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电子级多晶硅的生产工艺被引量：166: 1; 作者梁骏吾《中国工程科学》 2000年第12期34-39,共6页; 就建设 10 0 0t电子级多晶硅厂的技术进行了探讨。对三氯氢硅法、四氯化硅法、二氯二氢硅法和硅烷法生产的多晶硅质量、安全性、运输和存贮的可行性、有用沉积比、沉积速率、一次转换率、生长温度、电耗和价格进行了对比 ;对还原或热分... 展开更多; 关键词电子级多晶硅三氯氢硅法半导体材料硅烷法生产工艺钟罩式反应器; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于PolySim电子级多晶硅还原炉三维数值模拟被引量：6: 2; 作者李有斌张胜涛 +4 位作者何银凤梁世民韩金豆付昊赵丽丽《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2019年第1期144-148,共5页; 利用Poly Sim软件建立了国内电子级多晶硅9对棒现役还原炉的三维模型,对还原炉内部的流动、传热进行了数值模拟,得到还原炉内部流场、温场以及硅棒表面温度的分布情况,指出硅棒桥接附近气体流速较小、气体温度及硅棒表面温度过高是该区... 展开更多; 关键词电子级多晶硅化学气相沉积数值模拟气体循环; 在线阅读下载PDF 职称材料

电子级多晶硅制备过程中质量影响因素分析被引量：6: 3; 作者陈辉张征 +5 位作者万烨孙强张晓伟张邦洁王浩裴蕾《中国有色冶金》 CAS 2019年第6期49-51,70,共4页; 电子级多晶硅是微电子行业、信息产业和新能源产业的基础性材料,目前,全球电子级高纯多晶硅总产能约31000 t,我国高品质多晶硅仍然需要大量进口。电子级多晶硅产品质量控制要求非常严格,目前生产工艺主要有三氯氢硅氢还原法和硅烷热分... 展开更多; 关键词电子级多晶硅制备三氯氢硅氢还原法影响因素; 在线阅读下载PDF 职称材料

结合多晶硅国家标准浅析电子级多晶硅生产控制要点被引量：6: 4; 作者张鹏远杜俊平《中国有色冶金》 CAS 北大核心 2021年第2期59-63,共5页; 国内多晶硅生产线大部分是按照太阳能级标准设计建造的,产品质量与电子级多晶硅差距较大。本文通过分析电子级多晶硅国家标准,逐项分析施/受主杂质浓度、少子寿命、碳浓度、氧浓度、基体金属杂质、表面金属杂质、外在品质要求等参数,并... 展开更多; 关键词多晶硅电子级多晶硅多晶硅国家标准; 在线阅读下载PDF 职称材料

电子级多晶硅循环氢气深冷分离除杂技术研究被引量：2: 5; 作者李有斌陈叮琳李宏盼《化学与生物工程》 CAS 2021年第6期59-61,共3页; 通过分析多晶硅还原炉尾气回收装置循环氢气中杂质的种类、来源、去除工艺,确定采取循环氢气深冷分离除杂技术解决磷化氢、砷化氢在氢气循环过程中的累积趋势,可以有效分离循环氢气中70%磷化氢和95%砷化氢,保证还原炉化学气相沉积过程... 展开更多; 关键词电子级多晶硅循环氢气深冷杂质; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电子级多晶硅的生产工艺被引量：166: 1; 作者梁骏吾; 机构中国科学院半导体研究所; 出处《中国工程科学》 2000年第12期34-39,共6页; 文摘就建设 10 0 0t电子级多晶硅厂的技术进行了探讨。对三氯氢硅法、四氯化硅法、二氯二氢硅法和硅烷法生产的多晶硅质量、安全性、运输和存贮的可行性、有用沉积比、沉积速率、一次转换率、生长温度、电耗和价格进行了对比 ;对还原或热分解使用的反应器即钟罩式反应器、流床反应器和自由空间反应器也进行了比较。介绍了用三氯氢硅钟罩式反应器法生产多晶硅三代流程。第三代多晶硅流程适于 10 0 0t/a级的电子级多晶硅生产。; 关键词电子级多晶硅三氯氢硅法半导体材料硅烷法生产工艺钟罩式反应器; Keywords polysilicon trichlorosilane method silane method flow chart productionD; 分类号 TN304.12 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于PolySim电子级多晶硅还原炉三维数值模拟被引量：6: 2; 作者李有斌张胜涛何银凤梁世民韩金豆付昊赵丽丽; 机构青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司哈尔滨工业大学化学与化工学院; 出处《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2019年第1期144-148,共5页; 文摘利用Poly Sim软件建立了国内电子级多晶硅9对棒现役还原炉的三维模型,对还原炉内部的流动、传热进行了数值模拟,得到还原炉内部流场、温场以及硅棒表面温度的分布情况,指出硅棒桥接附近气体流速较小、气体温度及硅棒表面温度过高是该区域沉积不均匀的主要原因。和实际生产结果对比表明,模拟计算数据的误差不超过5%。; 关键词电子级多晶硅化学气相沉积数值模拟气体循环; Keywords electronic grade polysilicon chemical vapor deposition numerical simulation gas flow; 分类号 O482 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电子级多晶硅制备过程中质量影响因素分析被引量：6: 3; 作者陈辉张征万烨孙强张晓伟张邦洁王浩裴蕾; 机构洛阳中硅高科技有限公司中国恩菲工程技术有限公司; 出处《中国有色冶金》 CAS 2019年第6期49-51,70,共4页; 基金河南省科技研发专项(174200510014) 郑洛新国家自主创新示范区创新引领型产业集群专项; 文摘电子级多晶硅是微电子行业、信息产业和新能源产业的基础性材料,目前,全球电子级高纯多晶硅总产能约31000 t,我国高品质多晶硅仍然需要大量进口。电子级多晶硅产品质量控制要求非常严格,目前生产工艺主要有三氯氢硅氢还原法和硅烷热分解法两种,全球90%以上的多晶硅企业采用三氯氢硅氢还原工艺生产,国内也多采用此工艺生产电子级多晶硅。本文针对三氯氢硅氢还原工艺对影响多晶硅质量的因素进行了阐述,包括三氯氢硅、氢气纯度,物料管线纯度,CVD炉材质,备品备件选取,硅棒后处理装置,设备维护保养等,以期为电子级高纯多晶硅的生产和后处理过程提供参考。; 关键词电子级多晶硅制备三氯氢硅氢还原法影响因素; Keywords electronic grade polysilicon preparation trichlorosilane-hydrogen reduction process influencing factors; 分类号 TN304.1+2 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名结合多晶硅国家标准浅析电子级多晶硅生产控制要点被引量：6: 4; 作者张鹏远杜俊平; 机构洛阳中硅高科技有限公司中国有色工程有限公司; 出处《中国有色冶金》 CAS 北大核心 2021年第2期59-63,共5页; 文摘国内多晶硅生产线大部分是按照太阳能级标准设计建造的,产品质量与电子级多晶硅差距较大。本文通过分析电子级多晶硅国家标准,逐项分析施/受主杂质浓度、少子寿命、碳浓度、氧浓度、基体金属杂质、表面金属杂质、外在品质要求等参数,并将以上参数的影响原因归结到生产工艺的具体环节,探究生产电子级多晶硅的技术要点,达到指导技术研发和工艺改进的目的。; 关键词多晶硅电子级多晶硅多晶硅国家标准; Keywords poly silicon electronic-grade poly silicon poly silicon national standard; 分类号 TF843.5 [冶金工程—有色金属冶金] TN304.12 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电子级多晶硅循环氢气深冷分离除杂技术研究被引量：2: 5; 作者李有斌陈叮琳李宏盼; 机构青海黄河水电有限公司新能源分公司青海省新能源材料与储能技术重点实验室; 出处《化学与生物工程》 CAS 2021年第6期59-61,共3页; 文摘通过分析多晶硅还原炉尾气回收装置循环氢气中杂质的种类、来源、去除工艺,确定采取循环氢气深冷分离除杂技术解决磷化氢、砷化氢在氢气循环过程中的累积趋势,可以有效分离循环氢气中70%磷化氢和95%砷化氢,保证还原炉化学气相沉积过程中循环氢气的纯度。; 关键词电子级多晶硅循环氢气深冷杂质; Keywords electron grade polycrystalline silicon circulating hydrogen cryogenic impurity; 分类号 TQ018 [化学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	电子级多晶硅的生产工艺	梁骏吾	《中国工程科学》	2000	166	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于PolySim电子级多晶硅还原炉三维数值模拟	李有斌张胜涛何银凤梁世民韩金豆付昊赵丽丽	《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心	2019	6	在线阅读下载PDF 职称材料
3	电子级多晶硅制备过程中质量影响因素分析	陈辉张征万烨孙强张晓伟张邦洁王浩裴蕾	《中国有色冶金》 CAS	2019	6	在线阅读下载PDF 职称材料
4	结合多晶硅国家标准浅析电子级多晶硅生产控制要点	张鹏远杜俊平	《中国有色冶金》 CAS 北大核心	2021	6	在线阅读下载PDF 职称材料
5	电子级多晶硅循环氢气深冷分离除杂技术研究	李有斌陈叮琳李宏盼	《化学与生物工程》 CAS	2021	2	在线阅读下载PDF 职称材料