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高精度电容式位移传感器校准方法的研究 被引量:14
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作者 郑志月 施玉书 +4 位作者 高思田 李东升 李伟 李适 李庆贤 《计量学报》 CSCD 北大核心 2015年第1期14-18,共5页
介绍一种使用激光干涉仪结合单轴精密位移台对电容式位移传感器进行校准的方法。建立了一套高精度电容式位移传感器校准装置,利用单轴精密位移台位移与电压之间的关系产生纳米级的微小位移,同时使用激光干涉仪和待校准电容式位移传感... 介绍一种使用激光干涉仪结合单轴精密位移台对电容式位移传感器进行校准的方法。建立了一套高精度电容式位移传感器校准装置,利用单轴精密位移台位移与电压之间的关系产生纳米级的微小位移,同时使用激光干涉仪和待校准电容式位移传感器测量单轴精密位移台的微小位移。该装置可实现电容式位移传感器线性度、测量重复性以及测量分辨率的校准。实验验证了此校准方法的准确性和实用性,对影响校准的主要因素进行了分析,其综合不确定度为2.2nm。 展开更多
关键词 计量学 纳米计量 电容式位移传感器 单轴精密位移 激光干涉仪
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基于AGA-LSSVM的电容式位移传感器温度补偿 被引量:4
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作者 辜申 卢文科 +1 位作者 冯阳 左锋 《东华大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2020年第5期798-804,共7页
利用自适应遗传算法(adaptive genetic algorithm,AGA)良好的全局寻优能力来优化最小二乘支持向量机(least square support vector machine,LSSVM)的正则化参数γ和核函数参数σ2,构建电容式位移传感器的AGA-LSSVM温度补偿模型,并对其... 利用自适应遗传算法(adaptive genetic algorithm,AGA)良好的全局寻优能力来优化最小二乘支持向量机(least square support vector machine,LSSVM)的正则化参数γ和核函数参数σ2,构建电容式位移传感器的AGA-LSSVM温度补偿模型,并对其输出位移进行预测,从而实现温度补偿。经计算分析可知,利用AGA-LSSVM算法模型对电容式位移传感器进行温度补偿后,其灵敏度温度系数αs由6.83×10-3℃-1变为2.98×10-4℃-1,相对误差δt由25.58%减小到0.45%。同时将AGA-LSSVM算法模型与LSSVM、遗传算法优化最小二乘支持向量机(GA-LSSVM)以及自适应遗传算法优化支持向量机(AGA-SVM)算法模型的预测结果进行比较,结果表明,利用AGA-LSSVM算法模型对电容式位移传感器进行温度补偿显示出较大的优越性。 展开更多
关键词 电容式位移传感器 温度补偿 灵敏度温度系数 自适应遗传算法 最小二乘支持向量机算法
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电容式位移传感器的非线性拟合比较 被引量:4
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作者 张菡 薄涵亮 +2 位作者 王帅 杨文龙 傅一帆 《电子技术应用》 2019年第9期89-92,96,共5页
针对控制棒落棒时棒位指示传感器的电容和位移关系,在水平位置下,在4种不同的工况下将控制棒数据进行标定,对标定得到的电容值取最大值和最小值的二分之一作为拟合值,分别采用三次样条插值、最小二乘法、BP神经网络的方法对数据进行拟合... 针对控制棒落棒时棒位指示传感器的电容和位移关系,在水平位置下,在4种不同的工况下将控制棒数据进行标定,对标定得到的电容值取最大值和最小值的二分之一作为拟合值,分别采用三次样条插值、最小二乘法、BP神经网络的方法对数据进行拟合,然后使用4种工况下得到的原始数据进行插值观察误差并做残差分析。MATLAB拟合结果表明,三次样条插值具有良好的效果。 展开更多
关键词 电容式位移传感器 三次样条插值 非线性拟合
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电容式位移传感器的研制
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作者 谢叶 《岩土力学》 EI CAS CSCD 1990年第1期83-91,共9页
本文讨论了连接电缆分布参数对电桥平衡方程及电桥灵敏度的影响,认为可进行三端测量的变压器比率臂电桥能在很大程度上消除这些分布参数的影响。二个非完全包围导体之间的电容量的不确定性,可以通过引入一个三端电容来消除。因此,若把... 本文讨论了连接电缆分布参数对电桥平衡方程及电桥灵敏度的影响,认为可进行三端测量的变压器比率臂电桥能在很大程度上消除这些分布参数的影响。二个非完全包围导体之间的电容量的不确定性,可以通过引入一个三端电容来消除。因此,若把电容式位移传感器做成三端式结构,就可以用变压器比率臂电桥精确地测量出传感器电容量的微小变化。由此,研制了一种电容式位移传感器,设计并制作了变压器比率臂电桥及其有关检测电路。实验结果表明,当载波频率为100kHz时,能在100m长的连接电缆处测量出10^(-3)pF量级的电容变化量;并且认为,能在更长的连接电缆下进行精确地测量。 展开更多
关键词 电容式位移传感器 岩土力学参数测量 变压器比率臂电桥
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粒子加速器丝线位置测量电容传感器标定方法 被引量:1
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作者 闫路平 董岚 +13 位作者 王铜 卢尚 韩圆颖 刘晓阳 张露彦 闫皓月 马娜 何振强 柯志勇 门玲鸰 李波 王小龙 梁静 罗涛 《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2022年第11期86-93,共8页
在高能同步辐射光源中,为了提高磁铁的准直精度,采用磁中心代替机械中心进行磁铁标定,通过振动线或旋转线等技术获得磁铁的磁中心位置,以及通过电容式位移传感器测量得到丝线的位置,从而实现磁中心与准直靶标的关联。为了实现丝线位置... 在高能同步辐射光源中,为了提高磁铁的准直精度,采用磁中心代替机械中心进行磁铁标定,通过振动线或旋转线等技术获得磁铁的磁中心位置,以及通过电容式位移传感器测量得到丝线的位置,从而实现磁中心与准直靶标的关联。为了实现丝线位置的高精度测量,必须对电容传感器进行精确标定,因此介绍了一种电容式位移传感器,并对其标定方法进行了研究,提出了网格化的数据采集方式以及高阶多项式拟合的数据处理方法,搭建了传感器标定平台并开发了相应的标定控制程序,实现了对传感器的自动控制、数据采集和高精度标定过程。经过分析与对比,标定后的电容传感器达到μm级的位移测量精度,为磁铁的高精度准直提供了基础。 展开更多
关键词 振动线 电容式位移传感器 标定 多项式拟合 精度分析
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ICF中可调法布里-珀罗滤波器间距稳定度研究 被引量:1
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作者 师树恒 王斌 +1 位作者 王勇 朱健强 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期777-780,共4页
在神光Ⅱ第9路ICF高功率激光装置中,采用可调法布里-珀罗(F-P)滤波器对幅度调制效应进行补偿,根据补偿装置的技术要求,提出一种应用nm量级精度的电容式位移传感器对可调F-P滤波器间距稳定度进行监控的系统,详细论述了监控系统的结构与... 在神光Ⅱ第9路ICF高功率激光装置中,采用可调法布里-珀罗(F-P)滤波器对幅度调制效应进行补偿,根据补偿装置的技术要求,提出一种应用nm量级精度的电容式位移传感器对可调F-P滤波器间距稳定度进行监控的系统,详细论述了监控系统的结构与工作原理。给出了电容式位移传感器的驱动电路及数据处理与控制软件的设计方案,并对电容式位移传感器的精度进行了标定。实验结果表明,该位移监控系统能够使可调F-P滤波器的间距稳定度保持在15 nm/h以内,使幅度调制效应的调制深度优于4%。 展开更多
关键词 法布里-珀罗滤波器 位移监控系统 电容式位移传感器 间距稳定度 幅度调制效应
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非接触式换向器片间误差测试仪 被引量:2
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作者 王清瑜 奚文超 +1 位作者 顾俊毅 陈欣 《电动工具》 2011年第1期8-13,共6页
介绍电容式位移传感器在非接触式换向器片间测试仪上的应用。对目前采用差动电感式高精度旁向式位移传感器的同类仪器而言,扩大了使用范围,是一种有益的尝试。
关键词 非接触式测量 电容式位移传感器 片间误差
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