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SEM中一种新的显微成象及其微区分析技术
1
作者
印建平
吴志明
高伟建
《广西大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
1993年第S1期11-15,共5页
建立了扫描电子热辐射测量:SEM的理论模型,进行了相应的理论分析,介绍了电子热辐射显微成象及其微区分析的原理性实验方案,并从理论上估算了三类典型样品(金属、半导体和绝缘材料)产生ETR信号的大小。
关键词
电子
热辐射
效应
扫描
电子
热辐射
显
微
术
电子热辐射微区分析
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职称材料
题名
SEM中一种新的显微成象及其微区分析技术
1
作者
印建平
吴志明
高伟建
机构
苏州大学分析测试中心
出处
《广西大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
1993年第S1期11-15,共5页
基金
国家自然科学基金
文摘
建立了扫描电子热辐射测量:SEM的理论模型,进行了相应的理论分析,介绍了电子热辐射显微成象及其微区分析的原理性实验方案,并从理论上估算了三类典型样品(金属、半导体和绝缘材料)产生ETR信号的大小。
关键词
电子
热辐射
效应
扫描
电子
热辐射
显
微
术
电子热辐射微区分析
分类号
N55 [自然科学总论]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
SEM中一种新的显微成象及其微区分析技术
印建平
吴志明
高伟建
《广西大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
1993
0
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