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工业应用放电泵浦准分子激光器研究进展
被引量：
4
1
作者
高怀林
杨艳霞
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期1-3,共3页
本文主要介绍工业应用对于放电泵浦的KrF、XeCl、ArF准分子激光器的一般要求 ,以及对于极端高重复频率、高平均功率准分子激光器要解决的关键技术问题与国际研究进展。并简要介绍电子束泵浦的重复频率高能。
关键词
激光应用
准分子激光器
放电
泵
浦
技术
电子束泵浦技术
在线阅读
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职称材料
题名
工业应用放电泵浦准分子激光器研究进展
被引量：
4
1
作者
高怀林
杨艳霞
机构
中国科学院电子学研究所
出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期1-3,共3页
文摘
本文主要介绍工业应用对于放电泵浦的KrF、XeCl、ArF准分子激光器的一般要求 ,以及对于极端高重复频率、高平均功率准分子激光器要解决的关键技术问题与国际研究进展。并简要介绍电子束泵浦的重复频率高能。
关键词
激光应用
准分子激光器
放电
泵
浦
技术
电子束泵浦技术
Keywords
Excimer laser
laser application
discharge-pumping technology
electron-beams-pumping technology
分类号
TN248.1 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
工业应用放电泵浦准分子激光器研究进展
高怀林
杨艳霞
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2004
4
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