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电子背散射衍射技术及其应用 被引量:17
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作者 张寿禄 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期703-704,共2页
关键词 电子背散射衍射技术 EBSD 扫描电子显微镜 显微组织 晶体学分析 SEM
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电子背散射衍射技术对疲劳铜单晶中的不同位错结构的取向变化的分析
2
作者 李勇 高薇 +1 位作者 苏会和 李守新 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期562-563,共2页
关键词 电子背散射衍射技术 铜单晶 循环形变 位错组态 梯状位错结构 迷宫位错结构 宏观形变带 位错墙结构
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电子背散射衍射技术在X80管线钢环焊缝塑性应变表征中的应用 被引量:2
3
作者 刘木强 孙超 +5 位作者 尤景泽 柳旺 王慧 王朝阳 于镇洋 宋明 《压力容器》 北大核心 2023年第9期7-15,22,共10页
X80油气管道服役过程中的轴向应力(或应变)是导致管道失效的重要因素。轴向应力作用下,弱匹配环焊接头引入的过量塑性变形将导致焊缝处强度破坏或脆化失效。为了探究服役后的X80高钢级管道及环焊缝的微小轴向塑性变形,研究尝试使用电子... X80油气管道服役过程中的轴向应力(或应变)是导致管道失效的重要因素。轴向应力作用下,弱匹配环焊接头引入的过量塑性变形将导致焊缝处强度破坏或脆化失效。为了探究服役后的X80高钢级管道及环焊缝的微小轴向塑性变形,研究尝试使用电子背散射衍射技术(EBSD)对管线钢进行残余塑性应变进行表征。结果表明:以X80管线钢单轴拉伸和四点弯曲样品为试验对象,筛选并验证了X80母材的核平均取向差(KAM)与微小应变呈线性正相关;利用EBSD分析沿壁厚方向的环焊缝细晶区KAM分布情况,发现靠近盖面焊和打底焊处的KAM与塑性应变有较好的对应关系;在对脆性失效环焊缝细晶区的分析中发现,沿壁厚方向的KAM显著高于同位置的未服役环焊缝,该结果证实了X80环焊缝在脆性断裂前曾经历了一定量的塑性变形,有研究表明这种塑性变形的累积对环焊缝的韧性将造成不利影响。 展开更多
关键词 X80管线钢 环焊缝 塑性变形 电子背散射衍射技术 核平均取向差
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基于电子背散射衍射技术的纤维状方解石脉体晶体分析 被引量:2
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作者 赵兰全 李志鹏 +6 位作者 邹开真 马晓楠 刘振阳 尹鹤 雷利庆 禹宝军 马存飞 《石油实验地质》 CAS CSCD 北大核心 2022年第2期357-364,共8页
方解石脉体广泛发育在富有机质页岩中,其岩石学特征和成因机制是研究的热点。电子背散射衍射技术能够原位表征矿物晶体的微观结构和晶体取向信息,而被广泛应用于材料科学领域,并在地质学领域得到了迅速发展。为了明确四川盆地龙马溪组... 方解石脉体广泛发育在富有机质页岩中,其岩石学特征和成因机制是研究的热点。电子背散射衍射技术能够原位表征矿物晶体的微观结构和晶体取向信息,而被广泛应用于材料科学领域,并在地质学领域得到了迅速发展。为了明确四川盆地龙马溪组富有机质页岩中纤维状方解石脉体的晶体特征,电子背散射衍射技术被用于表征方解石脉体的矿物学特征和结晶学特征。研究结果表明,方解石脉体的矿物组成为方解石和石英,其中方解石是主体,其晶粒的平均大小为372μm;而石英主要分布在方解石纹层界面处。方解石脉体中的方解石晶体属于三方晶系或菱方晶系,相应的晶胞类型为三方晶胞或菱方晶胞,其晶格常数为a_(0)=b_(0)=4.99A,c_(0)=17.061A,α=β=90°,γ=120°。方解石脉体在纵剖面上具有一定的择优取向,原因是方解石晶粒内部发育聚片双晶,其中相邻的双晶条纹具有不同的晶体取向,晶体取向差为75°;而相间的双晶条纹具有相同的晶体取向,且同一双晶条纹的晶体取向相同。方解石晶粒内部发育完全解理,常成组出现且与双晶条纹呈锐夹角斜交,两者均是在方解石结晶过程中受到构造压扭作用产生的,其中最大主应力方向与双晶条纹平行。 展开更多
关键词 电子背散射衍射技术 结晶学特征 矿物学特征 方解石脉体 页岩 四川盆地
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电子背散射衍射技术在方解石脉体特征研究中的应用 被引量:1
5
作者 何月明 董春梅 马存飞 《地质论评》 CAS CSCD 北大核心 2020年第S01期187-188,共2页
电子背散射衍射(EBSD)技术是显微结构、构造领域一项崭新的技术,它与扫描电子显微镜设备和分析系统相结合,可以对固体样品中微米或纳米级尺度的颗粒进行晶体结构分析。该技术在目前已经发展到成熟阶段,在材料学、金相领域中广泛应用。... 电子背散射衍射(EBSD)技术是显微结构、构造领域一项崭新的技术,它与扫描电子显微镜设备和分析系统相结合,可以对固体样品中微米或纳米级尺度的颗粒进行晶体结构分析。该技术在目前已经发展到成熟阶段,在材料学、金相领域中广泛应用。但是在对于透明矿物的分析,目前处于发展初期,有广阔的开发空间,岩石显微构造分析也因此步入了一个全新的时代。 展开更多
关键词 电子背散射衍射技术 晶体取向 纤维状方解石脉 生长机制
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低温回火马氏体取向关系的电子背散射衍射研究 被引量:6
6
作者 王申存 李志成 +2 位作者 易丹青 曹志强 张鸿 《中南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第9期2620-2627,共8页
为了研究马氏体的相变特征,利用电子背散射衍射(EBSD)技术并结合金相显微镜和显微硬度计分析低温回火的20MnCr5渗碳齿轮钢的性能和组织。根据马氏体相变理论中的K-S和N-W取向关系分别计算得到马氏体{110}α极射赤面投影图。利用EBSD技术... 为了研究马氏体的相变特征,利用电子背散射衍射(EBSD)技术并结合金相显微镜和显微硬度计分析低温回火的20MnCr5渗碳齿轮钢的性能和组织。根据马氏体相变理论中的K-S和N-W取向关系分别计算得到马氏体{110}α极射赤面投影图。利用EBSD技术对20MnCr5齿轮钢心部选定的区域进行扫描,分析区域中马氏体的取向分布特征。研究结果表明:马氏体取向整体呈随机分布,但在局部区域呈有规律分布。整个扫描区域的取向差主要分布在5°以下和45°以上。为反映马氏体局部区域取向分布的规律,选定一个原奥氏体晶粒,并做出区域中所有马氏体{110}α晶面的极射赤面投影图,得到极点有规律分布的极图。通过对{110}α极图分别使用K-S和N-W关系拟合,确定所选区域的马氏体的取向关系以N-W关系为主,实际极点离散分布在理论极点周围;使用协同形变机理解释实际取向分布与理论分布的偏差是由马氏体相变导致周围组织复杂的畸变引起。 展开更多
关键词 20MnCr5 电子背散射衍射技术 马氏体变体 取向关系
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单晶铜拉拔过程组织及织构演变 被引量:1
7
作者 刘劲松 周岩 +4 位作者 王松伟 宋鸿武 彭庶瑶 霍建平 彭晓飞 《精密成形工程》 北大核心 2024年第9期76-83,共8页
目的通过分析单晶铜线材在冷拉拔过程中不同位置微观结构的变化情况,得到变形过程中组织及织构的演变规律。方法采用冷型下引连铸装置制备得到ϕ8 mm高纯铜铸态杆坯,并在大拉机中进行多道次拉拔,获得了真应变分别为0.5、1.3、2、2.7和3.... 目的通过分析单晶铜线材在冷拉拔过程中不同位置微观结构的变化情况,得到变形过程中组织及织构的演变规律。方法采用冷型下引连铸装置制备得到ϕ8 mm高纯铜铸态杆坯,并在大拉机中进行多道次拉拔,获得了真应变分别为0.5、1.3、2、2.7和3.4的铜线样品;采用电子背散射衍射技术分别对铸态及拉拔态试样纵截面的显微组织以及织构进行观测。结果拉拔开始后,在试样纵截面上部的次表层率先观察到与轴向呈45°的滑移带,试样下部开始分裂出平行于拉拔方向的柱状晶。随着应变的增加,位于次表层的滑移线数目显著增多,滑移带间距更加紧密,随后在试样芯部也观察到与轴向呈30°的滑移带,试样边部晶粒的裂化程度更加显著,形成大量平行于轴向的纤维晶粒。当真应变增加至3.4时,少量倾斜于轴向的晶粒在外力作用下被拉至与轴向平行,最终形成致密的纤维组织。在整个拉拔过程中,铜线纵截面上下2个边部由初始的<001>织构先后演化出<114>、<112>、<433>、<111>织构,芯部演化出<112>、<111>织构。结论在拉拔过程中,不同位置的变形程度不同,组织及织构的演变也表现出较为明显的差异。总体表现为,线材边部比芯部变形程度更加剧烈,组织纤维化程度更高,织构演变也更加复杂。 展开更多
关键词 单晶铜 冷拉拔 微观组织 织构演变 电子背散射衍射技术
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激光冲击强化提高纯铜耐磨性能的研究 被引量:7
8
作者 李玉琴 王学德 +1 位作者 杨竹芳 宋飞龙 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期196-200,共5页
应用激光冲击强化对纯铜表面进行处理改善其耐磨性能。采用球磨实验分析了激光冲击强化前后的耐磨性能,利用X-射线衍射仪和电子背散射衍射技术对表层的相结构和晶粒形态分布进行了分析,并对耐磨性能提高机理进行了讨论。结果表明,纯铜... 应用激光冲击强化对纯铜表面进行处理改善其耐磨性能。采用球磨实验分析了激光冲击强化前后的耐磨性能,利用X-射线衍射仪和电子背散射衍射技术对表层的相结构和晶粒形态分布进行了分析,并对耐磨性能提高机理进行了讨论。结果表明,纯铜经激光冲击强化后其比磨损率降低了19.5%,同时由于表面粗糙度增大,使得初期摩擦系数增加,但随着摩擦周数的增加,激光冲击强化作用明显,摩擦系数下降。这是由于激光冲击强化在纯铜中引入大量细化晶粒、孪晶和亚结构,阻碍了位错的运动,增强了变形抗力,从而提高了材料的耐磨性能。 展开更多
关键词 激光冲击强化 纯铜 耐磨性能 电子背散射衍射技术
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冷变形对IF钢晶界特征分布及连通性的影响 被引量:2
9
作者 杨晶晶 范丽霞 +3 位作者 贾涓 姜丽丽 吴润 宋新莉 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期30-35,共6页
为了研究冷轧工艺对IF钢显微组织的影响.本文借助电子背散射衍射技术,研究了20%到75%冷轧压下率的IF钢退火后的微观结构、晶界特征分布和晶界连通性.结果表明:随着冷轧压下率的增加,冷轧态晶粒逐渐由等轴状变为纤维状,退火态晶粒逐渐细... 为了研究冷轧工艺对IF钢显微组织的影响.本文借助电子背散射衍射技术,研究了20%到75%冷轧压下率的IF钢退火后的微观结构、晶界特征分布和晶界连通性.结果表明:随着冷轧压下率的增加,冷轧态晶粒逐渐由等轴状变为纤维状,退火态晶粒逐渐细化并变得均匀,小角晶界的出现频率呈下降趋势;随机晶界的出现频率呈明显上升趋势,且随机晶界占绝对优势;而CSL晶界在冷轧压下率40%以下时,变化较小,40%以上时,含量明显增加.大变形量轧制后的IF钢CSL晶界主要由Σ3晶界组成,而小变形量轧制后主要是Σ3和Σ13b晶界.对于75%压下率,还含有较多的Σ7,Σ9和Σ11等CSL晶界.通过增加冷轧压下率,0-CSL三叉晶界的含量减少,1-CSL三叉晶界的含量增加.因此,通过改变冷轧工艺,可以优化IF钢板的晶界特征分布及连通性. 展开更多
关键词 冷轧压下率 高强IF钢 晶界特征分布 电子背散射衍射技术
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Al_(66)Fe_9Ti_(25)合金室温解理面的EBSD分析 被引量:3
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作者 文九巴 陈世朴 戎咏华 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第4期419-419,共1页
关键词 Al66Fe9Ti25合金 穿晶解理断口 显微结构分析 电子背散射衍射技术 晶体结构
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超高压榴辉岩中绿辉石组构和变形机制研究进展 被引量:2
11
作者 王璐 金振民 章军锋 《地质科技情报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期19-24,共6页
榴辉岩中绿辉石晶格优选方位(LPO)类型主要有S型(压扁型)组构、L型(收缩型)组构、L-S中间型组构、退火型组构,其中L型和S型组构是绿辉石在超高压岩石中最发育的组构类型。矿物组构的产生与变形机制密切相关,目前还无法解释绿辉石LPO产... 榴辉岩中绿辉石晶格优选方位(LPO)类型主要有S型(压扁型)组构、L型(收缩型)组构、L-S中间型组构、退火型组构,其中L型和S型组构是绿辉石在超高压岩石中最发育的组构类型。矿物组构的产生与变形机制密切相关,目前还无法解释绿辉石LPO产生和变化的原因。对天然绿辉石变形机制的最新研究进行了评述,包括位错蠕变产生变形绿辉石LPO的传统观点,以及扩散蠕变伴随晶体各向异性生长和空间群转换两种新观点。使用费氏台对大别山双河地区榴辉岩中的绿辉石组构进行了测量,并用电子背散射衍射技术(EBSD)对测量结果进行了验证。结合榴辉岩的显微构造和绿辉石组构特征对大别山双河超高压榴辉岩中绿辉石的变形机制进行了初步探讨,认为其变形机制以位错蠕变为主。 展开更多
关键词 绿辉石 品格优选方位 变形机制 电子背散射衍射技术 超高压
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亚共晶Al-Si合金初生相的EBSD表征 被引量:1
12
作者 邓超 刘如学 +1 位作者 洪睿 郑江 《电子显微学报》 CAS CSCD 2017年第1期14-17,共4页
利用电子背散射衍射(EBSD)技术对亚共晶Al-Si合金进行了表征。根据晶界成像图与花样质量成像图提取了初生α-Al相的取向数据,通过合理设置晶界临界值与带衬度值均可获得可靠的结构参数统计结果,提取出的初生α-Al相信息可以方便地分析... 利用电子背散射衍射(EBSD)技术对亚共晶Al-Si合金进行了表征。根据晶界成像图与花样质量成像图提取了初生α-Al相的取向数据,通过合理设置晶界临界值与带衬度值均可获得可靠的结构参数统计结果,提取出的初生α-Al相信息可以方便地分析其含量、形态、尺寸、分布以及取向等信息。 展开更多
关键词 AL-SI合金 电子背散射衍射技术(EBSD) 初生相
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可降解Zn合金在室温单轴压缩下的微观组织演变 被引量:2
13
作者 毛成明 杨宏韬 +2 位作者 陈厚文 郑玉峰 聂建峰 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第5期490-495,共6页
利用电子背散射衍射技术研究了纯Zn 及Zn-0. 1wt.%Li 合金挤压棒材在室温压缩下的微观组织演变。纯Zn 在变形初期以孪生为主,孪生类型为{1012} 孪生。随着变形量的增加,孪晶数目增多并出现再结晶晶粒,后续的变形主要以动态再结晶机制为... 利用电子背散射衍射技术研究了纯Zn 及Zn-0. 1wt.%Li 合金挤压棒材在室温压缩下的微观组织演变。纯Zn 在变形初期以孪生为主,孪生类型为{1012} 孪生。随着变形量的增加,孪晶数目增多并出现再结晶晶粒,后续的变形主要以动态再结晶机制为主。Zn-0. 1wt.%Li 合金在变形初期没有产生孪晶,而是在共析转变形成的Zn+LiZn4晶粒周围产生应力集中,并在原始Zn 晶粒内出现取向差。随着变形程度的增大,应力集中程度增加,在原始Zn 晶粒内会出现少量{1012} 孪晶。 展开更多
关键词 Zn-Li 合金 压缩变形 组织演变 电子背散射衍射技术
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高纯钽板异步轧制及后续退火过程中微观组织及织构演变研究 被引量:5
14
作者 林男 刘施峰 +3 位作者 柳亚辉 范海洋 祝佳林 邓超 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第4期332-338,共7页
采用1.2的轧速比对高纯钽板材进行异步轧制,获得了变形量分别为60%、70%和80%的异步轧制钽样品。采用电子背散射衍射(EBSD)对样品进行显微组织分析,研究了异步轧制过程中高纯钽板沿整个板厚方向的微观组织及织构演变规律。结果表明:变... 采用1.2的轧速比对高纯钽板材进行异步轧制,获得了变形量分别为60%、70%和80%的异步轧制钽样品。采用电子背散射衍射(EBSD)对样品进行显微组织分析,研究了异步轧制过程中高纯钽板沿整个板厚方向的微观组织及织构演变规律。结果表明:变形量为60%时,钽板近表面区域的晶粒主要为{100}(〈100〉//ND,ND为板法向)和{110}(〈110〉//ND)取向,而中心区域的晶粒主要为{111}(〈111〉//ND)取向。随着变形量的增大,轧制变形组织逐渐变得均匀,同时沿板厚方向的织构分布也愈发均匀。当变形量为80%时,形成了γ织构(〈111〉//ND)与θ织构(〈100〉//ND)交替、均匀分布的现象。这种特殊的织构变化与异步轧制过程中沿厚度方向引入的剪切变形有关。对上述不同变形量的异步轧制高纯钽板的退火微观组织的对比研究发现,80%变形量样品表现出更为细小均匀的再结晶组织。80%变形量的样品经1 200℃退火30 min后,获得了平均晶粒尺寸为53.4μm的再结晶组织,同时{111}取向的晶粒与{100}取向的晶粒均匀分布。 展开更多
关键词 高纯钽 异步轧制 退火 显微组织和织构 电子背散射衍射技术
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单向轧制与交叉轧制高纯铜锰合金再结晶微观组织及织构演变 被引量:2
15
作者 林男 刘施峰 +1 位作者 范海洋 邓超 《电子显微学报》 CAS CSCD 2017年第6期564-570,共7页
本文将溅射靶材所用的铜锰合金在室温下以两种不同的轧制路径冷轧到相同变形量(95%),随后,轧制态样品在真空管中分别于350℃,400℃,450℃下退火1 h。采用EBSD技术研究了不同退火制度下的组织及织构演变。结果表明经过95%单轧的试样在40... 本文将溅射靶材所用的铜锰合金在室温下以两种不同的轧制路径冷轧到相同变形量(95%),随后,轧制态样品在真空管中分别于350℃,400℃,450℃下退火1 h。采用EBSD技术研究了不同退火制度下的组织及织构演变。结果表明经过95%单轧的试样在400℃等温1 h后完成再结晶,而同等退火条件下的交轧试样则残留大量的变形组织,稍高温度450℃保温1 h后完成再结晶。与单轧试样相比,交叉冷轧时完全再结晶需要稍高温度或较长保温时间,完成再结晶后旋转立方织构含量居多。 展开更多
关键词 铜锰合金 轧制方式 再结晶织构演变 电子背散射衍射技术(EBSD)
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亚共晶Al-Si合金共晶硅变质的研究方法进展 被引量:7
16
作者 孙刚 吴桢 +2 位作者 陆政 高文理 毛郭灵 《热加工工艺》 北大核心 2021年第11期1-4,共4页
通过梳理相关变质共晶硅的文献,对研究共晶硅变质机理的方法进行了总结。通过分析凝固曲线得到共晶硅的形核温度、长大温度、形核长大时间等。通过分析共晶硅形核长大时间,可以佐证变质剂元素对共晶硅形核核心的影响。利用EBSD分析共晶... 通过梳理相关变质共晶硅的文献,对研究共晶硅变质机理的方法进行了总结。通过分析凝固曲线得到共晶硅的形核温度、长大温度、形核长大时间等。通过分析共晶硅形核长大时间,可以佐证变质剂元素对共晶硅形核核心的影响。利用EBSD分析共晶硅的形核核心,共晶硅所在区域的色块多,表示共晶硅的形核核心多,Al-Si合金的EBSD样品制取需要用离子减薄法。利用TEM与XRD相结合的方法评价共晶硅孪晶的数量,得到的数据更具有可信度,制取TEM样品需要用离子铣削法。 展开更多
关键词 共晶硅变质 凝固曲线 电子背散射衍射技术 透射电子显微镜 X射线衍射
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终冷温度对X100管线钢组织与性能的影响 被引量:12
17
作者 王路兵 武会宾 +2 位作者 任毅 张鹏程 唐荻 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2007年第14期21-23,26,共4页
通过光镜、透射电镜、背散射电子衍射技术(EBSD)、拉伸与(-20℃)冲击试验,研究了不同终冷温度对X100管线钢组织、性能的影响规律。结果表明,随终冷温度降低,针状铁素体(AF)、粒状贝氏体(GB)组织逐渐减少,板条贝氏体含量逐渐增加,钢板强... 通过光镜、透射电镜、背散射电子衍射技术(EBSD)、拉伸与(-20℃)冲击试验,研究了不同终冷温度对X100管线钢组织、性能的影响规律。结果表明,随终冷温度降低,针状铁素体(AF)、粒状贝氏体(GB)组织逐渐减少,板条贝氏体含量逐渐增加,钢板强度增高,塑韧性降低,当终冷温度在380℃左右时,少量AF、GB组织分割原奥氏体晶粒,板条贝氏体束的有效晶粒尺寸得到细化,钢板具有最优的综合力学性能,屈服强度为775 MPa,抗拉强度为855 MPa,伸长率为16.6%,-20℃冲击功为218 J,各项性能指标均满足X100管线钢的要求。 展开更多
关键词 X100管线钢 显微结构 背散射电子衍射技术(EBSD)
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Investigation of recystallization behavior of IF-steel using EBSD technique 被引量:1
18
作者 LI Bo long, ZHANG Ning, LIU Qing (Department of Material Science and Engineering, Tsinghua university, Beijing 100084) 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期727-728,共2页
The orientation nucleation behavior of γ fiber of IF steel was studied using high resolution electron back scattering diffraction (EBSD) technique during annealing. The γ fiber nucleation occurs in the deformation b... The orientation nucleation behavior of γ fiber of IF steel was studied using high resolution electron back scattering diffraction (EBSD) technique during annealing. The γ fiber nucleation occurs in the deformation bands of γ fiber and other orientation deformation bands produce scattering orientation grains. 展开更多
关键词 EBSD 电子背散射衍射技术 IF钢 再结晶 显微分析
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高纯钽交叉轧制过程中微观结构和织构梯度的演变 被引量:7
19
作者 毛宇成 刘施峰 +1 位作者 范海洋 刘庆 《电子显微学报》 CAS CSCD 2017年第1期7-13,共7页
高纯钽板在交叉轧制过程中,通过控制轧制的道次,得到了70%,82%和87%变形量的样品。应用X-射线衍射(XRD)技术测量了轧制样品1/8厚度层,1/4厚度层和中间层的宏观织构,并对样品沿厚度方向上的变形组织与微织构进行电子背散射衍射(EBSD)表... 高纯钽板在交叉轧制过程中,通过控制轧制的道次,得到了70%,82%和87%变形量的样品。应用X-射线衍射(XRD)技术测量了轧制样品1/8厚度层,1/4厚度层和中间层的宏观织构,并对样品沿厚度方向上的变形组织与微织构进行电子背散射衍射(EBSD)表征。结果表明,随着交叉轧制变形量的增加,{111}〈uvw〉和{100}〈uvw〉取向晶粒的取向分裂程度增加,并且{111}取向的晶粒分裂程度高于{100}取向的晶粒。变形量为70%时,高纯钽板沿厚度方向存在强烈的微观组织和织构梯度,中间层具有强烈的{111}〈uvw〉取向晶粒,而1/8厚度层主要为{100}〈uvw〉取向。随着变形量增加,高纯钽板沿厚度方向的微观组织和织构均匀性得到改善。当变形量达到87%时,表面和中心的{100}〈uvw〉和{111}〈uvw〉取向晶粒都为长条状且交互分布在一起,使得钽板沿厚度方向织构梯度得到减弱,同时获得均一的晶粒尺寸。 展开更多
关键词 交叉轧制 X-射线衍射(XRD)技术 电子背散射衍射(EBSD)技术 织构梯度 取向分裂
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高纯钽板中晶粒生长的取向相关性研究 被引量:3
20
作者 柳亚辉 刘施峰 +1 位作者 范海洋 刘庆 《电子显微学报》 CAS CSCD 2016年第1期17-21,共5页
钽溅射靶材主要用于集成电路中导线的扩散阻挡层,其溅射性能受微观组织影响较大。本文采用电子背散射衍射(EBSD)技术,结合Extend Cahn-Hagel模型对周向轧制钽板的再结晶行为进行分析。并侧重于钽板再结晶初、中期与取向相关的晶粒生长... 钽溅射靶材主要用于集成电路中导线的扩散阻挡层,其溅射性能受微观组织影响较大。本文采用电子背散射衍射(EBSD)技术,结合Extend Cahn-Hagel模型对周向轧制钽板的再结晶行为进行分析。并侧重于钽板再结晶初、中期与取向相关的晶粒生长速率的研究。结果表明,{111}〈uvw〉(〈111〉//ND)晶粒具有生长优势,初始阶段生长速率约为同期{001}〈uvw〉(〈100〉//ND)晶粒的1.6倍。 展开更多
关键词 形核机制 电子背散射衍射(EBSD)技术 EXTEND Cahn-Hagel模型 生长速率
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