HS1100/HS1101电容式湿度传感器及其应用 被引量：49

1

作者 林敏 于忠得 侯秉涛 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2001年第10期44-45,共2页

介绍了一种新型的电容式湿度传感器的湿敏特性及其测量显示仪表的工作原理。

关键词 湿度测量 电路 电容式湿度传感器 显示仪表

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基于电容式湿度传感器的植物粉料含水率测量 被引量：5

2

作者 戈振扬 于英杰 张梦珠 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期174-177,共4页

提出了一种基于电容式湿度传感器的植物粉料含水率测量方法。由电容式湿度传感器和数据采集卡组成的测量系统获取植物粉料含水率数据,应用一阶差分法剔除奇异值后,通过惯性滤波法处理数据。由菊花粉含水率的13个测量值与烘干法测得的真... 提出了一种基于电容式湿度传感器的植物粉料含水率测量方法。由电容式湿度传感器和数据采集卡组成的测量系统获取植物粉料含水率数据,应用一阶差分法剔除奇异值后,通过惯性滤波法处理数据。由菊花粉含水率的13个测量值与烘干法测得的真值对比试验结果可知,测量值与真值之间的最大相对误差为1.61%,平均相对误差为0.76%,均小于5%(测量样品数为5时置信区间为95%),表明该方法能够用于测量低水分植物粉料的含水率。 展开更多

关键词 植物粉料 含水率 电容式湿度传感器

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电容式湿度传感器设计 被引量：9

3

作者 张勃 屈保中 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2004年第9期57-58,共2页

电容式湿度传感器是以高分子湿度湿敏电容器为基本感湿元件,利用单片机对测量结果进行分析处理、显示和远距离传输,测量准确度达±2.5%。

关键词 电容式湿度传感器 转换电路 相对湿度

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电容式湿度传感器多孔上电极受力可靠性分析 被引量：4

4

作者 高翔 禹胜林 张弛 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第10期1511-1515,共5页

电容式湿度传感器不断发展的同时上电极的制造工艺也在不断进行着技术更新,为了使湿度传感器的透水性更加优越,上电极在不断地被做薄,同时在多孔研究方面也在不断地进行着优化,但凡关于多孔上电极受力可靠性的问题,总是涉及到制作栅条... 电容式湿度传感器不断发展的同时上电极的制造工艺也在不断进行着技术更新,为了使湿度传感器的透水性更加优越,上电极在不断地被做薄,同时在多孔研究方面也在不断地进行着优化,但凡关于多孔上电极受力可靠性的问题,总是涉及到制作栅条过程中因为过度腐蚀而断裂的现象。利用ANSYS针对传统的条栅形多孔上电极以及自行设计的环形多孔上电极进行模拟受力分析,通过对多孔上电极内壁面进行压力加载,来模拟光刻过程中过度腐蚀的状况,观察比较两种上电极的模拟受力情况。从得到的受力形变图,等效塑性应变图以及等效应力图分析得出,环形多孔上电极具备比条栅形多孔上电极更可靠的受力响应。 展开更多

关键词 电容式湿度传感器 多孔上电极 可靠性

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高灵敏纸基无湿敏材料电容式湿度传感器 被引量：6

5

作者 程子豪 宋智 +1 位作者 夏雨人 薛严冰 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2022年第6期18-22,共5页

为了拓宽湿度传感器的应用范围,兼顾其可穿戴、低成本、高灵敏度等优点,提出了一种电容式纸基无湿敏材料湿度传感器。以叉指电极(interdigital electrode,IDE)为基本结构,利用有限元仿真软件COMSOL Multipysics仿真研究了IDE指数对传感... 为了拓宽湿度传感器的应用范围,兼顾其可穿戴、低成本、高灵敏度等优点,提出了一种电容式纸基无湿敏材料湿度传感器。以叉指电极(interdigital electrode,IDE)为基本结构,利用有限元仿真软件COMSOL Multipysics仿真研究了IDE指数对传感器性能的影响,得到具有良好湿敏特性的传感器结构。利用丝网印刷工艺制作电容式纸基湿度传感器,进行湿敏特性测试,系统研究了纸基类型、工作频率对传感器性能的影响,验证了其工艺一致性、重复性和长期稳定性。实验结果表明:以柯达相纸为基底的20指IDE传感器在1 V/200 Hz的测试电压下具有高达7379%的灵敏度、响应/恢复时间为108 s/131 s,表现出良好的重复性和长期稳定性。 展开更多

关键词 电容式湿度传感器 有限元仿真 纸基底 叉指电极 无湿敏材料 湿敏特性

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电容式湿度传感器响应特性研究 被引量：8

6

作者 王冰梅 高翔 +1 位作者 杨恒祥 禹胜林 《传感器与微系统》 CSCD 2020年第5期27-29,共3页

通过设计优化的环形上电极结构和普遍采用的栅条形上电极结构,进行理论研究和对比测试分析,并采用Looyenga及Dubinin等方程进行计算研究。为了扩大孔隙率,以提高水分子通过上电极的效率,从而缩短电容式湿度传感器的响应时间,对上电极多... 通过设计优化的环形上电极结构和普遍采用的栅条形上电极结构,进行理论研究和对比测试分析,并采用Looyenga及Dubinin等方程进行计算研究。为了扩大孔隙率,以提高水分子通过上电极的效率,从而缩短电容式湿度传感器的响应时间,对上电极多孔结构进行了优化研究,研究表明优化设计的环形上电极结构有利于改善湿度传感器的响应特性。 展开更多

关键词 电容式湿度传感器 上电极 多孔结构优化 数值模拟

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电容式湿度传感器的“输出限幅”现象分析 被引量：2

7

作者 琚雪梅 陈海东 王钧 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2002年第3期11-13,共3页

对电容式湿度传感器的“输出限幅”现象进行了较为细致的分析 ,阐明了产生“输出限幅”现象的原因 ,定义了“物理短路”和“品质下降”两个阶段 。

关键词 电容式湿度传感器 湿敏电容器 输出限辐 饱和 失效

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基于电容式湿度传感器的砂土水分含量测定 被引量：5

8

作者 田汇文 翟亚明 +2 位作者 唐瑞 褚浩洋 缪婧娴 《节水灌溉》 北大核心 2019年第11期22-26,32,共6页

为了研究电容式土壤湿度传感器在砂性土壤蒸发不同阶段水分含量测定时存在测值偏差问题,采用直接称重求含水率法对比电容式土壤湿度传感器测量水分含量法,分析了初始饱和砂土柱蒸发条件下水分含量变化过程。结果表明;电容式湿度传感器... 为了研究电容式土壤湿度传感器在砂性土壤蒸发不同阶段水分含量测定时存在测值偏差问题,采用直接称重求含水率法对比电容式土壤湿度传感器测量水分含量法,分析了初始饱和砂土柱蒸发条件下水分含量变化过程。结果表明;电容式湿度传感器量测法与电子秤量法在不同阶段含水率测值表现出差异性与相关性;传感器的插入影响试样蒸发过程:相较于原状土,前期扰动土蒸发速率偏高,中期偏低,后期基本一致。电容式湿度传感器测值偏差是由于插入电极薄片改变了原状土壤试样蒸发条件,其偏差程度与形成机理可从微观角度阐述,电容式土壤湿度传感器测量砂土蒸发过程中水分含量时具有分段式最佳表征形式。 展开更多

关键词 砂土水分蒸发 电容式湿度传感器 含水率 测值偏差机理 分段式表征

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电容式湿度传感器“输出限幅”的机理探讨

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作者 陈丽洁 王凡 +1 位作者 耿振亚 陈宝军 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2001年第1期23-25,共3页

介绍了高分子电容式湿度传感器“输出限幅”现象出现的三种情况 :在特定的振动环境条件下、在湿敏元件失效前期时、在高湿环境条件下。从电路、湿敏元件、使用条件等方面进行机理分析 ,给出了试验结果。

关键词 电容式湿度传感器 输出限幅 高分子

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基于MEMS技术的集成压力-湿度传感器 被引量：1

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作者 陈果 刘正波 +1 位作者 王韬 张万里 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期21-28,共8页

设计了一种高灵敏度的集成压力和湿度传感单元的芯片。压力传感单元基于SOI和蛇形电阻结构。室温下,传感器在载压范围为3~129 kPa内灵敏度为0.026 mV/kPa,与有限元仿真基本吻合。传感器在25~120℃范围内的热灵敏度漂移为0.004‰FS/℃,... 设计了一种高灵敏度的集成压力和湿度传感单元的芯片。压力传感单元基于SOI和蛇形电阻结构。室温下,传感器在载压范围为3~129 kPa内灵敏度为0.026 mV/kPa,与有限元仿真基本吻合。传感器在25~120℃范围内的热灵敏度漂移为0.004‰FS/℃,热零点漂移为0.25%FS/℃。湿度传感单元采用的叉指电极和电容式结构,引入含氟PI作湿度敏感膜。设计Mo电阻加热结构加快传感器降湿过程,缩短降湿时间近32%。在10%~90%RH的湿度范围,含氟PI湿度传感器的灵敏度为0.121 pF/%RH,略低于无氟PI器件。含氟基团的引入,使得传感器的湿滞较无氟PI降低16%。“电容-湿度”曲线呈指数分布,相关系数R^(2)=0.996。测试结果发现,湿度传感单元和压力传感单元拥有良好的独立工作性能。 展开更多

关键词 电容式湿度传感器 惠斯通电桥 MEMS工艺 聚酰亚胺(PI) 压力传感器

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可穿戴柔性湿度传感器开发及在人体呼吸模式检测中的应用 被引量：2

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作者 马士腾 郗广帅 +2 位作者 张冬至 周兰娟 陈璨 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2024年第9期29-32,共4页

针对传统湿度传感器存在测量范围窄、响应时间长和稳定性差等问题,开发了一种基于石墨相氮化碳(g-C_(3)N_(4))与TiO_(2)复合材料的聚酰亚胺(PI)基底电容式柔性湿度传感器。通过扫描电镜(SEM)分析了g-C_(3)N_(4)/TiO_(2)复合材料的多孔... 针对传统湿度传感器存在测量范围窄、响应时间长和稳定性差等问题,开发了一种基于石墨相氮化碳(g-C_(3)N_(4))与TiO_(2)复合材料的聚酰亚胺(PI)基底电容式柔性湿度传感器。通过扫描电镜(SEM)分析了g-C_(3)N_(4)/TiO_(2)复合材料的多孔结构和形态特性,并采用饱和盐溶液法对g-C_(3)N_(4)/TiO_(2)柔性湿度传感器在不同湿度下的湿敏性能、湿滞特性、响应和恢复速率等进行测试。结果表明,g-C_(3)N_(4)/TiO_(2)柔性湿度传感器具有相对湿度检测范围宽(0%~97%)、湿度迟滞低(1.48%)、响应时间短(3.5 s)等优势,可实现人体呼吸频率、呼吸强度以及比奥呼吸、潮式呼吸、睡眠暂缓呼吸等模式的检测。 展开更多

关键词 电容式柔性湿度传感器 湿度检测 石墨相氮化碳 水热合成

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