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题名不锈钢的电子轰击放气影响特性研究
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作者
罗艳
王魁波
吴晓斌
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机构
中国科学院微电子研究所
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出处
《真空科学与技术学报》
北大核心
2025年第9期742-750,共9页
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基金
中国科学院战略性先导科技专项项目(XDA0380104)。
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文摘
电子轰击放气对一些真空系统的设计起到决定性作用,但电子轰击放气的影响因素很多。采用典型的真空腔室材料316L不锈钢,开展了电子轰击参数对放气的影响特性实验研究。结果表明,电子束首次轰击新鲜表面时,电子轰击放气响应是立即且剧烈的,后续轰击虽仍为即时响应,但强度显著衰减;随电子束累积剂量的增加,电子轰击放气量和电子产额逐渐下降,降至初始值的近一半;随电子通量的增加,电子轰击放气量和电子产额略微增加;随轰击电子能量的增加,电子轰击放气量和电子产额逐渐增加;电子束轰击表面积也会显著影响材料的放气响应,随着轰击面积增大,电子产额会迅速增至初始值的8倍。316L不锈钢的电子轰击放气组分主要是H_(2),此外还会释放出N_(2)/CO和CO_(2),且这些放气组分的离子流也受电子束轰击参数的影响。
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关键词
电子诱导放气
电子束
不锈钢
真空
影响因素
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Keywords
Electron induced outgassing
Electron beam
Stainless steel
Vacuum
Influence factor
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分类号
TB74
[一般工业技术—材料科学与工程]
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