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电容式微传声器的制备研究新进展
被引量：
3
1
作者
宁瑾
刘忠立
赵慧
《电子器件》
CAS
2002年第1期9-13,共5页
本文对近几年来运用单片制备方法 ,采用硅微机械加工技术 (MEMS)工艺研制的电容式微传声器进行了详细描述。通过分析和研究指出 ,将微传声器与其外围电路集成在单片上可降低器件噪声 ,采用纹膜或复合膜结构可增加器件的灵敏度 ,根据具...
本文对近几年来运用单片制备方法 ,采用硅微机械加工技术 (MEMS)工艺研制的电容式微传声器进行了详细描述。通过分析和研究指出 ,将微传声器与其外围电路集成在单片上可降低器件噪声 ,采用纹膜或复合膜结构可增加器件的灵敏度 ,根据具体情况优化电极形状和尺寸 。
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关键词
电容式微传声器
微机械加工技术
制备
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职称材料
硅基微传声器的研究进展
被引量：
1
2
作者
陈兢
刘理天
李志坚
《中国集成电路》
2002年第4期40-43,共4页
基于MEMS技术的硅基微传声器的出现是现代声学器件的又一次革命。本文介绍了微传声器的发展现状,并对流行的电容式微传声器的原理进行了简要分析。清华大学微电子所研制的微传声器在结构上具有创新,制作工艺与标准IC电路兼容,多项指标...
基于MEMS技术的硅基微传声器的出现是现代声学器件的又一次革命。本文介绍了微传声器的发展现状,并对流行的电容式微传声器的原理进行了简要分析。清华大学微电子所研制的微传声器在结构上具有创新,制作工艺与标准IC电路兼容,多项指标已位于国际先进水平。
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关键词
电容式微传声器
驻极体
传声器
机械灵敏度
制作工艺
前置放大器
硅基
频率响应
微电子
微机械
噪声
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职称材料
题名
电容式微传声器的制备研究新进展
被引量：
3
1
作者
宁瑾
刘忠立
赵慧
机构
中国科学院半导体研究所微电子中心
出处
《电子器件》
CAS
2002年第1期9-13,共5页
文摘
本文对近几年来运用单片制备方法 ,采用硅微机械加工技术 (MEMS)工艺研制的电容式微传声器进行了详细描述。通过分析和研究指出 ,将微传声器与其外围电路集成在单片上可降低器件噪声 ,采用纹膜或复合膜结构可增加器件的灵敏度 ,根据具体情况优化电极形状和尺寸 。
关键词
电容式微传声器
微机械加工技术
制备
Keywords
capacitive microphone
MEMS
分类号
TN641 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
硅基微传声器的研究进展
被引量：
1
2
作者
陈兢
刘理天
李志坚
机构
清华大学微电子学研究所
出处
《中国集成电路》
2002年第4期40-43,共4页
文摘
基于MEMS技术的硅基微传声器的出现是现代声学器件的又一次革命。本文介绍了微传声器的发展现状,并对流行的电容式微传声器的原理进行了简要分析。清华大学微电子所研制的微传声器在结构上具有创新,制作工艺与标准IC电路兼容,多项指标已位于国际先进水平。
关键词
电容式微传声器
驻极体
传声器
机械灵敏度
制作工艺
前置放大器
硅基
频率响应
微电子
微机械
噪声
分类号
TN64 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
电容式微传声器的制备研究新进展
宁瑾
刘忠立
赵慧
《电子器件》
CAS
2002
3
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职称材料
2
硅基微传声器的研究进展
陈兢
刘理天
李志坚
《中国集成电路》
2002
1
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