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TiO_2-WO_3复合薄膜型气敏传感器性质研究
被引量：
4
1
作者
冯庆
王新强
+1 位作者
刘高斌
王万录
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第4期278-281,共4页
二氧化钛和三氧化钨是具有重要功能的无机n型半导体材料,常用来制备气敏传感器。本文利用电子束蒸发制备了TiO2-WO3复合氧化物薄膜,在500℃下退火2 h。通过SEM和XRD观察了该薄膜的形貌特性并进行了气敏测试。实验表明,该薄膜对酒精、丙...
二氧化钛和三氧化钨是具有重要功能的无机n型半导体材料,常用来制备气敏传感器。本文利用电子束蒸发制备了TiO2-WO3复合氧化物薄膜,在500℃下退火2 h。通过SEM和XRD观察了该薄膜的形貌特性并进行了气敏测试。实验表明,该薄膜对酒精、丙酮和二氧化硫气体具有较强的敏感性。本文还研究了温度、复合浓度和气体浓度对薄膜气体传感能力的影响。
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关键词
气敏传感器
电子束蒸发tio2
WO3
n型金属氧化物
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职称材料
题名
TiO_2-WO_3复合薄膜型气敏传感器性质研究
被引量：
4
1
作者
冯庆
王新强
刘高斌
王万录
机构
重庆大学数理学院
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第4期278-281,共4页
文摘
二氧化钛和三氧化钨是具有重要功能的无机n型半导体材料,常用来制备气敏传感器。本文利用电子束蒸发制备了TiO2-WO3复合氧化物薄膜,在500℃下退火2 h。通过SEM和XRD观察了该薄膜的形貌特性并进行了气敏测试。实验表明,该薄膜对酒精、丙酮和二氧化硫气体具有较强的敏感性。本文还研究了温度、复合浓度和气体浓度对薄膜气体传感能力的影响。
关键词
气敏传感器
电子束蒸发tio2
WO3
n型金属氧化物
Keywords
Gas sensor, Electron beam evapora
tio
n,
tio
2
, WO3, N-type metal oxide
分类号
TB43 [一般工业技术]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
TiO_2-WO_3复合薄膜型气敏传感器性质研究
冯庆
王新强
刘高斌
王万录
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
4
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