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电子轰击型有源像素传感器在激光雷达的应用 被引量:6
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作者 熊智鹏 李琦 王骐 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2012年第7期725-730,共6页
激光雷达技术是成像前沿技术之一,在红外波段尤为重要。由于大面阵激光成像雷达回波很弱,且红外波段探测器灵敏度等技术指标较低,导致成像距离有限,制约了其应用范围。美国Intevac公司发明并生产的电子轰击型有源像素传感器(EBAPS)适用... 激光雷达技术是成像前沿技术之一,在红外波段尤为重要。由于大面阵激光成像雷达回波很弱,且红外波段探测器灵敏度等技术指标较低,导致成像距离有限,制约了其应用范围。美国Intevac公司发明并生产的电子轰击型有源像素传感器(EBAPS)适用于微光探测,且其响应谱段为950~1650 nm。美国陆军实验室等单位将EBAPS用于激光雷达。本文简述了EBAPS的工作原理及其三代相机产品的特性,重点介绍了EBAPS在激光雷达中的应用情况。旨在为我国激光雷达的发展及微光成像中探测器的选择提供参考。 展开更多
关键词 激光雷达 电子轰击有源像传感器 红外 微光探测
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CMOS有源像素图像传感器的电子辐照损伤效应研究 被引量:3
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作者 玛丽娅 李豫东 +3 位作者 郭旗 刘昌举 文林 汪波 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第2期182-187,共6页
对某国产CMOS图像传感器进行了两种不同能量的电子辐照试验,在辐照前后及退火过程中采用离线测量方法,考察了暗信号、饱和电压、光谱响应特性等参数,分析了器件的电子辐照效应损伤机理。结果表明:暗信号和暗信号非均匀性都随着辐照剂量... 对某国产CMOS图像传感器进行了两种不同能量的电子辐照试验,在辐照前后及退火过程中采用离线测量方法,考察了暗信号、饱和电压、光谱响应特性等参数,分析了器件的电子辐照效应损伤机理。结果表明:暗信号和暗信号非均匀性都随着辐照剂量的增加及高温退火时间的延长而增大;饱和电压在两种能量电子辐照下均出现较大幅度的减小,并在高温退火过程中有所恢复;光谱响应特性无特别明显变化。经分析,暗电流、饱和电压的变化主要由辐照诱发的氧化物陷阱电荷导致的光敏二极管耗尽层展宽和界面陷阱电荷密度增大导致产生-复合中心的增加所引起。 展开更多
关键词 电子辐照 CMOS有源像传感器 暗信号
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130万像素数字化微光EBAPS器件及组件
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作者 王东辰 徐鹏霄 +2 位作者 王艳 伍伟 唐光华 《固体电子学研究与进展》 2024年第6期F0003-F0003,共1页
数字化微光电子轰击有源像素传感器(Electron bombarded active-pixel sensor,EBAPS)是继超二代、三代微光像增强器之后的下一代数字化微光探测核心器件。EBAPS器件兼顾了真空光电器件的低暗发射、高增益特性与半导体CMOS图像传感器高... 数字化微光电子轰击有源像素传感器(Electron bombarded active-pixel sensor,EBAPS)是继超二代、三代微光像增强器之后的下一代数字化微光探测核心器件。EBAPS器件兼顾了真空光电器件的低暗发射、高增益特性与半导体CMOS图像传感器高集成度、数字化输出特性。适用于极低照度(10^(-5) lx)探测,可满足全天候工作(10^(-5)~10^(5)lx)、高分辨力数字化成像的应用需求。EBAPS器件研制技术及工程化应用技术是国内外微光传感器领域研究的热点。南京电子器件研究所自主开发的130万像素数字化微光EBAPS器件及组件,依托高性能真空光电探测器件工艺平台。 展开更多
关键词 CMOS图像传感器 有源像传感器 传感器领域 光电探测器件 数字化成像 电子轰击 微光探测 增益特性
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基底均匀掺杂下EBAPS电荷收集效率的模拟研究 被引量:16
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作者 宋德 石峰 李野 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2016年第2期48-52,共5页
对P型基底均匀掺杂的情况下电子轰击有源像素传感器(EBAPS)的电荷收集效率进行了理论模拟研究,依据低能电子与固体的相互作用模型结合Monte-Carlo计算方法模拟了光电子入射到死层和倍增层中的运动轨迹,并分析了经过死层后的能量损失率... 对P型基底均匀掺杂的情况下电子轰击有源像素传感器(EBAPS)的电荷收集效率进行了理论模拟研究,依据低能电子与固体的相互作用模型结合Monte-Carlo计算方法模拟了光电子入射到死层和倍增层中的运动轨迹,并分析了经过死层后的能量损失率所受影响因素;依据半导体理论研究了P型基底掺杂浓度、膜厚、入射电子能量对电荷收集效率的影响因素。最终获得的电荷收集效率理论模拟结果与已报道的(4 ke V,均匀掺杂的EPAPS)实测的结果较为相符,表明此文的模拟结果可以为高增益的EBAPS的制作提供理论指导。 展开更多
关键词 电子轰击有源像素传感器 能量损失率 电荷收集效率 死层
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微型低功耗EBAPS相机技术 被引量:8
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作者 刘亚宁 桑鹏 +3 位作者 吕嘉玮 李海涛 徐鹏霄 李保权 《红外技术》 CSCD 北大核心 2019年第9期810-818,共9页
极弱光成像或者单光子成像在夜视、侦查以及空间科学等诸多领域都有迫切的应用需求。电子轰击型有源像素传感器(Electron Bombarded Active Pixel Sensor,EBAPS)具有高灵敏、高分辨率、低噪声、小体积、低功耗的特性,正成为新一代先进... 极弱光成像或者单光子成像在夜视、侦查以及空间科学等诸多领域都有迫切的应用需求。电子轰击型有源像素传感器(Electron Bombarded Active Pixel Sensor,EBAPS)具有高灵敏、高分辨率、低噪声、小体积、低功耗的特性,正成为新一代先进的极弱光成像传感器。针对自主开发EBAPS的应用需求,选取了国内生产的有源像素像传感器(Active Pixel Sensor,APS)进行了相机电路开发。并针对穿戴式的资源约束,选用了小尺寸、低功耗的FLASH型FPGA为主控芯片,完成了APS相机电路的软硬件设计与开发。测试显示,在视频工作情况下,整机功耗0.6 W,电子学噪声6.7 mV,基本实现了微型低功耗的相机要求,为穿戴式EBAPS相机研制奠定了基础。 展开更多
关键词 电子轰击有源像传感器 FLASHFPGA 极弱光成像 低功耗
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