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红外探测器中一种电容式反馈跨阻放大器的设计
被引量:
1
1
作者
白利慧
刘利峰
王成勇
《电子器件》
CAS
2024年第1期62-68,共7页
放大器电路对提高红外成像技术中红外探测器的读出精度,是至关重要的。针对电容式反馈跨阻放大器的设计进行了研究,提出了一种在反馈回路中用晶体管代替反馈电阻的新的拓扑结构。对于所提出的拓扑结构,提出并分析了与系统稳定性相关的...
放大器电路对提高红外成像技术中红外探测器的读出精度,是至关重要的。针对电容式反馈跨阻放大器的设计进行了研究,提出了一种在反馈回路中用晶体管代替反馈电阻的新的拓扑结构。对于所提出的拓扑结构,提出并分析了与系统稳定性相关的诸如截止频率和衰减比等的总体频率响应和设计参数,从而获得高直流输入动态范围。此外,还讨论了在直流反馈回路中加入额外的电容以确保系统的稳定性。分析、仿真和实验结果的良好一致性验证了所提出的CF-TIA方案的有效性,而且所提出的电路设计在正常或低直流输入下的整体噪声性能方面相比于传统的CF-TIA方案更具优势。尽管本文中的电路采用分立元件实现,但提出的频率响应模型和稳定性分析适用于所有CF-TIA应用和CMOS芯片设计。
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关键词
跨
阻
放大器
电容
式
反馈
晶体管
直流动态范围
频率响应
稳定性
噪声
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职称材料
负反馈放大器输出阻抗计算问题分析
2
作者
赵秋
《渤海学刊(哲学社会科学版)》
1988年第4期32-34,共3页
负反馈放大器的分析是电子线路课程的难点之一,而电流负反馈放大器输出阻抗的计算是学生们经常出现错误的,备现行教材中至今未给出论证,本文就负反馈放大器输出阻抗的两种求解方法给出适用范围的证明,并对常见错误作出分析。
关键词
负
反馈
放大器
电子线路
问题分析
电压增益
反馈
系数
现行教材
反馈
深度
物理实质
大鉴
互
阻
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职称材料
光导型石墨烯探测器暗电流抑制电路研究
3
作者
仝淅哲
申钧
《红外》
2025年第2期1-12,共12页
针对光导型石墨烯探测器暗电流大的特点,在分析几种暗电流抑制电路的基础上,利用电容反馈跨阻放大器(Capacitive Trans-Impedance Amplifier, CTIA)积分电路设计了一种新型低温度系数暗电流抑制电路。仿真分析结果表明,该结构具有良好...
针对光导型石墨烯探测器暗电流大的特点,在分析几种暗电流抑制电路的基础上,利用电容反馈跨阻放大器(Capacitive Trans-Impedance Amplifier, CTIA)积分电路设计了一种新型低温度系数暗电流抑制电路。仿真分析结果表明,该结构具有良好的暗电流抑制能力。相比于传统CTIA结构,积分饱和时间提升显著,并且具有良好的积分均匀性和输出线性度。在-20~40℃温度范围内,电流--温度误差率为0.15%,电压偏移量不到80 mV,能够在室温条件下保持良好的暗电流抑制功能。探测器偏置电压漂移改善88.7%,为探测器稳定工作提供了保障。同时,抑制电流的大小可调,为改善石墨烯基探测器像元的不均匀性和未来制备大规模的石墨烯基探测器阵列提供了参考。
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关键词
光导型
石墨烯
暗电流抑制
电容
反馈
跨
阻
放大器
低温度系数
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职称材料
红外探测器高性能读出电路的研究
被引量:
12
4
作者
姜俊伟
赵毅强
+1 位作者
孟范忠
郭莹
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2009年第5期787-791,共5页
设计了一种高性能电容反馈跨阻放大器(CTIA)与相关双采样电路(CDS)相结合的红外探测器读出电路。该电路采用CTIA电路实现对微弱电流信号的高精度读出,并通过CDS电路抑制CTIA引入的固定模式噪声(FPN),最后采用失调校正技术减小CDS引入的...
设计了一种高性能电容反馈跨阻放大器(CTIA)与相关双采样电路(CDS)相结合的红外探测器读出电路。该电路采用CTIA电路实现对微弱电流信号的高精度读出,并通过CDS电路抑制CTIA引入的固定模式噪声(FPN),最后采用失调校正技术减小CDS引入的失调,从而减小了噪声对电路的影响,提高了读出电路的精度。采用特许半导体(Chartered)0.35μm标准CMOS工艺对电路进行流片,测试结果表明:在20pA~10nA范围内该电路功能良好,读出精度可达10bit以上,线性度达97%,达到了设计要求。该读出电路可用于长线列及面阵结构红外探测系统。
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关键词
电容
反馈
跨
阻
放大器
相关双采样电路
固定模式噪声
失调校正技术
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职称材料
光电传感器读出电路的参数可调控制研究
被引量:
4
5
作者
詹国钟
郭方敏
+1 位作者
黄静
朱荣锦
《红外技术》
CSCD
北大核心
2008年第8期485-488,共4页
基于电容反馈互导放大器和相关双采样结构的读出电路原理,分析了电路中控制信号的时序关系,设计了参数可调的时序控制电路。应用Cadence进行电路仿真和版图设计优化,通过流片、测试,证明参数可调的时序控制电路能有效调节参数,易于控制...
基于电容反馈互导放大器和相关双采样结构的读出电路原理,分析了电路中控制信号的时序关系,设计了参数可调的时序控制电路。应用Cadence进行电路仿真和版图设计优化,通过流片、测试,证明参数可调的时序控制电路能有效调节参数,易于控制,适用于具有该读出结构的读出电路。
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关键词
电容
反馈
互
导
放大器
相关双采样
光电探测器
读出电路
时序控制电路
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职称材料
2×8低噪声InGaAs/InP APD读出电路设计
6
作者
黄静
郭方敏
王志亮
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第11期1041-1043,共3页
对In0.53Ga0.47As/InP雪崩光电二极管(APD)探测器进行了特性分析。以大阵列研究为基础,结合器件特性设计了一个2×8低噪声读出电路(ROIC),电路主要由电容反馈互阻放大器(CTIA)和相关双采样(CDS)电路单元构成,并对读出电路的时序、...
对In0.53Ga0.47As/InP雪崩光电二极管(APD)探测器进行了特性分析。以大阵列研究为基础,结合器件特性设计了一个2×8低噪声读出电路(ROIC),电路主要由电容反馈互阻放大器(CTIA)和相关双采样(CDS)电路单元构成,并对读出电路的时序、积分电容等进行了设计。电路采用0.6μm CMOS工艺流片,芯片面积为2 mm×2 mm,电荷存储能力为5×107个,功耗小,噪声低,设计达到预期要求。
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关键词
InGaAs/InP雪崩光电二极管探测器
低噪声读出电路
电容
反馈
互
阻
放大器
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职称材料
1024×1024 AlGaN紫外焦平面读出电路的超低功耗设计
被引量:
1
7
作者
谢晶
李晓娟
+1 位作者
张燕
李向阳
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2020年第5期163-169,共7页
提出了一种新型的超低功耗读出电路用于18μm中心距1 024×1 024面阵规模的AlGaN紫外焦平面。为了实现低功耗设计紫外焦平面读出电路,采用了三种设计方法,包括:电容反馈跨阻放大器CTIA结构采用工作在亚阈值区的单端输入运算放大器,...
提出了一种新型的超低功耗读出电路用于18μm中心距1 024×1 024面阵规模的AlGaN紫外焦平面。为了实现低功耗设计紫外焦平面读出电路,采用了三种设计方法,包括:电容反馈跨阻放大器CTIA结构采用工作在亚阈值区的单端输入运算放大器,列像素源随缓冲器和电平移位电路共用同一个电流源负载以及列级缓冲器的分时尾电流源设计。由于像素单元内CTIA采用了单端输入运算放大器,在3.3 V供电电压下,每个像素单元最小工作电流仅8.5 nA。该读出电路设计了可调偏置电流电路使读出电路能得到更好的性能并基于SMIC 0.18μm 1P6M混合信号工艺平台进行了设计制造。测试结果表明:由于采用了上述设计方法,整个芯片的功耗在2 MHz时钟8路输出模式下仅67.3 mW。
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关键词
读出电路
紫外焦平面
超低功耗
电容
反馈
跨
阻
放大器
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职称材料
二极管型非制冷红外探测器的前端电路设计
被引量:
1
8
作者
赵国芬
赵毅强
+2 位作者
赵公元
张志恒
郭肇敏
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2016年第1期149-154,共6页
设计了一种二极管型非制冷红外探测器的前端电路,该电路采用Gm-C-OP积分放大器的结构,将探测器输出的微弱电压信号经跨导放大器(OTA)转化为电流信号,再经电容反馈跨阻放大器(CTIA)积分转化为电压信号输出。该OTA采用电流反馈型结构...
设计了一种二极管型非制冷红外探测器的前端电路,该电路采用Gm-C-OP积分放大器的结构,将探测器输出的微弱电压信号经跨导放大器(OTA)转化为电流信号,再经电容反馈跨阻放大器(CTIA)积分转化为电压信号输出。该OTA采用电流反馈型结构,可以获得比传统OTA更高的线性度和跨导值。输入采用差分结构,可以有效地消除环境温度及制造工艺对探测器输出信号的影响。电路采用0.35μm CMOS工艺进行设计并流片,5 V电源电压供电。Gm-C-OP积分放大器总面积0.012 6 mm2,当输入差分电压为0~5 m V时,测试结果表明:OTA跨导值与仿真结果保持一致,Gm-C-OP积分放大器可实现对动态输入差分信号到输出电压的线性转化,线性度达97%,输出范围大于2V。
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关键词
跨导
放大器
电容
反馈
跨
阻
放大器
Gm-C-OP积分
放大器
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职称材料
高灵敏度的量子效应探测器的建模和微光探测
被引量:
2
9
作者
梁孔科
王明甲
《微纳电子技术》
北大核心
2019年第4期263-268,共6页
针对新型量子点-量子阱光电探测器在不同的辐照功率和器件偏压下的电特性测试,采用曲线拟合的方法,得到不同辐照光功率下的I-V、C-V之间的函数关系,应用Verilog-A语言建立等效电路模型,然后利用电路模拟软件进行验证,为读出电路的设计...
针对新型量子点-量子阱光电探测器在不同的辐照功率和器件偏压下的电特性测试,采用曲线拟合的方法,得到不同辐照光功率下的I-V、C-V之间的函数关系,应用Verilog-A语言建立等效电路模型,然后利用电路模拟软件进行验证,为读出电路的设计提供准确的便于和读出电路一起模拟仿真的探测器模型。针对这种探测器低温下具有的暗电流小、灵敏度高、光电转换效率高等优点,设计了电容反馈互阻放大器(CTIA)和相关双采样(CDS)结构的读出电路。芯片集成后和2×8阵列的量子效应探测器封装在陶瓷基板上,低温下(77 K)采用633 nm He-Ne激光聚焦照射探测器,测试得到探测器的微光响应电压。实验结果表明,当器件在50 pW光功率、29.3μs的积分时间、偏压约-3.1 V时,读出电路与探测器对接后12个像元有响应电压;增大光功率至500 pW时,16个像元都有响应;读出电路与探测器对接后平均响应电压为18 mV,平均电压响应率达到3.6×107 V/W。
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关键词
微光探测
读出电路
量子点
电容
反馈
互
阻
放大器
(
ctia
)
相关双采样(CDS)
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职称材料
题名
红外探测器中一种电容式反馈跨阻放大器的设计
被引量:
1
1
作者
白利慧
刘利峰
王成勇
机构
山西机电职业技术学院电气工程系
山西大同大学物理与电子科学学院
驻重庆地区第五军代室
出处
《电子器件》
CAS
2024年第1期62-68,共7页
基金
山西省高等学校科技创新项目(2021L392)。
文摘
放大器电路对提高红外成像技术中红外探测器的读出精度,是至关重要的。针对电容式反馈跨阻放大器的设计进行了研究,提出了一种在反馈回路中用晶体管代替反馈电阻的新的拓扑结构。对于所提出的拓扑结构,提出并分析了与系统稳定性相关的诸如截止频率和衰减比等的总体频率响应和设计参数,从而获得高直流输入动态范围。此外,还讨论了在直流反馈回路中加入额外的电容以确保系统的稳定性。分析、仿真和实验结果的良好一致性验证了所提出的CF-TIA方案的有效性,而且所提出的电路设计在正常或低直流输入下的整体噪声性能方面相比于传统的CF-TIA方案更具优势。尽管本文中的电路采用分立元件实现,但提出的频率响应模型和稳定性分析适用于所有CF-TIA应用和CMOS芯片设计。
关键词
跨
阻
放大器
电容
式
反馈
晶体管
直流动态范围
频率响应
稳定性
噪声
Keywords
transresistance amplifier
capacitive feedback
transistor
direct current dynamic range
frequency response
stability
noise
分类号
TN722 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
负反馈放大器输出阻抗计算问题分析
2
作者
赵秋
出处
《渤海学刊(哲学社会科学版)》
1988年第4期32-34,共3页
文摘
负反馈放大器的分析是电子线路课程的难点之一,而电流负反馈放大器输出阻抗的计算是学生们经常出现错误的,备现行教材中至今未给出论证,本文就负反馈放大器输出阻抗的两种求解方法给出适用范围的证明,并对常见错误作出分析。
关键词
负
反馈
放大器
电子线路
问题分析
电压增益
反馈
系数
现行教材
反馈
深度
物理实质
大鉴
互
阻
分类号
TN7 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
光导型石墨烯探测器暗电流抑制电路研究
3
作者
仝淅哲
申钧
机构
重庆邮电大学
中国科学院重庆绿色智能技术研究院
中国科学院大学
出处
《红外》
2025年第2期1-12,共12页
文摘
针对光导型石墨烯探测器暗电流大的特点,在分析几种暗电流抑制电路的基础上,利用电容反馈跨阻放大器(Capacitive Trans-Impedance Amplifier, CTIA)积分电路设计了一种新型低温度系数暗电流抑制电路。仿真分析结果表明,该结构具有良好的暗电流抑制能力。相比于传统CTIA结构,积分饱和时间提升显著,并且具有良好的积分均匀性和输出线性度。在-20~40℃温度范围内,电流--温度误差率为0.15%,电压偏移量不到80 mV,能够在室温条件下保持良好的暗电流抑制功能。探测器偏置电压漂移改善88.7%,为探测器稳定工作提供了保障。同时,抑制电流的大小可调,为改善石墨烯基探测器像元的不均匀性和未来制备大规模的石墨烯基探测器阵列提供了参考。
关键词
光导型
石墨烯
暗电流抑制
电容
反馈
跨
阻
放大器
低温度系数
Keywords
photoconductive
graphene
dark current suppression
capacitive trans-impedance amplifier
low temperature coefficien
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
红外探测器高性能读出电路的研究
被引量:
12
4
作者
姜俊伟
赵毅强
孟范忠
郭莹
机构
天津大学电子信息工程学院专用集成电路设计中心
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2009年第5期787-791,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(60806010)
文摘
设计了一种高性能电容反馈跨阻放大器(CTIA)与相关双采样电路(CDS)相结合的红外探测器读出电路。该电路采用CTIA电路实现对微弱电流信号的高精度读出,并通过CDS电路抑制CTIA引入的固定模式噪声(FPN),最后采用失调校正技术减小CDS引入的失调,从而减小了噪声对电路的影响,提高了读出电路的精度。采用特许半导体(Chartered)0.35μm标准CMOS工艺对电路进行流片,测试结果表明:在20pA~10nA范围内该电路功能良好,读出精度可达10bit以上,线性度达97%,达到了设计要求。该读出电路可用于长线列及面阵结构红外探测系统。
关键词
电容
反馈
跨
阻
放大器
相关双采样电路
固定模式噪声
失调校正技术
Keywords
ctia
CDS
FPN
Offset calibration technique
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
光电传感器读出电路的参数可调控制研究
被引量:
4
5
作者
詹国钟
郭方敏
黄静
朱荣锦
机构
华东师范大学信息学院
出处
《红外技术》
CSCD
北大核心
2008年第8期485-488,共4页
基金
科技部重大项目(2006CB932802)
国家自然科学基金资助项目(10374095)
文摘
基于电容反馈互导放大器和相关双采样结构的读出电路原理,分析了电路中控制信号的时序关系,设计了参数可调的时序控制电路。应用Cadence进行电路仿真和版图设计优化,通过流片、测试,证明参数可调的时序控制电路能有效调节参数,易于控制,适用于具有该读出结构的读出电路。
关键词
电容
反馈
互
导
放大器
相关双采样
光电探测器
读出电路
时序控制电路
Keywords
ctia
correlated double sampling
photodetector
ROIC
sequential control circuit
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
2×8低噪声InGaAs/InP APD读出电路设计
6
作者
黄静
郭方敏
王志亮
机构
华东师范大学信息学院极化材料与器件教育部重点实验室
南通大学电子信息学院
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第11期1041-1043,共3页
基金
科技部重大项目资助(2006CB932802)
南通大学自然科学项目资助(07Z039)
文摘
对In0.53Ga0.47As/InP雪崩光电二极管(APD)探测器进行了特性分析。以大阵列研究为基础,结合器件特性设计了一个2×8低噪声读出电路(ROIC),电路主要由电容反馈互阻放大器(CTIA)和相关双采样(CDS)电路单元构成,并对读出电路的时序、积分电容等进行了设计。电路采用0.6μm CMOS工艺流片,芯片面积为2 mm×2 mm,电荷存储能力为5×107个,功耗小,噪声低,设计达到预期要求。
关键词
InGaAs/InP雪崩光电二极管探测器
低噪声读出电路
电容
反馈
互
阻
放大器
Keywords
InGaAs/InP APD detector
low-noise ROIC
ctia
分类号
TN312.7 [电子电信—物理电子学]
O431 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
1024×1024 AlGaN紫外焦平面读出电路的超低功耗设计
被引量:
1
7
作者
谢晶
李晓娟
张燕
李向阳
机构
中国科学院上海技术物理研究所传感技术联合国家重点实验室
中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2020年第5期163-169,共7页
基金
国家重点研发计划项目(2016YFB0500600)。
文摘
提出了一种新型的超低功耗读出电路用于18μm中心距1 024×1 024面阵规模的AlGaN紫外焦平面。为了实现低功耗设计紫外焦平面读出电路,采用了三种设计方法,包括:电容反馈跨阻放大器CTIA结构采用工作在亚阈值区的单端输入运算放大器,列像素源随缓冲器和电平移位电路共用同一个电流源负载以及列级缓冲器的分时尾电流源设计。由于像素单元内CTIA采用了单端输入运算放大器,在3.3 V供电电压下,每个像素单元最小工作电流仅8.5 nA。该读出电路设计了可调偏置电流电路使读出电路能得到更好的性能并基于SMIC 0.18μm 1P6M混合信号工艺平台进行了设计制造。测试结果表明:由于采用了上述设计方法,整个芯片的功耗在2 MHz时钟8路输出模式下仅67.3 mW。
关键词
读出电路
紫外焦平面
超低功耗
电容
反馈
跨
阻
放大器
Keywords
readout integrated circuit(ROIC)
ultraviolet focal plane arrays(UVFPA)
ultra-low-power
ctia
分类号
TN23 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
二极管型非制冷红外探测器的前端电路设计
被引量:
1
8
作者
赵国芬
赵毅强
赵公元
张志恒
郭肇敏
机构
天津大学电子信息工程学院专用集成电路设计中心
航天海鹰光电信息技术有限公司
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2016年第1期149-154,共6页
基金
国家863计划(2015AA042605)
文摘
设计了一种二极管型非制冷红外探测器的前端电路,该电路采用Gm-C-OP积分放大器的结构,将探测器输出的微弱电压信号经跨导放大器(OTA)转化为电流信号,再经电容反馈跨阻放大器(CTIA)积分转化为电压信号输出。该OTA采用电流反馈型结构,可以获得比传统OTA更高的线性度和跨导值。输入采用差分结构,可以有效地消除环境温度及制造工艺对探测器输出信号的影响。电路采用0.35μm CMOS工艺进行设计并流片,5 V电源电压供电。Gm-C-OP积分放大器总面积0.012 6 mm2,当输入差分电压为0~5 m V时,测试结果表明:OTA跨导值与仿真结果保持一致,Gm-C-OP积分放大器可实现对动态输入差分信号到输出电压的线性转化,线性度达97%,输出范围大于2V。
关键词
跨导
放大器
电容
反馈
跨
阻
放大器
Gm-C-OP积分
放大器
Keywords
OTA
ctia
Gm-C-OP integrated amplifier
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
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职称材料
题名
高灵敏度的量子效应探测器的建模和微光探测
被引量:
2
9
作者
梁孔科
王明甲
机构
青岛工学院信息工程学院
青岛科技大学自动化与电子工程学院
出处
《微纳电子技术》
北大核心
2019年第4期263-268,共6页
基金
山东省高等学校科技发展计划资助项目(J17KA059)
文摘
针对新型量子点-量子阱光电探测器在不同的辐照功率和器件偏压下的电特性测试,采用曲线拟合的方法,得到不同辐照光功率下的I-V、C-V之间的函数关系,应用Verilog-A语言建立等效电路模型,然后利用电路模拟软件进行验证,为读出电路的设计提供准确的便于和读出电路一起模拟仿真的探测器模型。针对这种探测器低温下具有的暗电流小、灵敏度高、光电转换效率高等优点,设计了电容反馈互阻放大器(CTIA)和相关双采样(CDS)结构的读出电路。芯片集成后和2×8阵列的量子效应探测器封装在陶瓷基板上,低温下(77 K)采用633 nm He-Ne激光聚焦照射探测器,测试得到探测器的微光响应电压。实验结果表明,当器件在50 pW光功率、29.3μs的积分时间、偏压约-3.1 V时,读出电路与探测器对接后12个像元有响应电压;增大光功率至500 pW时,16个像元都有响应;读出电路与探测器对接后平均响应电压为18 mV,平均电压响应率达到3.6×107 V/W。
关键词
微光探测
读出电路
量子点
电容
反馈
互
阻
放大器
(
ctia
)
相关双采样(CDS)
Keywords
weak-light detection
readout circuit
quantum dot
capacitive feedback transimpedance amplifier(
ctia
)
correlated double sample(CDS)
分类号
TN15 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
红外探测器中一种电容式反馈跨阻放大器的设计
白利慧
刘利峰
王成勇
《电子器件》
CAS
2024
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
负反馈放大器输出阻抗计算问题分析
赵秋
《渤海学刊(哲学社会科学版)》
1988
0
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职称材料
3
光导型石墨烯探测器暗电流抑制电路研究
仝淅哲
申钧
《红外》
2025
0
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职称材料
4
红外探测器高性能读出电路的研究
姜俊伟
赵毅强
孟范忠
郭莹
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2009
12
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职称材料
5
光电传感器读出电路的参数可调控制研究
詹国钟
郭方敏
黄静
朱荣锦
《红外技术》
CSCD
北大核心
2008
4
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职称材料
6
2×8低噪声InGaAs/InP APD读出电路设计
黄静
郭方敏
王志亮
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2008
0
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职称材料
7
1024×1024 AlGaN紫外焦平面读出电路的超低功耗设计
谢晶
李晓娟
张燕
李向阳
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2020
1
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职称材料
8
二极管型非制冷红外探测器的前端电路设计
赵国芬
赵毅强
赵公元
张志恒
郭肇敏
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2016
1
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职称材料
9
高灵敏度的量子效应探测器的建模和微光探测
梁孔科
王明甲
《微纳电子技术》
北大核心
2019
2
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