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氧和氩等离子辅助电子束蒸发制备高质量ZnO薄膜被引量：9: 1; 作者汤庆鑫路丽霞 +3 位作者齐秀英钟殿强初国强刘益春《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期284-288,共5页; 采用等离子辅助电子束蒸发技术制备高纯金属锌膜,然后在氧气气氛下经高温热处理得到氧化锌的多晶薄膜。X射线衍射谱的结果表明:未经热氧化样品由金属锌和氧化锌纳米晶组成,随着热氧化温度的升高氧化锌纳米晶粒长大,形成纳米氧化锌多晶... 展开更多; 关键词等离子辅助电子束蒸发技术制备 ZNO薄膜氧化锌薄膜氧氩多晶薄膜光致发光; 在线阅读下载PDF 职称材料

车载用塑料基底超高强度减反膜的制备: 2; 作者张桂春刘明亮周纪良《塑料》北大核心 2025年第4期100-105,共6页; 塑料光学元件以其易加工、成本低、重量轻等特性,广泛应用于车载成像系统,但是,其环测可靠性一直是急需解决的问题。基于塑料COC基底,采用原子层沉积技术(ALD)与物理气相沉积技术(PVD)相结合的方法,研制了420~680 nm波段超高强度减反射... 展开更多; 关键词薄膜 COC基底 ALD沉积技术电子束蒸发技术车载成像系统; 在线阅读下载PDF 职称材料

双折射雕塑薄膜的研究进展: 3; 作者王素梅王建国 +3 位作者付小勇范正修贺洪波邵建达《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期306-312,共7页; 倾斜沉积技术制备的雕塑薄膜是一种新型的、具有各向异性结构的薄膜材料。根据基片旋转方式的不同,可得到螺旋状、S形状、C形状、弯曲柱状等不同结构的薄膜,并且出现了晶体中的双折射现象。雕塑薄膜可以实现各向同性薄膜无法实现的光学... 展开更多; 关键词雕塑薄膜双折射技术各向异性薄膜材料微观结构光学性质电子束蒸发技术; 在线阅读下载PDF 职称材料

Si衬底上生长ZnO薄膜成熟化的研究被引量：1: 4; 作者余萍熊狂炜邱东江《江西师范大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2010年第4期336-339,396,共5页; 用电子束反应蒸发(REBE)方法在Si和白宝石衬底上低温生长了ZnO晶体薄膜.测量结果表明ZnO晶粒具有类柱状的生长特性,并且首次发现Si基ZnO外延层生长的Ostwald"成熟化"(ripening)过程.研究结果还表明这种"成熟化"出... 展开更多; 关键词电子束反应蒸发技术 ZNO薄膜成熟化过程; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名氧和氩等离子辅助电子束蒸发制备高质量ZnO薄膜被引量：9: 1; 作者汤庆鑫路丽霞齐秀英钟殿强初国强刘益春; 机构东北师范大学物理系中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 出处《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期284-288,共5页; 基金中国科学院百人计划资助项目; 文摘采用等离子辅助电子束蒸发技术制备高纯金属锌膜,然后在氧气气氛下经高温热处理得到氧化锌的多晶薄膜。X射线衍射谱的结果表明:未经热氧化样品由金属锌和氧化锌纳米晶组成,随着热氧化温度的升高氧化锌纳米晶粒长大,形成纳米氧化锌多晶薄膜且薄膜结晶性增强;光致发光谱表明:样品均具有较强的紫外自由激子发光。由于未经热氧化样品中氧化锌纳米晶粒较小,具有较强的量子限域效应,因而经高温氧化后样品发光峰有较大红移。随着热氧化温度的进一步升高,束缚激子发射随热氧化温度升高而减弱,且发光峰位随热氧化温度升高出现蓝移;变温光致发光谱表明:紫外发光主要来自自由激子发射。; 关键词等离子辅助电子束蒸发技术制备 ZNO薄膜氧化锌薄膜氧氩多晶薄膜光致发光; Keywords plasma-assisted E-beam evaporation photoluminescence (PL) thermal oxidation; 分类号 O484.1 [理学—固体物理] TN304.21 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名车载用塑料基底超高强度减反膜的制备: 2; 作者张桂春刘明亮周纪良; 机构河南经济贸易技师学院郑州大学比亚迪汽车工业有限公司车身技术开发中心; 出处《塑料》北大核心 2025年第4期100-105,共6页; 基金 2021年度河南省科技攻关项目(212102210325)。; 文摘塑料光学元件以其易加工、成本低、重量轻等特性,广泛应用于车载成像系统,但是,其环测可靠性一直是急需解决的问题。基于塑料COC基底,采用原子层沉积技术(ALD)与物理气相沉积技术(PVD)相结合的方法,研制了420~680 nm波段超高强度减反射膜;通过工艺优化,制备高水汽阻隔TiO_(2)膜层,改善COC光学元件的抗氙灯照射能力;基于化学键分析方法,优选Ti_(3)O_(5)作为连接层材料,有效提高膜层结合力,实现膜层应力匹配。测试结果表明,该膜层在420~680 nm波段平均剩余反射率为0.31%,并通过了高温、高温高湿及氙灯照射3项环测试验,能够满足汽车领域对车载成像系统镀膜元件的技术要求。; 关键词薄膜 COC基底 ALD沉积技术电子束蒸发技术车载成像系统; Keywords thin film COC substrate ALD depsition technology electron beam evaporation technology vehicle imaging system; 分类号 TQ320.721 [化学工程—合成树脂塑料工业]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名双折射雕塑薄膜的研究进展: 3; 作者王素梅王建国付小勇范正修贺洪波邵建达; 机构中国科学院上海光学精密机械研究所; 出处《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期306-312,共7页; 文摘倾斜沉积技术制备的雕塑薄膜是一种新型的、具有各向异性结构的薄膜材料。根据基片旋转方式的不同,可得到螺旋状、S形状、C形状、弯曲柱状等不同结构的薄膜,并且出现了晶体中的双折射现象。雕塑薄膜可以实现各向同性薄膜无法实现的光学性质,为光学薄膜的设计与制备开辟了新的途径。本文综述了雕塑薄膜的制备方法,分析了雕塑薄膜的微结构与双折射特性,并阐述了其在光学领域内的应用潜力。; 关键词雕塑薄膜双折射技术各向异性薄膜材料微观结构光学性质电子束蒸发技术; Keywords sculptured thin films glancing angle deposition birefringence anisotropy; 分类号 O484 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名Si衬底上生长ZnO薄膜成熟化的研究被引量：1: 4; 作者余萍熊狂炜邱东江; 机构华东交通大学基础学院应用物理系浙江大学物理系; 出处《江西师范大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2010年第4期336-339,396,共5页; 基金江西省自然科学基金(2008GQW0017)资助项目; 文摘用电子束反应蒸发(REBE)方法在Si和白宝石衬底上低温生长了ZnO晶体薄膜.测量结果表明ZnO晶粒具有类柱状的生长特性,并且首次发现Si基ZnO外延层生长的Ostwald"成熟化"(ripening)过程.研究结果还表明这种"成熟化"出现和衬底结构有关,而且"成熟化"并不影响薄膜的生长取向;光荧光激发光谱(PLE)测量显示,在330～350 nm区域有一个较宽的荧光激发峰,该宽峰跟掩埋在外延层内部的2种尺寸的ZnO量子点有关.; 关键词电子束反应蒸发技术 ZNO薄膜成熟化过程; Keywords SEBE ZnO films ripening process; 分类号 O484.1 [理学—固体物理] O484.41 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	氧和氩等离子辅助电子束蒸发制备高质量ZnO薄膜	汤庆鑫路丽霞齐秀英钟殿强初国强刘益春	《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2003	9	在线阅读下载PDF 职称材料
2	车载用塑料基底超高强度减反膜的制备	张桂春刘明亮周纪良	《塑料》北大核心	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	双折射雕塑薄膜的研究进展	王素梅王建国付小勇范正修贺洪波邵建达	《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2005	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	Si衬底上生长ZnO薄膜成熟化的研究	余萍熊狂炜邱东江	《江西师范大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心	2010	1	在线阅读下载PDF 职称材料