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题名大气压射频微等离子体放电结构演化的粒子模拟
被引量：7
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作者
张远涛
刘冰
葛蕾
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机构
山东大学电气工程学院山东省特高压输变电技术与气体放电重点实验室
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出处
《高电压技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第10期2997-3005,共9页
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基金
国家自然科学基金(11375107)
山东大学自主创新基金(2012TS067)~~
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文摘
大气压射频微等离子体放电具有较大的潜在应用价值,但实验研究较困难。为此借助于粒子模拟的方法,在给定的放电间隙下,研究了电流密度及二次电子发射系数(SEEC)对射频微等离子体的放电结构的影响。模拟结果表明,随着输入电流密度的增大,放电空间逐渐由鞘层主导的结构转变为辉光放电结构,电子密度也会随之增大,鞘层电场逐渐增强,同时电子能量概率函数(EEPF)曲线会随之整体向上偏移;而在给定的电流密度下,随着SEEC的增大,放电结构也会逐渐由鞘层主导的结构转变为辉光放电的结构,电子密度会随之增大,同时鞘层电场会逐渐变小,高能电子(>20 eV)比例也随之减小。最后分析了在大间隙下出现鞘层主导结构的可能性。
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关键词
大气压气体放电
射频微等离子体
放电结构
粒子模拟
二次电子
电子能量概率函数
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Keywords
atmospheric pressure discharges
radio-frequency microplasma
discharge structures
PIC-MCC simulation
secondary electrons
electron energy probability fianction
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分类号
O461
[理学—电子物理学]
O53
[理学—等离子体物理]
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题名SG滤波在朗缪尔探针信号处理中的应用
被引量：6
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作者
桑庆双
程健
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机构
中国科学技术大学自动化系
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出处
《计算机工程》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第17期220-222,226,共4页
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文摘
利用朗缪尔探针检测射频耦合等离子体特性参数时,测得的伏安特性曲线会受电磁干扰而产生畸变,从而影响等离子体参数的计算和特性分析。为此,利用Savitzky-Golay(SG)滤波算法对伏安特性曲线进行分段滤波,给出平滑效果较好的特性参数。实验结果表明,SG算法对原始信号特征改变较少,求出的电子能量概率函数准确度较高。
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关键词
朗缪尔探针
等离子体
伏安特性曲线
SG滤波
电子能量概率函数
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Keywords
Langmuir probe
plasma
I-V characteristic curve
Savitzky-Golay（SG） filtering
Electron Energy Probability Function（EEPF）
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分类号
TN911.72
[电子电信—通信与信息系统]
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