机构太原科技大学计算机科学与技术学院北方工业大学计算机学院; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第2期234-240,共7页; 基金国家杰出青年科学基金项目(61525107) 国家自然科学基金项目(61371143) +3 种基金山西省科技攻关项目(20141039) 太原科技大学博士科研启动基金项目(20162036); 文摘针对水下扇形扫描范围广、图像数据量有限引起的重建图像远场末端"裂缝"问题,本文在双立方漏点像素插值处理的基础上,提出了一种线性元素开运算和椭圆体元素闭运算的形态学串行算法,用于对重建图像的填充滤波。为了验证优化方法的性能,制定了CMUT阵列水下扫描探测方案,并搭建了相应探测系统,实验验证了该形态学串行运算算法实现了重建图像的填充,提高了信噪比和连续性,为水下探测目标识别提供有力依据。; 关键词微电容式超声传感器扇形扫描信号处理形态学水下探测; Keywords capacitive micromachined ultrasonic transducer sector scanning signal processing morphology under-water detecting; 分类号 TB565 [交通运输工程—水声工程] TN957.52 [电子电信—信号与信息处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名水下CMUT动态性能仿真与测试的研究被引量：3: 5; 作者张睿解丹马健喆潘理虎张永梅陈立潮; 机构太原科技大学计算机科学与技术学院北京华龙通科技有限公司北方工业大学计算机学院; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第4期501-507,共7页; 基金国家杰出青年科学基金项目(61525107) 山西省中科院科技合作项目(20141101001) +5 种基金 201801121011) 全国高等学校计算机教育研究会2019年度课题(CERACU2019R02); 文摘目前CMUT以其频带宽、易集成阵列化、无需匹配层、灵敏度高等优点成为水下超声传感器在研究及应用推广方面的一个新热点。主要开展了对CMUT动态性能的仿真与测试。首先利用SIMULINK对CMUT发射和接收性能进行动态仿真分析,并建立实验平台,以仿真结果作为依据对CMUT动态性能进行了测试,同时实现了CMUT水下初步探测。本研究为CMUT的设计提供了有利的依据。; 关键词微电容式超声传感器动态性能仿真测试探测; Keywords capacitive micromachined ultrasonic transducer dynamic performance simulation testing detecting; 分类号 TB565 [交通运输工程—水声工程] TN957.5 [电子电信—信号与信息处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	MEMS电容式超声传感器设计	于佳琪何常德张永平苗静李玉平薛晨阳张文栋	《压电与声光》 CSCD 北大核心	2013	16	在线阅读下载PDF 职称材料
2	支撑柱型电容式超声传感器有限元分析	李英拓金积德郑庆祥	《压电与声光》 CAS 北大核心	2022	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	电容式MEMS超声传感器设计与分析	李玉平何常德张娟婷张慧宋金龙薛晨阳	《传感器与微系统》 CSCD 北大核心	2014	6	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于形态学串行运算的CMUT水下扇形扫描探测	张睿潘理虎陈立潮张永梅	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2018	4	在线阅读下载PDF 职称材料
5	水下CMUT动态性能仿真与测试的研究	张睿解丹马健喆潘理虎张永梅陈立潮	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2019	3	在线阅读下载PDF 职称材料