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超高／极高真空测量发展综述
被引量：
19
1
作者
李得天
成永军
+3 位作者
冯焱
卢耀文
赵澜
徐婕
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第5期522-530,共9页
本文回顾了近50多年来在超高/极高真空测量方面所取得的重要进展。内容包括热阴极电离规和冷阴极电离规的研究进展、新型室温电子源(如Spindt阴极和碳纳米管场发射阴极)和真空的激光电离测量技术在超高/极高真空测量中的应用、小型化超...
本文回顾了近50多年来在超高/极高真空测量方面所取得的重要进展。内容包括热阴极电离规和冷阴极电离规的研究进展、新型室温电子源(如Spindt阴极和碳纳米管场发射阴极)和真空的激光电离测量技术在超高/极高真空测量中的应用、小型化超高/极高真空电离规的发展以及我国在超高/极高真空测量方面的研究进展等,从中可对超高/极高真空测量的发展历史和现状有一个完整的了解。
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关键词
真空测量
电离规
X射线效应
电子激励脱附
场致发射
激光电离
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职称材料
贝塞尔盒能量分析器规计量特性研究
2
作者
习振华
李菁桢
+3 位作者
成永军
冯焱
张虎忠
李得天
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第8期781-786,共6页
对贝塞尔盒能量分析器规灵敏度、稳定性、抽速、放气率及电子激励脱附（ESD）效应等计量特性进行研究。实验结果表明,N2、Ar、He对应的灵敏度分别为2.47×10-2,3.27×10-2,5.13×10-3Pa-1,且在10-9-10-3Pa范围内,表现出良...
对贝塞尔盒能量分析器规灵敏度、稳定性、抽速、放气率及电子激励脱附（ESD）效应等计量特性进行研究。实验结果表明,N2、Ar、He对应的灵敏度分别为2.47×10-2,3.27×10-2,5.13×10-3Pa-1,且在10-9-10-3Pa范围内,表现出良好的线性;其短期稳定性及长期稳定性测试中,灵敏度表现出较好的一致性;抽速为10-5~10-4m3/s量级;放气率为8.1×10-11Pa·m3/s,降低了电离规自身出气对测量结果的影响,能够满足极高、超高真空测量的需要;ESD效应的研究表明,贝塞尔盒能量分析器能够有效地实现气相离子与ESD离子的分离,两种离子经加速后能量差约为40 eV。贝塞尔盒能量分析器规可以实现极高真空的精确测量。
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关键词
极高真空
贝塞尔盒能量分析器
电子激励脱附
灵敏度
出气率
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职称材料
题名
超高／极高真空测量发展综述
被引量：
19
1
作者
李得天
成永军
冯焱
卢耀文
赵澜
徐婕
机构
兰州物理研究所
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第5期522-530,共9页
文摘
本文回顾了近50多年来在超高/极高真空测量方面所取得的重要进展。内容包括热阴极电离规和冷阴极电离规的研究进展、新型室温电子源(如Spindt阴极和碳纳米管场发射阴极)和真空的激光电离测量技术在超高/极高真空测量中的应用、小型化超高/极高真空电离规的发展以及我国在超高/极高真空测量方面的研究进展等,从中可对超高/极高真空测量的发展历史和现状有一个完整的了解。
关键词
真空测量
电离规
X射线效应
电子激励脱附
场致发射
激光电离
Keywords
Vacuun measuremetnt, Ionization gauge, X-ray effect, Electron stimulated desorption （ESD） effect, Field emission, Laser ionization
分类号
TB77 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
贝塞尔盒能量分析器规计量特性研究
2
作者
习振华
李菁桢
成永军
冯焱
张虎忠
李得天
机构
兰州空间技术物理研究所
兰州大学物理科学与技术学院
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第8期781-786,共6页
基金
国家杰出青年科学基金项目(No.61125101)资助课题
文摘
对贝塞尔盒能量分析器规灵敏度、稳定性、抽速、放气率及电子激励脱附（ESD）效应等计量特性进行研究。实验结果表明,N2、Ar、He对应的灵敏度分别为2.47×10-2,3.27×10-2,5.13×10-3Pa-1,且在10-9-10-3Pa范围内,表现出良好的线性;其短期稳定性及长期稳定性测试中,灵敏度表现出较好的一致性;抽速为10-5~10-4m3/s量级;放气率为8.1×10-11Pa·m3/s,降低了电离规自身出气对测量结果的影响,能够满足极高、超高真空测量的需要;ESD效应的研究表明,贝塞尔盒能量分析器能够有效地实现气相离子与ESD离子的分离,两种离子经加速后能量差约为40 eV。贝塞尔盒能量分析器规可以实现极高真空的精确测量。
关键词
极高真空
贝塞尔盒能量分析器
电子激励脱附
灵敏度
出气率
Keywords
Extreme high vacuum, Bessel-box type energy analyzer, ESD, Sensitivity factor, Outgassing rate
分类号
TB772 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
超高／极高真空测量发展综述
李得天
成永军
冯焱
卢耀文
赵澜
徐婕
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
19
在线阅读
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职称材料
2
贝塞尔盒能量分析器规计量特性研究
习振华
李菁桢
成永军
冯焱
张虎忠
李得天
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
0
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职称材料
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