岩石电子背散射衍射(EBSD)组构分析及应用 被引量：74

1

作者 刘俊来 曹淑云 +1 位作者 邹运鑫 宋志杰 《地质通报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第10期1638-1645,共8页

电子背散射衍射(EBSD)技术是现代构造地质学与显微构造分析领域一项崭新的技术,它与现代高分辨率扫描电子显微镜和能谱分析设备结合,可以对块状样品中微米或纳米级尺度的颗粒进行晶体结构分析,从而使微观结构、微区成分与结晶学优选数... 电子背散射衍射(EBSD)技术是现代构造地质学与显微构造分析领域一项崭新的技术,它与现代高分辨率扫描电子显微镜和能谱分析设备结合,可以对块状样品中微米或纳米级尺度的颗粒进行晶体结构分析,从而使微观结构、微区成分与结晶学优选数据结合起来,能够更精细地对比研究矿物和岩石显微构造,为岩石显微构造分析开辟了一个全新的领域。分析了EBSD技术的基本原理、系统构成、样品制备和工作程序。介绍了石英组构测量,极细粒物质(微角砾岩)的组构特点,二轴晶矿物(角闪石)的组构、变形机制和金属硫化物组构分析的应用实例,对于应用EBSD系统开展研究存在的一些问题进行了讨论。 展开更多

关键词 电子背散射衍射(ebsd) 显微构造 组构 造岩矿物 硫化物

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电子背散射衍射(EBSD)技术在地壳构造变形研究中的应用 被引量：14

2

作者 黄学猛 张进江 许志琴 《地质学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期1130-1145,共16页

电子背散射衍射(EBSD)技术是岩组学研究的一项革命性新技术。该技术可以对传统的岩石薄片进行分析,实用性高,观测精度达到亚微米级别。配合扫描电子显微镜、阴极发光、波谱、能谱分析设备,EBSD技术可以对透明和非透明的任何对称性晶体... 电子背散射衍射(EBSD)技术是岩组学研究的一项革命性新技术。该技术可以对传统的岩石薄片进行分析,实用性高,观测精度达到亚微米级别。配合扫描电子显微镜、阴极发光、波谱、能谱分析设备,EBSD技术可以对透明和非透明的任何对称性晶体进行取向测量,快速获取晶体显微结构、微区成分与晶体学参数,可以对晶体开展形貌观察、晶体优选方向(CPO)、取向差分析、物相鉴定、应变测量、晶界分析、变形机制、位错滑移系、晶内变形、温压条件研究。结合聚焦离子束(FIB)技术,可以获取矿物的三维结构图像。对地壳的主要矿物进行组构分析,结合野外矿物变形特征与试验岩石学研究成果,可以开展地壳构造运动学、动力学的研究。本文介绍岩组学的研究历史,以及EBSD技术在地壳常见矿物石英、钾长石、斜长石、角闪石以及假熔岩构造变形研究中的最新进展与典型实例,并对EBSD研究结果中一些潜在的不确定性因素进行了讨论。 展开更多

关键词 电子背散射衍射(ebsd) 岩组学 构造运动学 动力学 变形机制

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材料变形过程中的原位电子背散射衍射(in-situ EBSD)分析 被引量：10

3

作者 靳丽 Mishara R K Kubic R 《电子显微学报》 CAS CSCD 2008年第6期439-442,共4页

本文介绍一套既具备电子背散射衍射(EBSD),又具备应力加载功能的分析测试方法,简称原位EBSD。采用该系统能实现对拉伸、压缩、弯曲及剪切变形过程中材料的微观组织演变进行原位跟踪观察;可以分析材料在变形过程中的组织演变过程,获得组... 本文介绍一套既具备电子背散射衍射(EBSD),又具备应力加载功能的分析测试方法,简称原位EBSD。采用该系统能实现对拉伸、压缩、弯曲及剪切变形过程中材料的微观组织演变进行原位跟踪观察;可以分析材料在变形过程中的组织演变过程,获得组织演变的连续性信息,从而对研究材料变形过程中的机理及物理本质提供有力的实验依据。本文还以原位压缩过程中纯镁的微观组织演变的测试与分析为例,说明原位EBSD系统使用方法。 展开更多

关键词 原位电子背散射衍射(in-situ ebsd) 微观组织演变 塑性变形 纯镁

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GaAs-GaN键合界面热应力的电子背散射衍射研究 被引量：4

4

作者 田彦宝 吉元 +5 位作者 赵跃 吴迪 郭霞 沈光地 索红莉 周美玲 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期1091-1096,1116,共7页

采用扫描电镜(SEM)和电子背散射衍射(EBSD)技术,观察和分析了GaAs和GaN晶片热压键合的界面热应力和晶片键合质量。利用EBSD测量了GaAs-GaN键合界面的菊池花样质量、晶格转动、晶格错配和位错密度等应力敏感参数。结果表明,晶片键合质量... 采用扫描电镜(SEM)和电子背散射衍射(EBSD)技术,观察和分析了GaAs和GaN晶片热压键合的界面热应力和晶片键合质量。利用EBSD测量了GaAs-GaN键合界面的菊池花样质量、晶格转动、晶格错配和位错密度等应力敏感参数。结果表明,晶片键合质量良好,键合界面中心区域的热应力小于边缘区域的热应力。GaN层和GaAs层中的应力影响范围,在中心区域分别约为100 nm和300 nm,在边缘区域分别约为100 nm和500 nm。EBSD显示的应力分布图与模拟应力场相似。模拟和计算表明,最大剥离应力和剪切应力分布在键合界面的边缘。剥离应力是导致晶片解键合的主要原因。 展开更多

关键词 GaAs-GaN 热应力 晶片键合 电子背散射衍射(ebsd)

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2011年全国背散射电子衍射(EBSD)技术学术交流研讨会征文通知

5

《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第1期91-92,共2页

继2008年、2009年连续两届EBSD会议之后,2011年全国应用背散射电子衍射（EBSD）技术学术交流研讨会将于2011年7月上旬在北京召开。会议由中国电子显微镜学会EBSD专业委员会及北京工业大学固体微结构与性能研究所联合举办。

关键词 背散射电子衍射 学术交流 征文通知 技术 北京工业大学 ebsd 专业委员会 电子显微镜

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2008年全国背散射电子衍射(EBSD)技术学术交流研讨会征文通知

6

《电子显微学报》 CAS CSCD 2008年第5期424-424,共1页

关键词 学术交流 科学交流 背散射电子衍射 研讨会 中国电子显微镜学会 ebsd

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2011年全国背散射电子衍射(EBSD)技术学术交流研讨会征文通知

7

《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第6期581-582,共2页

继2008年、2009年连续两届EBSD会议之后,2011年全国应用背散射电子衍射（EBSD）技术学术交流研讨会将于2011年7月上旬在北京召开。会议由中国电子显微镜学会EBSD专业委员会及北京工业大学固体微结构与性能研究所联合举办。

关键词 背散射电子衍射 学术交流 征文通知 技术 北京工业大学 ebsd 专业委员会 电子显微镜

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半导体结构中局域弹性应变场的电子背散射衍射分析 被引量：3

8

作者 罗俊锋 王俊忠 +5 位作者 牛南辉 赵林林 张隐奇 郭霞 沈光地 吉元 《电子显微学报》 CAS CSCD 2006年第2期104-107,共4页

采用扫描电镜中的电子背散射衍射（Electron Backscattering Diffraction,EBSD）技术,对硼掺杂的可动悬空硅薄膜和用于激光二极管（LED）的蓝宝石衬底上异质外延生长GaN层中的弹性应变区进行了测量.将菊池图的图像质量（IQ）和Hough转... 采用扫描电镜中的电子背散射衍射（Electron Backscattering Diffraction,EBSD）技术,对硼掺杂的可动悬空硅薄膜和用于激光二极管（LED）的蓝宝石衬底上异质外延生长GaN层中的弹性应变区进行了测量.将菊池图的图像质量（IQ）和Hough转变强度,以及小角度晶界错配的统计数据作为应力敏感参数,研究了单晶材料系统中,微米～亚微米尺度的晶格畸变状态及局域弹性应变场.EBSD测试获得了硅薄膜窗口区域及LED的GaN外延层中的弹性应变分布. 展开更多

关键词 电子背散射衍射(ebsd) 弹性应变分布 硅薄膜 GAN外延层

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GaAs-AlGaAs外延结构中微区应力的电子背散射衍射分析 被引量：2

9

作者 田彦宝 吉元 +4 位作者 王俊忠 张隐奇 关宝璐 郭霞 沈光地 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期515-518,522,共5页

采用电子背散射衍射（EBSD）技术，以30～40nm的空间分辨率，显示GaAs—AlGaAs外延结构中的应力分布。将菊池花样质量JQ和Hough峰，以及晶格错配和局部转动等测量参数作为应力敏感参数，分析GaAs—AlGaAs周期外延层中的应变状态。通过... 采用电子背散射衍射（EBSD）技术，以30～40nm的空间分辨率，显示GaAs—AlGaAs外延结构中的应力分布。将菊池花样质量JQ和Hough峰，以及晶格错配和局部转动等测量参数作为应力敏感参数，分析GaAs—AlGaAs周期外延层中的应变状态。通过对菊池花样进行快速傅立叶变换和强度计算识别微区应变区域。 展开更多

关键词 电子背散射衍射(ebsd) 微区应力 GaAs—AlGaAs

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2009年全国背散射电子衍射(EBSD)技术学术交流研讨会及征文通知(第一轮)

10

《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期404-404,共1页

关键词 背散射电子衍射 ebsd技术 学术交流 征文通知 专业委员会 科技工作者 学术委员会 学术论文

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2009年全国背散射电子衍射(EBSD)技术学术交流研讨会及征文通知(第一轮)

11

《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期192-192,共1页

关键词 背散射电子衍射 ebsd技术 学术交流 征文通知 专业委员会 科技工作者 学术委员会 学术论文

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电子背散射衍射分析及在药型罩研究中的应用 被引量：2

12

作者 胡士廉 田文怀 孙起 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 1999年第5期35-38,共4页

简单介绍了电子背散射衍射原理、实验条件及应用，提出利用电子背散射衍射技术分析药型罩，通过初步研究指出，电子背散衍射将为药型罩的破甲抗旋机理的解释提供新的实验方法和手段。

关键词 药型罩 电子背散射 衍射分析 织构 ebsd

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电子背散射衍射技术及其应用 被引量：17

13

作者 张寿禄 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期703-704,共2页

关键词 电子背散射衍射技术 ebsd 扫描电子显微镜 显微组织 晶体学分析 SEM

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纳米异质外延层与衬底的晶体取向匹配的电子背散射衍射分析

14

作者 吉元 王丽 +4 位作者 张隐奇 卫斌 索红莉 王建宏 程艳玲 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期322-327,共6页

本文采用电子背散射衍射(EBSD),测量纳米异质外延层的织构,及外延层与衬底的晶体取向匹配。测试的材料包括作为YBCO超导膜的过渡层、生长在强立方织构Ni-5at.%W(Ni-W)衬底上的La2Zr2O7(LZO)外延层,及LED器件中生长在蓝宝石衬底上的GaN... 本文采用电子背散射衍射(EBSD),测量纳米异质外延层的织构,及外延层与衬底的晶体取向匹配。测试的材料包括作为YBCO超导膜的过渡层、生长在强立方织构Ni-5at.%W(Ni-W)衬底上的La2Zr2O7(LZO)外延层,及LED器件中生长在蓝宝石衬底上的GaN过渡层和外延层。EBSD测量出LZO外延层具有旋转立方织构,显示出LZO与Ni-W衬底的面内取向(转动45°)及面外取向(沿[001]方向)的匹配关系。EBSD测量出GaN过渡层与蓝宝石衬底的面内取向(转动30°)的匹配关系,显示出由GaN过渡层的晶格畸变而引入的平行于外延生长方向的弹性应变梯度(约500 nm)。 展开更多

关键词 电子背散射衍射(ebsd) 晶体取向错配 外延层 LA2ZR2O7 GAN

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铝合金塑性变形的原位背散射电子衍射研究 被引量：3

15

作者 王峰 陈鹏 +3 位作者 毛圣成 张跃飞 张泽 韩晓东 《电子显微学报》 CAS CSCD 2012年第5期391-397,共7页

利用扫描电镜中的拉伸台和原位背散射电子衍射(EBSD)研究了Al-Zn-Mg合金在单轴拉伸过程中塑性变形的显微结构演化规律。结果表明,晶粒的取向在塑性变形过程中会发生明显的转动行为。晶粒具有相同或相近的取向,其转动会沿近似的趋势进行... 利用扫描电镜中的拉伸台和原位背散射电子衍射(EBSD)研究了Al-Zn-Mg合金在单轴拉伸过程中塑性变形的显微结构演化规律。结果表明,晶粒的取向在塑性变形过程中会发生明显的转动行为。晶粒具有相同或相近的取向,其转动会沿近似的趋势进行。〈101〉取向附近的晶粒其取向转动按照Sachs模型进行,向〈001〉-〈111〉连线方向转动;〈001〉-〈111〉连线附近的晶粒其取向转动按照Taylor模型向〈111〉方向转动,或按照Sachs模型向〈001〉-〈111〉方向转动。取向转动可以导致Schmid因子的增大或减小。实验结果说明,晶粒取向的转动行为受邻近晶粒的取向、变形行为影响。 展开更多

关键词 AL-ZN-MG合金 背散射电子衍射(ebsd) 晶体取向转动 塑性变形

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电子探针与微区X射线衍射联合应用研究——以羟硅铍石的鉴定为例

16

作者 葛祥坤 范光 +1 位作者 夏晨光 艾永亮 《矿床地质》 CAS CSCD 北大核心 2010年第S1期823-824,共2页

本文通过电子探针分析仪和微区X射线衍射仪的联合应用,建立了在电子探针分析仪上通过背散射电子像亮度,Si、O能谱峰强度比鉴别疑似羟硅铍石的标志,快速确定衍射分析位置,进而利用微区X射线衍射仪在光片上进行原位无损分析,最终确定该矿... 本文通过电子探针分析仪和微区X射线衍射仪的联合应用,建立了在电子探针分析仪上通过背散射电子像亮度,Si、O能谱峰强度比鉴别疑似羟硅铍石的标志,快速确定衍射分析位置,进而利用微区X射线衍射仪在光片上进行原位无损分析,最终确定该矿床矿石中工业铍矿物以独立矿物羟硅铍石存在。1矿石工业铍矿物的电子探针研究从已破碎的混合矿石中随机选取样品用环氧树脂粘结后磨制成光块数片。 展开更多

关键词 电子探针 羟硅铍石 铍矿物 射线衍射分析 背散射电子像 分析仪 微区 联合应用 衍射仪 无损分析

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N18锆合金再加工组织的EBSD分析 被引量：8

17

作者 刘鸿 戴训 +1 位作者 王莹 赵文金 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期437-441,共5页

采用电子背散射衍射(EBSD)技术,对N18锆合金在780℃下沿原板材横向热轧、冷轧及再结晶退火过程中的晶粒组织、晶界特征及织构进行了测试和分析。结果表明:N18锆合金板材在热轧、冷轧后为长条状形变晶粒和一些细小动态再结晶晶粒,并出现... 采用电子背散射衍射(EBSD)技术,对N18锆合金在780℃下沿原板材横向热轧、冷轧及再结晶退火过程中的晶粒组织、晶界特征及织构进行了测试和分析。结果表明:N18锆合金板材在热轧、冷轧后为长条状形变晶粒和一些细小动态再结晶晶粒,并出现大量的小角度晶界,交叉轧制织构基本上保持了原板材的织构特点,只是基面织构有所增强。580℃,3 h退火后出现大量再结晶晶粒,并且大角度晶界增加,其基面织构有所下降,但依然占据主导地位。 展开更多

关键词 N18锆合金 再加工 显微组织 电子背散射衍射(ebsd)

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金属基复合材料EBSD样品制备方法研究 被引量：7

18

作者 郜鲜辉 林守钢 +2 位作者 赵建全 吴金金 李明辉 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第1期54-59,共6页

为讨论金属基复合材料电子背散射衍射(EBSD)样品的制备方法,本文选用ZrO_2/Ti-6Al-4V陶瓷增强金属基复合材料,比较了经过电解抛光、化学浸蚀、振动抛光后样品的显微形貌,并详细讨论了不同时长振动抛光后的显微形貌、衍射花样衬度、取向... 为讨论金属基复合材料电子背散射衍射(EBSD)样品的制备方法,本文选用ZrO_2/Ti-6Al-4V陶瓷增强金属基复合材料,比较了经过电解抛光、化学浸蚀、振动抛光后样品的显微形貌,并详细讨论了不同时长振动抛光后的显微形貌、衍射花样衬度、取向分布图和花样标定率等。结果表明:振动抛光方法比电解抛光、化学浸蚀更适合金属基复合材料EBSD样品的制备;随着振动时长的增加,花样质量逐渐提高,当振动时长为8h时,EBSD测试标定率可达到97.7%。 展开更多

关键词 金属基复合材料 电子背散射衍射(ebsd) 振动抛光 样品制备

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一种双相组织的高强度低屈强比钢的EBSD研究 被引量：4

19

作者 刘俊亮 薛菲 季思凯 《电子显微学报》 CAS CSCD 2006年第B08期360-361,共2页

关键词 双相组织 ebsd 钢种 屈强比 高强度 结合材料 电子背散射 衍射分析

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无取向硅钢晶粒与晶界特征的EBSD分析 被引量：2

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作者 贾涓 朱微微 +2 位作者 代礼斌 宋新莉 袁泽喜 《武汉科技大学学报》 CAS 2009年第5期491-495,共5页

借助电子背散射衍射(EBSD)技术测量和计算了无取向硅钢再结晶退火后再结晶百分比、晶粒尺寸、取向差分布等参数,分析了再结晶退火温度对无取向硅钢晶粒大小、微观取向和耐蚀性的影响。结果表明,3个温度(810、840、880℃)下退火3 min后,... 借助电子背散射衍射(EBSD)技术测量和计算了无取向硅钢再结晶退火后再结晶百分比、晶粒尺寸、取向差分布等参数,分析了再结晶退火温度对无取向硅钢晶粒大小、微观取向和耐蚀性的影响。结果表明,3个温度(810、840、880℃)下退火3 min后,再结晶均充分完成。随着退火温度的升高,再结晶晶粒尺寸长大。拥有{100}面织构的晶粒比其他取向晶粒具有更好的耐蚀性,侵蚀后晶粒凸出于试样表面。880℃退火后的小尺寸晶粒周围多为小角度晶界,不易迁移,不易被侵蚀。 展开更多

关键词 无取向硅钢 电子背散射衍射(ebsd) 再结晶退火 取向差

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