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BiFeO_3薄膜中的电学输运性质(英文) 被引量:4
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作者 孙璟兰 李亚巍 +4 位作者 李天信 林铁 陈静 孟祥建 褚君浩 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期401-404,共4页
报道了铁酸铋薄膜样品在80K^300K温度范围直流电学输运性质的研究结果.利用同一前驱体不同老化时间,用化学溶液沉积法在钛酸锶衬底上制备出两种样品.在低阻样品中,低场下电流随电压变化遵从欧姆定律,电阻不随温度变化;而在中等强度外场... 报道了铁酸铋薄膜样品在80K^300K温度范围直流电学输运性质的研究结果.利用同一前驱体不同老化时间,用化学溶液沉积法在钛酸锶衬底上制备出两种样品.在低阻样品中,低场下电流随电压变化遵从欧姆定律,电阻不随温度变化;而在中等强度外场下显示出肖特基二极管性质.在高阻样品中,低场下电流密度沿晶界分布,输运中的势垒能级为0.57eV;高场下电流的传输则遵从Frenkel-Poole模型,相关势垒能级0.12eV.低阻和高阻两种样品在85K温度下可测最大剩余极化分别为2.6μC/cm2和28.8μC/cm2. 展开更多
关键词 铁电铁磁薄膜 电学输运 铁酸铋薄膜
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原位Si掺杂c-BN薄膜的制备及电学性质研究
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作者 应杰 范亚明 +1 位作者 谭海仁 施辉伟 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第7期409-414,共6页
采用双离子束辅助沉积技术制备了原位Si掺杂的c-BN薄膜。系统研究了辅源轰击束流大小、辅源气体组分比以及衬底温度对制备薄膜的影响。结果表明,在掺入Si杂质后,要保持高立方相含量,必须增强辅源离子的轰击强度;随着辅源混合气体中Ar含... 采用双离子束辅助沉积技术制备了原位Si掺杂的c-BN薄膜。系统研究了辅源轰击束流大小、辅源气体组分比以及衬底温度对制备薄膜的影响。结果表明,在掺入Si杂质后,要保持高立方相含量,必须增强辅源离子的轰击强度;随着辅源混合气体中Ar含量的增加,立方相含量也逐步增加;中等衬底生长温度既可以保持薄膜中高立方相含量以及较好的晶体质量,又不会导致薄膜中应力过大。电学测试则显现掺杂薄膜具有明显的半导体特性和非晶态半导体的电学输运性质。 展开更多
关键词 立方氮化硼薄膜 掺杂 立方相含量 电学输运
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