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题名电子束品质评价方法综述
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作者
史丽娜
王鹏飞
刘俊标
邓晨晖
殷伯华
韩立
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机构
中国科学院电工研究所
中国科学院大学
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出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第6期733-743,共11页
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基金
中国科学院科研仪器设备研制项目(No.GJJSTD20200004)
广东省重点领域研发计划项目(No.2020B0101320002)
中国科学院电工研究所科研基金(No.E155440101)。
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文摘
电子显微类仪器广泛应用于微纳观测与精密加工领域,属于高端科学仪器。如何有效评价电子束品质是仪器开发者与使用者所关心的问题。然而,电子显微类仪器种类众多,根据应用的不同,电子束品质评价方法也有很大差异。因此,建立规范化的电子束评价方法,客观、准确和方便地评价电子束品质,是电子显微类仪器研制和应用方面的重要内容。本文基于电子显微类仪器中电子束性质,针对束流、束斑、束流密度和电子枪亮度等电子束品质参数,其中将束流和束斑定义作为直接评价参数,束流密度和电子枪亮度作为基本评价参数,分析了电子束评价参数不同测试方法的特点,从而对各种电子束评价方法进行分类归纳比较,同时将电子光学传递函数作为一种综合评价方法进行了总结分析。本文基于上述内容,可为建立规范化的电子束品质评价标准和测试方法提供参考依据。
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关键词
电子显微类仪器
电子束品质
评价参数
测试方法
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Keywords
electron microscopy instruments
electron beam quality
evaluation parameters
measurement methods
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分类号
TN16
[电子电信—物理电子学]
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