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MgZnO和ZnO晶体薄膜紫外发光特性比较被引量：4: 1; 作者陈奶波邱东江 +3 位作者吴惠桢张寒洁鲍世宁何丕模《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期349-352,共4页; 用电子束蒸发反应沉积在Si(111)衬底上低温生长了立方MgZnO薄膜和高度C -轴取向的ZnO薄膜 .X 射线光电子能谱 (XPS)结果表明 ,立方MgZnO薄膜中的Mg含量比靶源中的高 .紫外光致荧光谱 (UVPL)测试显示 ,与ZnO相比MgZnO的荧光峰从 393nm蓝... 展开更多; 关键词紫外光致荧光谱 X射线光电子能谱晶体薄膜氧化锌电子束蒸发反应沉积法光谱蓝移光谱红移带隙; 在线阅读下载PDF 职称材料

单层二氧化铪(HfO_2)薄膜的特性研究被引量：10: 2; 作者艾万君熊胜明《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2012年第2期134-140,共7页; 利用电子束蒸发、离子束辅助沉积和离子束反应溅射三种制备方法制备了单层HfO2薄膜,对薄膜样品的晶体结构、光学特性、表面形貌以及吸收特性进行了研究。实验结果表明,薄膜特性与制备工艺有着密切的关系。电子束蒸发和离子束反应溅射制... 展开更多; 关键词电子束蒸发离子束辅助沉积离子束反应溅射 HFO2薄膜薄膜特性; 在线阅读下载PDF 职称材料

全固态薄膜锂电池及其阴极薄膜材料制备技术被引量：1: 3; 作者梁科《中国高新技术企业》 2010年第8期43-45,共3页; 电子产品小型化、微型化、集成化成为当今技术发展的大趋势,从而需要电池的微型化。微电池在未来便携式电子设备、国防装备及微电子机械系统(MEMS)等方面有着广泛的应用前景,受到人们的重视。文章介绍了全固态薄膜锂电池的原理和结构,... 展开更多; 关键词微电池全固态薄膜锂电池阴极薄膜溅射法脉冲激光沉积法电子束蒸发法; 在线阅读下载PDF 职称材料

中国团队设计LiPON涂层提升锂硫电池使用寿命: 4; 《汽车工程师》 2019年第1期8-8,共1页; 中国的一支研发团队通过对高能量密度锂硫电池的金属阳极进行调整,避免其生成固体电解质相界面膜(SEI)及锂枝晶的增生,该方式原理简单,可用于量产。该团队通过电子束反应蒸发氮等离子体辅助沉积,在锂金属阳极上涂覆了一层锂磷氧氮(LiPON... 展开更多; 关键词锂硫电池防护涂层 LIPON 使用寿命中国固体电解质相界面膜等离子体辅助沉积电子束反应蒸发; 在线阅读下载PDF 职称材料

Gd/Si薄膜: 5; 作者邱巨峰《稀土信息》 2000年第4期11-11,共1页; 稀土硅化物具有特殊的结构特征和电导率,因而可用作红外探测器的传感元件。稀土硅化物能使n-型硅的肖特基势垒最低（～0.4eV）,而使p-型硅形成肖特基接触。稀土硅化物形成反应中硅是控制扩散过程的组元,但反应机理尚未搞清楚。匈牙利... 展开更多; 关键词稀土硅化物 SI薄膜红外探测器反应机理肖特基接触动力学过程固相反应扩散过程结构特征电子束蒸发沉积; 在线阅读下载PDF 职称材料

固体薄膜技术: 6; 作者李世直《山东化工学院学报》 CAS 1980年第1期73-90,共18页; 引言在金属、半导体、陶瓷、塑料等固体表面上,生长一层薄膜,使它具有与基体材料不同的物理及化学特性,以适应使用上的特殊要求,这就是固体薄膜技术。它是固体表而技术中的一个重要组成部分。这种技术在电子工业、光学和光通讯工业,能... 展开更多; 关键词固体薄膜电子枪基体温度离子镀装置阴极溅射蒸发材料成膜技术阳极薄膜技术真空沉积法化学气相沉积法反应性气体; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MgZnO和ZnO晶体薄膜紫外发光特性比较被引量：4: 1; 作者陈奶波邱东江吴惠桢张寒洁鲍世宁何丕模; 机构浙江大学物理系中国科学院上海微系统与信息技术研究所; 出处《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期349-352,共4页; 基金国家自然科学基金 (批准号 10 1740 64 )资助项目~~; 文摘用电子束蒸发反应沉积在Si(111)衬底上低温生长了立方MgZnO薄膜和高度C -轴取向的ZnO薄膜 .X 射线光电子能谱 (XPS)结果表明 ,立方MgZnO薄膜中的Mg含量比靶源中的高 .紫外光致荧光谱 (UVPL)测试显示 ,与ZnO相比MgZnO的荧光峰从 393nm蓝移至 373nm ,这可能与MgZnO的带隙变宽有关 .对ZnO薄膜的研究还发现 ,生长过程中充O2 与否对ZnO发光特性的影响显著 ,不充O2 时样品的紫外荧光峰较之充O2; 关键词紫外光致荧光谱 X射线光电子能谱晶体薄膜氧化锌电子束蒸发反应沉积法光谱蓝移光谱红移带隙; Keywords wurtzite ZnO film cubic MgZnO film UV-photoluminescence XPS; 分类号 O76 [理学—晶体学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名单层二氧化铪(HfO_2)薄膜的特性研究被引量：10: 2; 作者艾万君熊胜明; 机构中国科学院光电技术研究所中国科学院研究生院; 出处《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2012年第2期134-140,共7页; 文摘利用电子束蒸发、离子束辅助沉积和离子束反应溅射三种制备方法制备了单层HfO2薄膜,对薄膜样品的晶体结构、光学特性、表面形貌以及吸收特性进行了研究。实验结果表明,薄膜特性与制备工艺有着密切的关系。电子束蒸发和离子束反应溅射制备的薄膜为非晶结构,而离子束辅助制备的薄膜为多晶结构。电子束蒸发制备的薄膜折射率较低,薄膜比较疏松,表面粗糙度较小,吸收相对较小,而离子束辅助以及离子束反应溅射制备的薄膜折射率较高,薄膜的结构比较致密,但表面粗糙度较大,吸收相对较大。不同制备工艺条件下薄膜的光学能隙范围为5.30～5.43eV,对应的吸收边的范围为228.4～234.0nm。; 关键词电子束蒸发离子束辅助沉积离子束反应溅射 HFO2薄膜薄膜特性; Keywords electron beam evaporation ion assisted deposition ion beam reactive sputtering HfO2 thin films thin film properties; 分类号 O484.4 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名全固态薄膜锂电池及其阴极薄膜材料制备技术被引量：1: 3; 作者梁科; 机构中国民航飞行学院航空工程学院电子教研室; 出处《中国高新技术企业》 2010年第8期43-45,共3页; 文摘电子产品小型化、微型化、集成化成为当今技术发展的大趋势,从而需要电池的微型化。微电池在未来便携式电子设备、国防装备及微电子机械系统(MEMS)等方面有着广泛的应用前景,受到人们的重视。文章介绍了全固态薄膜锂电池的原理和结构,以及阴极薄膜的制备技术,展望了全固态薄膜锂电池的应用前景。; 关键词微电池全固态薄膜锂电池阴极薄膜溅射法脉冲激光沉积法电子束蒸发法; 分类号 TM912 [电气工程—电力电子与电力传动]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名中国团队设计LiPON涂层提升锂硫电池使用寿命: 4; 出处《汽车工程师》 2019年第1期8-8,共1页; 文摘中国的一支研发团队通过对高能量密度锂硫电池的金属阳极进行调整,避免其生成固体电解质相界面膜(SEI)及锂枝晶的增生,该方式原理简单,可用于量产。该团队通过电子束反应蒸发氮等离子体辅助沉积,在锂金属阳极上涂覆了一层锂磷氧氮(LiPON)涂层。锂磷氧氮涂层可被用作一款高离子导电、化学性能稳定、坚固耐用的防护涂层,可抑制与有机电解质发生具有腐蚀性的化学反应,还能促进锂的电镀/喷涂,从而提升均匀性锂金属电芯的充放电的稳定性,不会生成锂枝晶,在电流密度为3mA/m^2时,实现900多次的电池充放电。; 关键词锂硫电池防护涂层 LIPON 使用寿命中国固体电解质相界面膜等离子体辅助沉积电子束反应蒸发; 分类号 TQ114.262 [化学工程—无机化工]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名Gd/Si薄膜: 5; 作者邱巨峰; 出处《稀土信息》 2000年第4期11-11,共1页; 文摘稀土硅化物具有特殊的结构特征和电导率,因而可用作红外探测器的传感元件。稀土硅化物能使n-型硅的肖特基势垒最低（～0.4eV）,而使p-型硅形成肖特基接触。稀土硅化物形成反应中硅是控制扩散过程的组元,但反应机理尚未搞清楚。匈牙利技术物理与材料科学研究所G.L.Molnar最近研究揭示了硅化钆形成的机理。钆薄膜与硅单晶基片之间的固相反应包括两种砷化物相(六方结构的GdSi<sub>1.7</sub>; 关键词稀土硅化物 SI薄膜红外探测器反应机理肖特基接触动力学过程固相反应扩散过程结构特征电子束蒸发沉积; 分类号 TF845 [冶金工程—有色金属冶金]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名固体薄膜技术: 6; 作者李世直; 出处《山东化工学院学报》 CAS 1980年第1期73-90,共18页; 文摘引言在金属、半导体、陶瓷、塑料等固体表面上,生长一层薄膜,使它具有与基体材料不同的物理及化学特性,以适应使用上的特殊要求,这就是固体薄膜技术。它是固体表而技术中的一个重要组成部分。这种技术在电子工业、光学和光通讯工业,能源开发和机械工业中,都已广泛应用。所谓薄膜,仅是相对而言,光学元件上的薄膜厚度一般存光的波长范同以内,而工程材料中所指的薄膜,厚度在几微米至几十微米的范围。; 关键词固体薄膜电子枪基体温度离子镀装置阴极溅射蒸发材料成膜技术阳极薄膜技术真空沉积法化学气相沉积法反应性气体; 分类号 F4 [经济管理—产业经济]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	MgZnO和ZnO晶体薄膜紫外发光特性比较	陈奶波邱东江吴惠桢张寒洁鲍世宁何丕模	《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2003	4	在线阅读下载PDF 职称材料
2	单层二氧化铪(HfO_2)薄膜的特性研究	艾万君熊胜明	《光电工程》 CAS CSCD 北大核心	2012	10	在线阅读下载PDF 职称材料
3	全固态薄膜锂电池及其阴极薄膜材料制备技术	梁科	《中国高新技术企业》	2010	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	中国团队设计LiPON涂层提升锂硫电池使用寿命		《汽车工程师》	2019	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	Gd/Si薄膜	邱巨峰	《稀土信息》	2000	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	固体薄膜技术	李世直	《山东化工学院学报》 CAS	1980	0	在线阅读下载PDF 职称材料