检索结果-维普期刊中文期刊服务平台

电容式薄膜真空压力传感器设计被引量：6: 1; 作者王凡崔宏敏 +1 位作者宗义仲王文博《传感器与微系统》 CSCD 2017年第3期84-86,90,共4页; 为了满足在工程型号上的使用要求,解决真空压力传感器敏感探头壳体与传感器壳体隔离绝缘问题;传感器输出信号非线性的补偿问题;传感器热零点漂移的全电路的温度补偿问题,采用电容式薄膜封装结构,壳体为电容的另一极,在0.1~100 Pa的范围... 展开更多; 关键词电容式薄膜真空压力传感器零点漂移温度补偿; 在线阅读下载PDF 职称材料

微型电容式压力传感器硅基薄膜的设计与制备被引量：3: 2; 作者陶也曾毅波 +2 位作者刘畅林杰郭航《厦门大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2013年第5期627-632,共6页; 获得均匀、平整的硅基薄膜是制备出高灵敏度的微型电容式压力传感器的关键步骤.首先在理论分析的基础上,确定了微型电容式压力传感器的基本参数,而后在制备中,发展了一种新型的硅基薄膜制作方法,即利用硅-玻璃键合工艺,结合浓KOH溶液超... 展开更多; 关键词微机电系统电容式压力传感器硅薄膜超声腐蚀化学机械抛光; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于石英晶体薄膜的压力传感器研究被引量：1: 3; 作者曹文静林立男《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第10期19-22,共4页; 基于石英晶体薄膜,进行了直接键合、Au-Au键合、共晶焊和玻璃浆料封接,包括石英晶体—石英晶体、石英晶体—609金属双层封接、石英晶体三层封接、石英晶体—609金属多层封接。封接漏率低于1×10^(-13)Pa·m^(3)/s,强度达到了10M... 展开更多; 关键词石英晶体薄膜压力传感器真空测量长期零位漂移; 在线阅读下载PDF 职称材料

硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试被引量：1: 4; 作者陈绍凤夏善红《液晶与显示》 CAS CSCD 2002年第1期34-38,共5页; 封装、测试了硅尖阵列 -敏感薄膜复合型阴极的真空微电子压力传感器 ,在计算机模拟计算的基础上 ,对封装好的真空微电子压力传感器进行了实物测试 ,得出实物测试场发射电流曲线 (开启电压低 ,发射电流曲线与计算机模拟曲线一样 ,电压 45... 展开更多; 关键词真空微电子压力传感器压力特性测试硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极计算机模拟; 在线阅读下载PDF 职称材料

双动极板电容式压力敏感结构特性分析被引量：5: 5; 作者揣荣岩张冰 +2 位作者杨宇新张贺李新《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2021年第6期1-5,共5页; 在接触电容式MEMS压力敏感结构基础上,为扩展线性响应范围提高线性度,提出了双动极板电容式MEMS压力敏感结构。这种结构中电容的上极板和下极板均感压可动,其可动下极板对两极板的受压接触有缓冲调节作用,改善了响应性能。使用有限元法... 展开更多; 关键词压力传感器双动薄膜电容式接触式线性响应; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电容式薄膜真空压力传感器设计被引量：6: 1; 作者王凡崔宏敏宗义仲王文博; 机构中国电子科技集团公司第四十九研究所; 出处《传感器与微系统》 CSCD 2017年第3期84-86,90,共4页; 文摘为了满足在工程型号上的使用要求,解决真空压力传感器敏感探头壳体与传感器壳体隔离绝缘问题;传感器输出信号非线性的补偿问题;传感器热零点漂移的全电路的温度补偿问题,采用电容式薄膜封装结构,壳体为电容的另一极,在0.1~100 Pa的范围内进行了校准测试,实现了传感器0.2%FS的测量精度。; 关键词电容式薄膜真空压力传感器零点漂移温度补偿; Keywords capacitive thin film vacuum pressure sensor zero point drift temperature compensation; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微型电容式压力传感器硅基薄膜的设计与制备被引量：3: 2; 作者陶也曾毅波刘畅林杰郭航; 机构厦门大学物理与机电工程学院; 出处《厦门大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2013年第5期627-632,共6页; 基金航空科学基金项目(2008ZH68002); 文摘获得均匀、平整的硅基薄膜是制备出高灵敏度的微型电容式压力传感器的关键步骤.首先在理论分析的基础上,确定了微型电容式压力传感器的基本参数,而后在制备中,发展了一种新型的硅基薄膜制作方法,即利用硅-玻璃键合工艺,结合浓KOH溶液超声腐蚀与化学机械抛光的方法,得到了厚度为10μm的均匀、平整的硅基薄膜,为制备微型压力传感器奠定了工艺基础,也可用于其他微机电系统(MEMS)压力传感器.; 关键词微机电系统电容式压力传感器硅薄膜超声腐蚀化学机械抛光; Keywords MEMS capacitive pressure sensor silicon membrane utrlasonic corrosion chemical mechanical polishing （CMP）; 分类号 TD161.14 [矿业工程—矿山地质测量]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于石英晶体薄膜的压力传感器研究被引量：1: 3; 作者曹文静林立男; 机构北京晨晶电子有限公司; 出处《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第10期19-22,共4页; 文摘基于石英晶体薄膜,进行了直接键合、Au-Au键合、共晶焊和玻璃浆料封接,包括石英晶体—石英晶体、石英晶体—609金属双层封接、石英晶体三层封接、石英晶体—609金属多层封接。封接漏率低于1×10^(-13)Pa·m^(3)/s,强度达到了10MPa,翘曲降到了3μm。采用石英晶体作为敏感元件,利用MEMS加工工艺制备出带有电极图形石英,通过转接的方式,将石英晶体薄膜封接到609金属上制成电容压力传感器,测试了不同封接工艺零位漂移,实现了0.001~0.1 mmHg低真空度的测量范围,测量范围内精度±0.6%。15天长期零位漂移为0.8μmHg,漂移水平为0.5%FS。通过在石英晶体上设计“弓”型应力释放结构,采用上述相同工艺制备了电容压力传感器,15天长期零位漂移水平降至0.06%FS。; 关键词石英晶体薄膜压力传感器真空测量长期零位漂移; Keywords quartz crystals thin film pressure sensor vacuum measurement long term zero drift; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试被引量：1: 4; 作者陈绍凤夏善红; 机构中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室; 出处《液晶与显示》 CAS CSCD 2002年第1期34-38,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目 ( 6 9871 0 2 9) "86 3"计划资助项目 ( 5 1 2 0 5 1 0 0 1 9) "973"国家重大课题资助项目 (G1 9990 331 0 2 ); 文摘封装、测试了硅尖阵列 -敏感薄膜复合型阴极的真空微电子压力传感器 ,在计算机模拟计算的基础上 ,对封装好的真空微电子压力传感器进行了实物测试 ,得出实物测试场发射电流曲线 (开启电压低 ,发射电流曲线与计算机模拟曲线一样 ,电压 45V时发射电流可达到86mA ,平均每个硅尖为 2 1 μA)、压力特性曲线 (呈线性变化 ,与计算机模拟计算的曲线相近 )及灵敏度数据。电压 1 .5V即可测试并且其压力特性成线性变化 ,灵敏度为 0 .3 μA/kPa。; 关键词真空微电子压力传感器压力特性测试硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极计算机模拟; Keywords vaccum microelectronic pressure sensor simulative testing pressure feature testing; 分类号 TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名双动极板电容式压力敏感结构特性分析被引量：5: 5; 作者揣荣岩张冰杨宇新张贺李新; 机构沈阳工业大学信息科学与工程学院; 出处《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2021年第6期1-5,共5页; 基金国家自然科学基金(61372019) 辽宁省科技重大专项计划项目(2019JH1/10100022) 辽宁省高等学校基本科研项目(LFGD2017015)。; 文摘在接触电容式MEMS压力敏感结构基础上,为扩展线性响应范围提高线性度,提出了双动极板电容式MEMS压力敏感结构。这种结构中电容的上极板和下极板均感压可动,其可动下极板对两极板的受压接触有缓冲调节作用,改善了响应性能。使用有限元法对结构的特性进行了仿真分析,讨论了结构参数对压力敏感结构性能的影响,结果表明双动极板电容式压力敏感结构和普通接触式相比线性响应范围可增大1倍以上,同时显著降低了非线性度。; 关键词压力传感器双动薄膜电容式接触式线性响应; Keywords pressure sensor double moving diaphragm capacitor mode touch mode linear response; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	电容式薄膜真空压力传感器设计	王凡崔宏敏宗义仲王文博	《传感器与微系统》 CSCD	2017	6	在线阅读下载PDF 职称材料
2	微型电容式压力传感器硅基薄膜的设计与制备	陶也曾毅波刘畅林杰郭航	《厦门大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心	2013	3	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于石英晶体薄膜的压力传感器研究	曹文静林立男	《传感器与微系统》 CSCD 北大核心	2024	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试	陈绍凤夏善红	《液晶与显示》 CAS CSCD	2002	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	双动极板电容式压力敏感结构特性分析	揣荣岩张冰杨宇新张贺李新	《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心	2021	5	在线阅读下载PDF 职称材料