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半球形偏转电子能量分析器的设计和应用 被引量:1
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作者 王永纲 徐克尊 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 1996年第6期430-433,共4页
本文较详细地介绍了静电半球偏转电子能量分析器的原理、设计和实际制作,并说明半球分析器作为单色器和分析器在中能电子能量损失谱仪(EELS)的成功使用。
关键词 电子光学透镜 电子能量分析器
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SEM中电磁式电子能量分析器的设计及可视化
2
作者 周庆 胡问国 +5 位作者 高伟 陈尔刚 周开邻 马琳 肖玲 朱世秋 《电子显微学报》 CAS CSCD 1996年第6期594-594,共1页
SEM中电磁式电子能量分析器的设计及可视化*周庆胡问国高伟陈尔刚周开邻马琳肖玲朱世秋(云南大学物理系,昆明650091)最近几年兴起的“计算可视化”是计算机图形学与大型科学计算相结合的结果,利用计算机进行电子光学系统... SEM中电磁式电子能量分析器的设计及可视化*周庆胡问国高伟陈尔刚周开邻马琳肖玲朱世秋(云南大学物理系,昆明650091)最近几年兴起的“计算可视化”是计算机图形学与大型科学计算相结合的结果,利用计算机进行电子光学系统的设计,不仅大大缩短了设计周期,且... 展开更多
关键词 电子能量分析器 电磁式 SEM 设计
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ECR等离子体中电子能量分析器实验曲线的修正
3
作者 温晓辉 詹如娟 张锐 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2002年第3期231-233,共3页
对电子回旋共振等离子体中使用的电子能量分析器实验曲线偏离理想情况的几种现象进行了讨论 。
关键词 ECR 等离子体 实验曲线 修正 电子能量分析器 曲线拟合 电子回旋共振 电子能量分布 测量
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计算机在静电式电子能量分析器设计中的应用
4
作者 高伟 周庆 +5 位作者 胡问国 陈尔纲 马琳 周开邻 肖玲 朱世秋 《电子显微学报》 CAS CSCD 1996年第6期593-593,共1页
计算机在静电式电子能量分析器设计中的应用**本项目得到国家自然科学基金和云南省应用基础研究基金的支持高伟周庆胡问国陈尔纲马琳周开邻肖玲朱世秋(云南大学物理系,昆明650091)随着材料科学和微电子器件研制的发展,对电... 计算机在静电式电子能量分析器设计中的应用**本项目得到国家自然科学基金和云南省应用基础研究基金的支持高伟周庆胡问国陈尔纲马琳周开邻肖玲朱世秋(云南大学物理系,昆明650091)随着材料科学和微电子器件研制的发展,对电子显微技术也提出了越来越高的要求。... 展开更多
关键词 电子能量分析器 静电式 计算机 设计
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能量和角度多道的环形电子能谱仪的性能研究 被引量:1
5
作者 周霞 徐春凯 +4 位作者 魏征 刘文杰 李继伟 陈向军 徐克尊 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期453-458,共6页
对以探测极角为90°、方位角收集范围为245°的环形电子能量分析器(TEEA)为基础的电子能谱仪的性能进行了研究,通过实验系统地研究了各电子光学单元的电位对谱仪能量分辨、能量线性以及线性能窗宽度的影响。同时对谱仪的能量分... 对以探测极角为90°、方位角收集范围为245°的环形电子能量分析器(TEEA)为基础的电子能谱仪的性能进行了研究,通过实验系统地研究了各电子光学单元的电位对谱仪能量分辨、能量线性以及线性能窗宽度的影响。同时对谱仪的能量分辨进行了深入的讨论,着重分析了仪器的角度非轴对称性对能量分辨的影响,并提出了对它的修正方法。这些对谱仪的进一步发展及将谱仪运用到固体表面能谱学和微区原子识别的研究中都有一定的意义。 展开更多
关键词 环形电子能量分析器 能量分辨 线性能窗 非轴对称性
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筒镜分析器最佳工作参数的实验测试 被引量:1
6
作者 王钤 耿德忠 陈广禄 《仪器仪表学报》 EI CAS 1985年第1期22-27,共6页
利用筒镜分析器(CMA)固有的S形象差曲线求得最佳工作参数来设计CMA,可以显著地减小角度象差而大大提高俄歇电子能谱仪(AES)的性能。本文叙述用这一新方法设计的CMA的结构尺寸和测试结果,并与原按二级聚焦法设计的CMA的性能进行了比较。
关键词 筒镜分析器 最佳工作参数 象差 电子能量分析器 能量分辨率 俄歇电子能谱仪 透过率 电子束直径 象点 电极位置
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表面芯能级联合谱仪
7
作者 华中一 诸葛健 +1 位作者 潘星龙 陈广禄 《仪器仪表学报》 EI CAS 1988年第3期284-291,共8页
本文叙述一种包含俄歇电子谱、俄歇电子出现电势谱、软x 射线出现电势谱和消隐电势谱等四种表面分析手段的联合谱仪。它们利用同一筒镜型电子能量分析器在带通、高通和无色散模式下运行,因此超高真空工作室的结构十分紧凑,并容易对同一... 本文叙述一种包含俄歇电子谱、俄歇电子出现电势谱、软x 射线出现电势谱和消隐电势谱等四种表面分析手段的联合谱仪。它们利用同一筒镜型电子能量分析器在带通、高通和无色散模式下运行,因此超高真空工作室的结构十分紧凑,并容易对同一表面用不同的谱加以研究。最后对本仪器的性能和每种谱的特点作了扼要的说明。 展开更多
关键词 电子能量分析器 俄歇电子 筒镜分析器 消隐 能量分辨率 带通 电子倍增器 锁定放大器 调制电压 子谱
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一种新的功函数测量法 被引量:1
8
作者 黄金林 张强基 《仪器仪表学报》 EI CAS 1986年第2期179-183,共5页
一、前言功函数是表面现象研究中一个重要的参数,目前已有多种测量方法〔1〕。但是要在超高真空条件下,对样品表面进行具有相当空间分辨率的功函数测量,仍是一项十分困难的工作。本文将介绍一种利用二次电子低能峰上升沿(以下简称上升沿... 一、前言功函数是表面现象研究中一个重要的参数,目前已有多种测量方法〔1〕。但是要在超高真空条件下,对样品表面进行具有相当空间分辨率的功函数测量,仍是一项十分困难的工作。本文将介绍一种利用二次电子低能峰上升沿(以下简称上升沿)和功函数有关的原理来测量功函数的方法。用现成的俄歇谱仪不作改动或略作改动即可进行测量。如果俄歇谱仪具有电子束扫描功能,则还能达到一定的空间分辨率〔2〕。对于扫描电镜,如果配备上电子能量分析器,也能同样实现功函数测量〔3〕。 展开更多
关键词 电子能量分析器 功函数 二次电子 表面现象 空间分辨率 测量方法 上升沿 扫描功能 电压扫描 表面势垒
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