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电子回旋共振放电的理论计算机模拟进展
被引量：
3
1
作者
杨中海
金晓林
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第S1期661-669,共9页
电子回旋共振(ECR)等离子体因具有低气压、高密度、高电离度等优点而被广泛地应用于微电子工业中。ECR放电及其生成等离子体的理论、计算机模拟的研究主要集中于3种模型:粒子模型、流体模型、混合模型。该文对上述3种模型进行了综述、...
电子回旋共振(ECR)等离子体因具有低气压、高密度、高电离度等优点而被广泛地应用于微电子工业中。ECR放电及其生成等离子体的理论、计算机模拟的研究主要集中于3种模型:粒子模型、流体模型、混合模型。该文对上述3种模型进行了综述、总结和对比,并对今后的研究前景进行了展望．特别指出模拟ECR放电电离过程的研究意义以及粒子模型中的粒子模拟与蒙特卡罗相结合(PIC/MCC)方法在模拟ECR放电及ECR等离子体方面的技术优势．
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关键词
电子回旋共振放电
电子
回旋
共振
等离子体
粒子模拟
蒙特卡罗
粒子模拟与蒙特卡罗相结合
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职称材料
电子回旋共振放电中电子能量分布特性的研究
2
作者
杨中海
金晓林
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第5期562-567,共6页
建立了电子回旋共振(ECR)放电的粒子模型,编制了准三维电磁模粒子模拟与蒙特卡罗模拟程序。通过对氩气ECR放电电离过程的理论分析与数值模拟,得到了放电稳态形成时不同放电区域的电子能量分布。研究了不同中性气压以及外加磁场位形对这...
建立了电子回旋共振(ECR)放电的粒子模型,编制了准三维电磁模粒子模拟与蒙特卡罗模拟程序。通过对氩气ECR放电电离过程的理论分析与数值模拟,得到了放电稳态形成时不同放电区域的电子能量分布。研究了不同中性气压以及外加磁场位形对这些区域中电子能量分布特性的影响。随着中性气压的升高,远离ECR区域中的低能电子减少,高能电子增加,而ECR区域中电子能量分布变化特征与之相反;相对于收敛磁场位形,磁镜磁场位形更有利于约束放电下游区的电子能量以及电子能量分布的宽度。
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关键词
电子回旋共振放电
电离
蒙特卡罗方法
粒子模拟方法
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职称材料
题名
电子回旋共振放电的理论计算机模拟进展
被引量：
3
1
作者
杨中海
金晓林
机构
电子科技大学物理电子学院
出处
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第S1期661-669,共9页
文摘
电子回旋共振(ECR)等离子体因具有低气压、高密度、高电离度等优点而被广泛地应用于微电子工业中。ECR放电及其生成等离子体的理论、计算机模拟的研究主要集中于3种模型:粒子模型、流体模型、混合模型。该文对上述3种模型进行了综述、总结和对比,并对今后的研究前景进行了展望．特别指出模拟ECR放电电离过程的研究意义以及粒子模型中的粒子模拟与蒙特卡罗相结合(PIC/MCC)方法在模拟ECR放电及ECR等离子体方面的技术优势．
关键词
电子回旋共振放电
电子
回旋
共振
等离子体
粒子模拟
蒙特卡罗
粒子模拟与蒙特卡罗相结合
Keywords
electron cyclotron resonance discharge
electron cyclotron resonance plasmas
particle-in-cell
Monte Carlo
particle-in-cell/Monte Carlo collision
分类号
TM85 [电气工程—高电压与绝缘技术]
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职称材料
题名
电子回旋共振放电中电子能量分布特性的研究
2
作者
杨中海
金晓林
机构
电子科技大学物理电子学院
出处
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第5期562-567,共6页
基金
博士点基金(200806141034)
国家自然科学基金(10876005)
文摘
建立了电子回旋共振(ECR)放电的粒子模型,编制了准三维电磁模粒子模拟与蒙特卡罗模拟程序。通过对氩气ECR放电电离过程的理论分析与数值模拟,得到了放电稳态形成时不同放电区域的电子能量分布。研究了不同中性气压以及外加磁场位形对这些区域中电子能量分布特性的影响。随着中性气压的升高,远离ECR区域中的低能电子减少,高能电子增加,而ECR区域中电子能量分布变化特征与之相反;相对于收敛磁场位形,磁镜磁场位形更有利于约束放电下游区的电子能量以及电子能量分布的宽度。
关键词
电子回旋共振放电
电离
蒙特卡罗方法
粒子模拟方法
Keywords
electron cyclotron resonance discharge
ionization
Monte Carlo collision method
particle-in-cell method
分类号
O53 [理学—等离子体物理]
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职称材料
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1
电子回旋共振放电的理论计算机模拟进展
杨中海
金晓林
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
3
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职称材料
2
电子回旋共振放电中电子能量分布特性的研究
杨中海
金晓林
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
0
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职称材料
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