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电容式压力微传感器的研制
被引量：
1
1
作者
刘景春
邓永和
李玉琮
《微纳电子技术》
CAS
2004年第3期37-38,共2页
介绍了一种经特殊工艺处理的电容式压力微传感器,分析和论证了其结构设计、工作原理和测量电路。
关键词
电容式压力微传感器
测量电路
平行板
电容
器
MEMS
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
电容式压力微传感器的研制
被引量：
1
1
作者
刘景春
邓永和
李玉琮
机构
吉首大学物理与电子工程系
湖南工程学院数理系
出处
《微纳电子技术》
CAS
2004年第3期37-38,共2页
文摘
介绍了一种经特殊工艺处理的电容式压力微传感器,分析和论证了其结构设计、工作原理和测量电路。
关键词
电容式压力微传感器
测量电路
平行板
电容
器
MEMS
Keywords
capacitive
force micro-sensor
structure
survey circuit
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
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作者
出处
发文年
被引量
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1
电容式压力微传感器的研制
刘景春
邓永和
李玉琮
《微纳电子技术》
CAS
2004
1
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职称材料
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