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1
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使用电子回旋波共振等离子体源辅助中频磁控溅射沉积氧化铌薄膜 |
殷冀平
吕少波
蔺增
巴德纯
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《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2024 |
1
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2
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ECR等离子体产生的电子束源设计和仿真分析 |
张维嘉
刘海浪
彭治国
曾李
钟可宁
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《真空科学与技术学报》
北大核心
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2025 |
0 |
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3
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电子回旋共振微波等离子体技术及应用 |
张继成
唐永建
吴卫东
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《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2002 |
8
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4
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电子回旋共振微波等离子体刻蚀α：CH薄膜的工艺 |
陆晓曼
张继成
吴卫东
朱永红
郭强
唐永建
孙卫国
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《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2008 |
3
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5
|
微波电子回旋共振等离子体阴极电子束的实验研究 |
李亮
刘亦飞
陈龙威
王功
刘鸣
任兆杏
刘兵山
赵光恒
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《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
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2019 |
2
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6
|
微波电子回旋共振等离子体刻蚀研究 |
丁振峰
任兆杏
史义才
张束清
戴松元
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《真空科学与技术》
CSCD
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1996 |
4
|
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7
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采用电子回旋共振微波等离子体增强的溅射沉积薄膜技术 |
雷明凯
王大庸
张仲麟
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《真空科学与技术》
CSCD
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1996 |
1
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8
|
微波电子回旋共振等离子体的阻抗特性分析 |
胡海天
邬钦崇
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《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
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1997 |
0 |
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9
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微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积法制备多晶硅薄膜 |
左潇
魏钰
陈龙威
舒兴胜
孟月东
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《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
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2012 |
2
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10
|
微波电子回旋共振等离子体技术及其应用 |
甄汉生
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《真空科学与技术》
CSCD
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1993 |
4
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11
|
电子回旋共振(ECR)等离子体的研究和应用 |
宁兆元
任兆杏
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《物理学进展》
CSCD
北大核心
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1992 |
23
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12
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电子回旋共振等离子体源的朗谬尔探针诊断 |
吴振宇
汪家友
杨银堂
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《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2004 |
5
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13
|
永磁电子回旋共振等离子体化学气相沉积系统 |
吴振宇
刘毅
汪家友
杨银堂
|
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2004 |
5
|
|
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14
|
电子回旋共振等离子体技术新进展 |
恩云飞
杨银堂
孙青
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《西安电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
1995 |
2
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15
|
非对称磁镜场电子回旋共振氧等离子体刻蚀化学气相沉积金刚石膜 |
谭必松
马志斌
沈武林
吴振辉
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《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2010 |
2
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16
|
微波等离子体电子回旋共振放电粒子模拟分析 |
张岩
钱禹行
刘尚合
赵鑫
郭英军
孙鹤旭
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《科学技术与工程》
北大核心
|
2021 |
2
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17
|
电子回旋共振CF_4+O_2等离子体中Si_3N_4刻蚀工艺研究 |
徐新艳
汪家友
杨银堂
付俊兴
柴常春
王平
|
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
|
2003 |
0 |
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18
|
电子回旋共振等离子体用于聚四氟乙烯材料表面改性 |
温晓辉
詹如娟
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《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
|
2002 |
0 |
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19
|
离子源内电子回旋共振等离子体诊断与分析 |
金逸舟
杨涓
罗立涛
冯冰冰
汤明杰
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《高电压技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2015 |
7
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20
|
电子回旋共振离子源等离子体的密度测量 |
袁宇飞
蒙林
周长庚
胡永宏
张钦龙
|
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2007 |
1
|
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