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题名两种方法制备ITO薄膜的红外特性分析
被引量：14
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作者
周平
黄昱勇
林宇翔
李海峰
刘旭
顾培夫
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机构
浙江大学现代光学国家重点实验室
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第8期985-988,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目 (编号 :6 9976 0 2 6 )
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文摘
比较了用电束加热蒸发法和直流磁控溅射法制备的氧化锡铟 (ITO)薄膜在红外波段的光学特性 实验发现 ,通过直流磁控溅射在常温下制备的ITO薄膜在红外波段折射率稳定、消光系数小 ,比电子束加热蒸发制备的膜有较高的透过率 在波长 1 5 5 0nm附近的透过率可达 86%以上 ,消光系数约为 0 0 4 ,方电阻最低为 1 0 0Ω/□ .
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关键词
红外特性
ITO薄膜
光学特性
磁控溅射
电子束加热蒸发
氧化锡铟薄膜
制备方法
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Keywords
ITO thin film
Optical properties
Magnetron sputtering
E beam evaporation
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分类号
O484.41
[理学—固体物理]
O484.1
[理学—固体物理]
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题名卫星激光通信滤光膜的研制
被引量：12
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作者
张静
付秀华
潘永刚
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机构
长春理工大学光电工程学院
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第3期303-306,共4页
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基金
省部产学研结合项目(No.2010A090200006)资助
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文摘
为满足卫星激光通信中超高速数据传输的特殊要求,采用电子束和离子辅助沉积技术,制备了532nm、632nm和1 064nm波长处高反射,808nm和1 550nm处高透射的多波段滤光膜.选取了H4和SiO2作为高低折射率材料,通过对膜系设计曲线的不断优化,减少了灵敏层的个数,得到了相对易于制备的膜系结构;采用电子束加热蒸发方法并加以离子辅助沉积系统制备薄膜,采用光控与晶控同时监控的方法控制膜厚;通过不断调整工艺,提高了薄膜的抗激光损伤能力,减小了膜厚控制误差,提高了透射波段的透过率及反射波段的反射率,最终得到了光谱性能较好的滤光膜.该薄膜能够承受雨淋、盐雾、高低温等环境测试,满足使用要求.
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关键词
卫星激光通信
电子束加热蒸发
离子辅助沉积
激光损伤阈值
膜系设计
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Keywords
Satellite laser communication
Electronic beaming vacuum depositing
The aid of ion assistant deposition
High laser damage threshold
Film system design
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分类号
O484
[理学—固体物理]
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