二维电容式硅微加速度传感器的刚度求解 被引量：1

1

作者 刘妤 温志渝 +3 位作者 张流强 梁玉前 温中泉 李霞 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期289-291,共3页

硅微电容式加速度传感器具有灵敏度高、噪音低、漂移小、功耗低、结构简单等优点 ,在军民两用市场中有着广泛的应用前景。本文针对自主开发设计的一种带折叠梁的二维叉指电容式硅微加速度传感器 ,采用力法求解了其主轴刚度 。

关键词 电容式硅微加速度传感器 刚度 折叠梁 二维叉指 动态响应特性

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扭摆式微硅隧道加速度传感器 被引量：5

2

作者 陈德英 茅盘松 +3 位作者 史建伟 熊涛 张旭 金肖科 《电子器件》 CAS 2001年第4期285-294,共10页

本文介绍了扭摆式隧道加速度传感器的结构、工作原理、简化的力学模型 ,设计了版图、工艺流程及关键工艺 ,并制备出样品 。

关键词 微硅 扭摆式 隧道效应 加速度传感器

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环境振动测量电容式加速度传感器设计 被引量：6

3

作者 周再发 黄庆安 秦明 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期298-301,共4页

设计了一种用于环境振动测量的高分辨率电容式加速度传感器 ,通过适当减小质量块的质量 ,不改变敏感电容的大小 ,降低了实现加速度传感器闭环控制对多晶硅固定电极刚度的要求 ,采用简单的加工工艺 ,多晶硅固定电极刚度就能满足加速度传... 设计了一种用于环境振动测量的高分辨率电容式加速度传感器 ,通过适当减小质量块的质量 ,不改变敏感电容的大小 ,降低了实现加速度传感器闭环控制对多晶硅固定电极刚度的要求 ,采用简单的加工工艺 ,多晶硅固定电极刚度就能满足加速度传感器闭环控制的需要。通过在传感器的三层电极上都刻蚀阻尼孔 ,减小阻尼 ,提高传感器的品质因子 ,传感器能提供 展开更多

关键词 环境振动测量 电容式加速度传感器 设计 微加工技术 微机电系统

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悬臂梁式硅微加速度传感器的设计仿真 被引量：4

4

作者 单光宝 魏海龙 刘佑宝 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2003年第3期69-72,共4页

文章利用ANSYS软件对悬臂梁式硅微加速度传感器敏感芯片进行了设计仿真,给出了一种能满足:量程50g,精度10-3要求的硅微加速度传感器的结构,并对加工时可能引入的工艺误差所带来的影响进行了讨论。

关键词 悬臂梁式硅微加速度传感器 设计 仿真 MEMS器件

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基于改进遗传神经网络的微硅加速度传感器动态补偿研究 被引量：5

5

作者 俞阿龙 黄惟一 《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期455-458,共4页

比较遗传算法与神经网络的特点 ,并对将遗传算法用于函数连接型神经网络 (FLNN)的优点进行了研究 .对遗传算法的编码方法、交换和变异操作做了改进 ,提出了一种融合改进遗传算法的FLNN用于微硅加速度传感器动态性能补偿的新方法 .该方... 比较遗传算法与神经网络的特点 ,并对将遗传算法用于函数连接型神经网络 (FLNN)的优点进行了研究 .对遗传算法的编码方法、交换和变异操作做了改进 ,提出了一种融合改进遗传算法的FLNN用于微硅加速度传感器动态性能补偿的新方法 .该方法不依赖于传感器的动态模型 ,可根据传感器的动态响应数据 ,建立补偿模型 ,采用改进遗传神经网络搜索和优化补偿模型参数 ,既保留了遗传算法的全局搜索能力 ,又具有神经网络的鲁棒性和自学习能力 .介绍补偿原理及算法 ,给出动态补偿网络的数学模型 .结果表明 ,该补偿方法能克服FLNN收敛速度慢、容易陷入局部极小的缺陷 ,具有网络训练速度快、实时性好、良好的全局搜索能力、精度高。 展开更多

关键词 微硅加速度传感器 函数连接型神经网络 动态补偿 遗传算法

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压阻式硅微加速度传感器的结构设计与仿真 被引量：5

6

作者 隋丽 石庚辰 《探测与控制学报》 CSCD 北大核心 2003年第B03期52-55,共4页

一般的压阻式硅微加速度传感器结构多采用单梁加质量块的形式 ,这种形式的传感器灵敏度比较高 ,但它的横向效应较难克服 ,文中提出一种四梁结构的加速度传感器 ,通过仿真计算 。

关键词 压阻式硅微加速度传感器 结构设计 仿真 工作原理 受力分析 灵敏度 频率分析

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振动式微硅型加速度传感器的研究 被引量：2

7

作者 陈德英 茅盘松 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1999年第2期157-162,共6页

介绍了振动式微硅加速度传感器的工作原理及改进后振动式微硅加速度传感器结构设计的计算结果，并给出了改进后加速度传感器的样品及主要制备工艺。

关键词 振动式 微硅 加速度传感器 制造工艺

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微硅隧道加速度传感器设计 被引量：2

8

作者 陈德英 茅盘松 +3 位作者 史建伟 熊涛 迟姗 张旭 《固体电子学研究与进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第4期350-356,共7页

比较了压阻式、电容式和隧道式加速度传感器的特点 ,提出了扭摆式隧道加速度传感器的结构 ,给出了工作原理和设计模型 ,最后给出了结构尺寸、版图总图及试制的芯片照片。

关键词 微硅 隧道加速度传感器 扭摆式 固支梁结构

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基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器的设计 被引量：6

9

作者 张建碧 《电子科技》 2009年第10期40-42,共3页

随着硅微机械加工技术(MEMS)的快速发展,各种基于MEMS技术的器件应运而生。文中首先对传感器结构及工作原理进行了简单介绍,给出了一种基于MEMS技术制作的压阻式硅微加速度传感器的结构和工艺,并对制作的加速度传感器样品进行了动态测试... 随着硅微机械加工技术(MEMS)的快速发展,各种基于MEMS技术的器件应运而生。文中首先对传感器结构及工作原理进行了简单介绍,给出了一种基于MEMS技术制作的压阻式硅微加速度传感器的结构和工艺,并对制作的加速度传感器样品进行了动态测试,测试结果表明实验与理论设计值相符。 展开更多

关键词 微加工 微压阻式加速度传感器 有限元分析 硅

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基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器设计 被引量：4

10

作者 张建碧 《电子与封装》 2009年第10期39-41,共3页

硅微加速度传感器是MEMS器件中的一个重要分支,具有十分广阔的应用前景。由于硅微加速度传感器具有响应快、灵敏度高、精度高、易于小型化等优点,而且该种传感器在强辐射作用下能正常工作,因而在近年来发展迅速。文章首先对传感器结构... 硅微加速度传感器是MEMS器件中的一个重要分支,具有十分广阔的应用前景。由于硅微加速度传感器具有响应快、灵敏度高、精度高、易于小型化等优点,而且该种传感器在强辐射作用下能正常工作,因而在近年来发展迅速。文章首先对传感器结构及工作原理进行了简单介绍,给出了一种基于MEMS技术制作的压阻式硅微加速度传感器的结构和工艺,并对制作的加速度传感器样品进行了动态测试,测试结果表明与理论设计值基本吻合。 展开更多

关键词 微加工 微压阻式加速度传感器 有限元分析 硅

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硅微加速度传感器的对称梁岛结构设计

11

作者 陈光焱 苏伟 何晓平 《信息与电子工程》 2003年第1期64-68,共5页

采用有限元方法,针对硅微加速度传感器的对称梁岛结构进行了力学特性分析,通过分析得出了该结构的尺寸对其位移量、谐振频率及模态振型的影响规律,为此类加速度传感器的设计提供参考。

关键词 有限元方法 硅微加速度传感器 对称梁岛 结构设计 谐振频率 模态振型

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误差白化与Kalman滤波的微硅加速度传感器动态补偿 被引量：1

12

作者 姜乃松 刘清 《计量学报》 CSCD 北大核心 2012年第3期244-248,共5页

通过模型参考的系统辨识方法建立微硅加速度传感器的动态补偿器。由于测量噪声和补偿器对传感器的频带扩展，使得补偿器的输入／输出信号存在严重的噪声干扰。在噪声干扰下，采用均方误差为代价函数的系统辨识方法，无法得到补偿器参数... 通过模型参考的系统辨识方法建立微硅加速度传感器的动态补偿器。由于测量噪声和补偿器对传感器的频带扩展，使得补偿器的输入／输出信号存在严重的噪声干扰。在噪声干扰下，采用均方误差为代价函数的系统辨识方法，无法得到补偿器参数的无偏估计。补偿器参数的偏差和传感器频带的扩展将会使补偿器的输出信号出现严重失真和高频噪声干扰。为解决噪声对硅加速度传感器的动态补偿的影响，研究了一种新的动态补偿方法，该方法采用误差白化为代价函数的系统辨识方法得到补偿器的参数，可消除补偿器的参数在估计中的测量噪声影响，并通过卡尔曼实时滤波减小因传感器频带扩展所产生的高频噪声干扰。 展开更多

关键词 计量学 微硅加速度传感器 动态误差 误差白化 实时滤波

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基于微硅热丝的热流式加速度传感器 被引量：1

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作者 王欢 李以贵 +2 位作者 蔡金东 吕曈 吴文渊 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第11期795-800,818,共7页

微加速度传感器由微压电泵驱动的连续循环密闭气流流路、硅热丝传感器以及惠斯登电桥测量电路三部分组成。利用硅热丝可以检测射流气体偏转引起的电阻变化,并通过惠斯登电桥电路测量出对应的加速度。基于硅热阻效应原理和微纳加工技术,... 微加速度传感器由微压电泵驱动的连续循环密闭气流流路、硅热丝传感器以及惠斯登电桥测量电路三部分组成。利用硅热丝可以检测射流气体偏转引起的电阻变化,并通过惠斯登电桥电路测量出对应的加速度。基于硅热阻效应原理和微纳加工技术,设计和制备了一种成本低、体积小、寿命长、耐冲击和振动的热流式微加速度传感器。利用ANSYS软件进行仿真,分析了连续循环密闭气流的流速分布图。基于光刻、硅刻蚀和键合等微纳加工技术,在绝缘衬底上的硅（SOI）基板上制备了基于微硅热丝的加速度传感器。经测试,硅丝（长400μm×宽4μm×高2μm）在室温下电阻为45kΩ,电阻温度系数（TCR）为4.6×10^-3/℃,传感器X和Y两个方向上的灵敏度为8mV/g。使用该方法制备的热流式传感器具有体积小、耐冲击和灵敏度高等优势。 展开更多

关键词 微硅热丝 热流式 硅热阻效应 加速度传感器 微纳加工技术

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基于MAX1457的加速度硅微传感器的信号处理

14

作者 刘丹 刘晓明 《中国测试技术》 2005年第2期115-117,123,共4页

测高g值的加速度硅微传感器[4] 采用单晶硅材料制成,直接输出信号小,存在严重的温度误差。采用MAX14 5 7专用传感器信号处理器,它可以补偿传感器的温度误差和非线性误差。本文分析了MAX14 5 7的工作原理,设计了获得补偿参数的系统。

关键词 测高g值的加速度硅微传感器 温度补偿 MAX1457 或门 信号处理

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模糊LS-SVM在加速度传感器动态补偿中的应用 被引量：2

15

作者 张铁头 李杰 《中国测试》 CAS 北大核心 2012年第5期66-69,共4页

提出一种基于模糊LS-SVM传感器的非线性动态误差补偿器设计措施,在传感器与参考模型对输入激励响应的实测数据基础上,运用模糊LS-SVM回归算法构造补偿器,减小微硅加速度传感器因带宽有限引起的动态测量误差。既克服人工神经网络非线性... 提出一种基于模糊LS-SVM传感器的非线性动态误差补偿器设计措施,在传感器与参考模型对输入激励响应的实测数据基础上,运用模糊LS-SVM回归算法构造补偿器,减小微硅加速度传感器因带宽有限引起的动态测量误差。既克服人工神经网络非线性动态补偿过程中易出现的局部极小问题,又减小在标准LS-SVM中一些非主要数据对模型精度的影响,在测试领域中有较好的应用前景。 展开更多

关键词 模糊LS-SVM 微硅加速度传感器 动态补偿 仿真

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微机械硅加速度计的性能分析 被引量：2

16

作者 贺玲 薛大同 《真空与低温》 2003年第2期63-70,共8页

介绍了各种类型的微机械硅加速度计的工作原理及特性,通过比较各类型硅加速度计的优劣,提出了高灵敏度硅加速度计的设计思路及实现方法。

关键词 微机械 硅加速度计 性能分析 工作原理 微机电系统 微加速度传感器 MEMS

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