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具有多孔双微结构层的柔性电容式压力传感器被引量：1: 1; 作者孙翰轩陈盛华 +1 位作者徐策王志华《微纳电子技术》 CAS 2024年第4期105-113,共9页; 电极和介电层的材料性能和表面结构是决定柔性电容式压力传感器性能的关键因素。将碳纳米管(CNT)与硅橡胶结合制备出拉伸性能优良的斜线型微结构电极层。以聚二甲基硅氧烷(PDMS)/BaTiO_(3)/SrTiO_(3)复合材料制备多孔砂纸微结构介电层... 展开更多; 关键词柔性电容式传感器多壁碳纳米管压力传感器双微结构层纳米钛酸钡; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于均匀微突结构的高灵敏柔性电容压力传感器: 2; 作者刘彩霞李帅 +2 位作者胡若海陈恒张玉刚《合肥工业大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2024年第11期1448-1452,1471,共6页; 针对可穿戴医疗设备、电子皮肤、柔性触摸显示屏等对高灵敏柔性压力传感器的感知需求,文章基于纳米氧化锌(ZnO)、酞酸酯偶联剂(PN-105,PN)和室温硫化硅橡胶(room temperature vulcanized silicone rubber,RTV)材料,结合丝网印刷技术制... 展开更多; 关键词电容式柔性传感器介电层微突起结构高灵敏; 在线阅读下载PDF 职称材料

电容式柔性压力传感器的研究进展被引量：6: 3; 作者王杰汪滨 +2 位作者安泊儒杜宗玺李秀艳《北京服装学院学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2020年第1期81-90,共10页; 为了分析电容式柔性压力传感器的传感机制和发展方向,首先介绍不同类型柔性压力传感器的工作原理,并且比较了不同类型压力传感器的灵敏度、柔性及稳定性等性能的优势与缺陷,介绍了电容式柔性压力传感器在人体运动及生命体征信号监测等... 展开更多; 关键词电容式柔性压力传感器静电纺丝纳米纤维膜多功能化; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于MWCNT-PDMS高灵敏度电容式柔性压力传感器被引量：7: 4; 作者徐国际张文磊 +3 位作者李廷鱼顼建乐郭丽芳李刚《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2021年第10期920-925,共6页; 作为柔性电子器件的重要分支,高灵敏度柔性压力传感器已成为当前研究热点。选取聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为柔性介质薄膜和氧化铟锡-聚对苯二甲酸乙二醇酯(ITO-PET)作为柔性电极构建三明治结构电容式柔性压力传感器,通过在PDMS薄膜内掺杂... 展开更多; 关键词电容式柔性压力传感器多壁碳纳米管(MWCNT) 柔性电子器件柔性介质薄膜柔性电极; 在线阅读下载PDF 职称材料

介电层造孔优化ITO-PET/PDMS/ITO-PET结构的电容式柔性压力传感性能被引量：4: 5; 作者蒋哲康聿辰 +6 位作者杨涛贺贝贝梁景琪赵子聪余志超李刚王开鹰《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第6期839-846,共8页; 灵敏度是柔性压力传感器的重要性能指标,为了有效提高传感器的灵敏度,同时兼顾其他各性能,选用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为复合介电层材料、氧化铟锡-聚对苯二甲酸乙二醇脂(ITO-PET)作为电极材料、二亚硝基五亚甲基四胺(DPT)作为造孔试剂... 展开更多; 关键词电容式柔性压力传感器柔性材料造孔聚二甲基硅氧烷(PDMS) 灵敏度; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名具有多孔双微结构层的柔性电容式压力传感器被引量：1: 1; 作者孙翰轩陈盛华徐策王志华; 机构河北工业大学电气工程学院省部共建电工装备可靠性与智能化国家重点实验室中国石油渤海装备辽河钻采装备分公司; 出处《微纳电子技术》 CAS 2024年第4期105-113,共9页; 基金河北省第三批青年拔尖人才支持计划天津市自然科学基金(8JCYBJC87100) 天津市科学技术普及项目(22KPXMRC00020)。; 文摘电极和介电层的材料性能和表面结构是决定柔性电容式压力传感器性能的关键因素。将碳纳米管(CNT)与硅橡胶结合制备出拉伸性能优良的斜线型微结构电极层。以聚二甲基硅氧烷(PDMS)/BaTiO_(3)/SrTiO_(3)复合材料制备多孔砂纸微结构介电层。电极与介电层交界面构成双重微结构以提升电荷携带能力。场发射扫描电子显微镜与光学显微镜观测结果验证了上述微结构的存在。基于电容模型的分析表明,传感器灵敏度主要取决于多孔介电层的形变量。所制备的多孔双微结构层柔性电容式压力传感器最高灵敏度为2.681 kPa^(-1),在3~5 kPa的压力区间仍具有0.412 kPa^(-1)的灵敏度,响应时间和释放时间分别约为39和61 ms。该传感器能够检测出吞咽时咽部运动的微小压力,实验中测得的最小电容变化率为0.13%,能够识别0.53 Pa的微小压力,具有较低的检测限。进行6000次以上的压缩循环测试后,传感器加载-卸载曲线重合性好,同时对不同频率压力的响应良好,验证了传感器良好的可重复性。总之,所提出的传感器具有良好的压力感知性能,在生理信号监测、人机交互等领域具有广阔的应用前景。; 关键词柔性电容式传感器多壁碳纳米管压力传感器双微结构层纳米钛酸钡; Keywords flexible capacitive sensor multi-walled carbon nanotube pressure sensor doublemicrostructure layer nano-barium titanate; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于均匀微突结构的高灵敏柔性电容压力传感器: 2; 作者刘彩霞李帅胡若海陈恒张玉刚; 机构合肥工业大学物理学院合肥工业大学微电子学院; 出处《合肥工业大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2024年第11期1448-1452,1471,共6页; 基金浙江省“领雁”研发攻关计划资助项目(2022C03052) 教育部产学合作协同育人资助项目(220604730212902)。; 文摘针对可穿戴医疗设备、电子皮肤、柔性触摸显示屏等对高灵敏柔性压力传感器的感知需求,文章基于纳米氧化锌(ZnO)、酞酸酯偶联剂(PN-105,PN)和室温硫化硅橡胶(room temperature vulcanized silicone rubber,RTV)材料,结合丝网印刷技术制备具有均匀微突阵列结构、ZnO-PN/RTV介电层的柔性电容式压力传感器,并对其传感机制和特性进行测试研究。结果表明:所研制的柔性电容式压力传感器具有高灵敏度(1.2 kPa^(-1))、快速响应(40 ms)、低检测限(2 Pa)、高使用寿命(>5000次)和良好的人体适用性;制备的5 cm×5 cm压力阵列能够满足可穿戴设备和柔性电子产品需求。该传感器灵敏度高且制作工艺简单、成本低,在柔性智能传感和服务机器人等领域具有良好的应用前景。; 关键词电容式柔性传感器介电层微突起结构高灵敏; Keywords capacitive flexible sensor dielectric layer micro-protrusion structure highly sensitive; 分类号 TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电容式柔性压力传感器的研究进展被引量：6: 3; 作者王杰汪滨安泊儒杜宗玺李秀艳; 机构北京服装学院材料设计与工程学院北京服装学院服装工效与功能创新设计北京市重点实验室; 出处《北京服装学院学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2020年第1期81-90,共10页; 基金国家自然科学基金项目(21274006) 北京市优秀人才项目(2017000020124G089) +4 种基金 2019年国家级大学生创新创业训练项目; 文摘为了分析电容式柔性压力传感器的传感机制和发展方向,首先介绍不同类型柔性压力传感器的工作原理,并且比较了不同类型压力传感器的灵敏度、柔性及稳定性等性能的优势与缺陷,介绍了电容式柔性压力传感器在人体运动及生命体征信号监测等方面的研究现状和发展趋势,分析了微结构、电极材料和复合介电层等对电容式柔性压力传感器的灵敏度、响应时间及稳定性的影响。为了提高器件的综合性能,认为未来开发具有多功能、高柔性、高灵敏度及稳定性的静电纺丝纳米纤维膜基电容式柔性压力传感器将是重要的发展方向。; 关键词电容式柔性压力传感器静电纺丝纳米纤维膜多功能化; Keywords capacitive flexible pressure sensor electrospun nanofiber membrane multifunction; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于MWCNT-PDMS高灵敏度电容式柔性压力传感器被引量：7: 4; 作者徐国际张文磊李廷鱼顼建乐郭丽芳李刚; 机构太原理工大学信息与计算机学院纳米能源与器件中心; 出处《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2021年第10期920-925,共6页; 基金国家自然科学基金资助项目(U1810204,61901293,22002083,21905099) 山西省自然科学基金资助项目(201901D111099,201901D211074) 山西省高校科技创新研究项目(2016138)。; 文摘作为柔性电子器件的重要分支,高灵敏度柔性压力传感器已成为当前研究热点。选取聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为柔性介质薄膜和氧化铟锡-聚对苯二甲酸乙二醇酯(ITO-PET)作为柔性电极构建三明治结构电容式柔性压力传感器,通过在PDMS薄膜内掺杂高导电性多壁碳纳米管(MWCNT)形成微电容提升传感器灵敏度。同时,测试高低温工作稳定性、响应时间、循环稳定性和迟滞特性等关键传感特性。测试结果表明:经过优化MWCNT掺杂质量分数,在低压范围内传感器灵敏度可从初始的0.52 kPa^(-1)增加到1.512 kPa^(-1),灵敏度提升接近2倍。同时,MWCNT掺杂传感器还表现出工作温度范围宽(-18~80℃)、响应时间短(65 ms)、循环稳定性高、迟滞误差小等优异的传感特性。最后针对较高压力下的漏电现象进行了适当分析。; 关键词电容式柔性压力传感器多壁碳纳米管(MWCNT) 柔性电子器件柔性介质薄膜柔性电极; Keywords capacitive flexible pressure sensor multiwalled carbon nanotube(MWCNT) flexible electronic device flexible dielectric film flexible electrode; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TB34 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名介电层造孔优化ITO-PET/PDMS/ITO-PET结构的电容式柔性压力传感性能被引量：4: 5; 作者蒋哲康聿辰杨涛贺贝贝梁景琪赵子聪余志超李刚王开鹰; 机构太原理工大学材料科学与工程学院能源革命创新研究院; 出处《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第6期839-846,共8页; 基金国家自然科学基金(61901293) 山西省自然科学基金(2019L0316) 山西省高校科技创新研究项目(201901D111090)。; 文摘灵敏度是柔性压力传感器的重要性能指标,为了有效提高传感器的灵敏度,同时兼顾其他各性能,选用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为复合介电层材料、氧化铟锡-聚对苯二甲酸乙二醇脂(ITO-PET)作为电极材料、二亚硝基五亚甲基四胺(DPT)作为造孔试剂,通过介电层造孔的方式,尝试配置不同质量分数DPT的DPT-PDMS试剂来寻找最佳配比,使制备的ITOPET/PDMS/ITO-PET结构的电容式柔性压力传感器的灵敏度显著提高,在低压范围灵敏度达到了1.65 kPa^(-1),相较于没有造孔的PDMS电容式柔性压力传感器的灵敏度(0.36 kPa^(-1))提高了3.58倍,最终取得了灵敏度高、工作压力范围(0~8 kPa)宽、阻滞误差小、循环稳定性高、工作温度范围(0~80℃)广、响应时间(<65 ms)短的电容式压力传感特性。由此可见,对介电层造孔能够有效提高传感器的灵敏度,并且传感器的其他性能均表现良好。; 关键词电容式柔性压力传感器柔性材料造孔聚二甲基硅氧烷(PDMS) 灵敏度; Keywords capacitive flexible pressure sensor flexible material pore-forming polydimethylsiloxane(PDMS) sensitivity; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	具有多孔双微结构层的柔性电容式压力传感器	孙翰轩陈盛华徐策王志华	《微纳电子技术》 CAS	2024	1	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于均匀微突结构的高灵敏柔性电容压力传感器	刘彩霞李帅胡若海陈恒张玉刚	《合肥工业大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心	2024	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	电容式柔性压力传感器的研究进展	王杰汪滨安泊儒杜宗玺李秀艳	《北京服装学院学报（自然科学版）》 CAS 北大核心	2020	6	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于MWCNT-PDMS高灵敏度电容式柔性压力传感器	徐国际张文磊李廷鱼顼建乐郭丽芳李刚	《微纳电子技术》 CAS 北大核心	2021	7	在线阅读下载PDF 职称材料
5	介电层造孔优化ITO-PET/PDMS/ITO-PET结构的电容式柔性压力传感性能	蒋哲康聿辰杨涛贺贝贝梁景琪赵子聪余志超李刚王开鹰	《微纳电子技术》 CAS 北大核心	2023	4	在线阅读下载PDF 职称材料