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题名一种用于MEMS陀螺的高精度电容读出电路的设计
被引量：2
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作者
陈方
常洪龙
苑伟政
赵海涛
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机构
西北工业大学微/纳米系统陕西省重点实验室
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第11期1560-1564,共5页
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基金
"863"国家高技术研究发展计划资助(2009AA04Z320)
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文摘
针对电容式MEMS陀螺,设计了一种高精度CMOS接口读出电路。从理论上分析了接口寄生电容、器件的不匹配对接口电路的影响,采用连续时间电压读出方式的检测方法,设计了一款带有输入输出共模反馈的低噪声全差分电荷运算放大器,输入输出共模电压稳定在2.5V,输入端的噪声电压为9nV。载波调制技术用来消除低频闪烁噪声。在Cadence中对设计的接口电路进行仿真分析,并采用PCB电路板进行了实验。结果显示所提出的接口电路不仅消除了大部分寄生电容的影响,抑制了大部分的耦合信号和噪声信号,而且减小了由于器件的不匹配产生的失调电压对电容分辨率的影响,电路Cadence仿真的电容分辨率可达0.13aF/（Hz）~1/2,能满足惯导级的需求。
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关键词
MEMS陀螺
高精度
电容分辨率
CMOS
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Keywords
MEMS gyroscope
high precision
capacitance resolution
CMOS
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分类号
TH7
[机械工程—精密仪器及机械]
V241.5
[航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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题名电容式微机械陀螺仪信号检测电路
被引量：6
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作者
张云福
吕梦琴
罗亮
李荣宽
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机构
电子科技大学电子工程学院
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第6期878-882,共5页
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文摘
提出了一种电容式微机械陀螺仪信号检测方案。该方案与将信号调制到高频后再检测的方案不同,所提方案只需在质量块上加一稳定直流电压,然后与敏感前端CV转换电路相连接,完成电容变化信号到电压信号的检测,因此,简化了电路结构,并且可以消除静态检测电容不相等所造成的误差和获得较低的等效输入噪声。对所设计的电路进行了简要介绍,并且对电路噪声性能进行了分析与推导,在Cadence环境下,基于标准0.25μm COMS工艺模型,对电路进行设计和仿真,显示该电路可达1.2 aF的电容分辨率。
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关键词
微机械陀螺
检测电路
仿真
电容分辨率
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Keywords
micro-gyroscopes
readout circuit
simulation
capacitance resolution
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分类号
V241.6
[航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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