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题名硅微电容式一维矢量水听器的研究
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作者
张耀林
桂晨阳
李响
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机构
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哈尔滨工程大学水声工程学院
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出处
《集成电路应用》
2018年第9期54-56,共3页
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文摘
研究电容式一维矢量水听器,其内部采用一种基于MEMS技术制作的硅微电容式加速度传感器。叙述电容式矢量水听器的设计方法,分析内部振子的工作原理、结构及其动态特性。设计并制作了工作频带为20~900 Hz的电容式矢量水听器,其直径为45 mm、高为40 mm,矢量通道自由场声压灵敏度为-220 dB(不带前放,测试频率为800 Hz,0 dB=1 V/μPa),具有"8"字形指向性。研究结果表明:基于MEMS技术的超微型传感器,可以成功地应用在电容式矢量水听器的设计当中。合理选择高灵敏度、宽频带的MEMS传感器,可以研制出小体积、高灵敏度的电容式矢量水听器。
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关键词
矢量水听器
MEMS传感器
小体积矢量水听器
电容式矢量水听器
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Keywords
vector hydrophone
MEMS sensor
small volume vector hydrophone
capacitive vector hydrophone
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分类号
P716.41
[天文地球—海洋科学]
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