期刊文献+
共找到148篇文章
< 1 2 8 >
每页显示 20 50 100
电子回旋共振放电的理论计算机模拟进展 被引量:3
1
作者 杨中海 金晓林 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第S1期661-669,共9页
电子回旋共振(ECR)等离子体因具有低气压、高密度、高电离度等优点而被广泛地应用于微电子工业中。ECR放电及其生成等离子体的理论、计算机模拟的研究主要集中于3种模型:粒子模型、流体模型、混合模型。该文对上述3种模型进行了综述、... 电子回旋共振(ECR)等离子体因具有低气压、高密度、高电离度等优点而被广泛地应用于微电子工业中。ECR放电及其生成等离子体的理论、计算机模拟的研究主要集中于3种模型:粒子模型、流体模型、混合模型。该文对上述3种模型进行了综述、总结和对比,并对今后的研究前景进行了展望.特别指出模拟ECR放电电离过程的研究意义以及粒子模型中的粒子模拟与蒙特卡罗相结合(PIC/MCC)方法在模拟ECR放电及ECR等离子体方面的技术优势. 展开更多
关键词 电子回旋共振放电 电子回旋共振等离子体 粒子模拟 蒙特卡罗 粒子模拟与蒙特卡罗相结合
在线阅读 下载PDF
HL-2A装置2MW电子回旋共振加热系统研制 被引量:19
2
作者 饶军 李波 +10 位作者 周俊 姚列英 康自华 王明伟 李立 冯鲲 黄梅 陆志鸿 张劲松 李青 刘永 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期324-330,共7页
HL-2A装置电子回旋共振加热系统的主要指标是2MW/1s/68GHz,系统由4个单元组成,每个单元包括一只回旋管,微波传输系统,控制保护测量和冷却等子系统。通过对ECRH系统和回旋管的调试,每只管子微波输出功率500kW,脉冲宽度1s,四管并联运行时... HL-2A装置电子回旋共振加热系统的主要指标是2MW/1s/68GHz,系统由4个单元组成,每个单元包括一只回旋管,微波传输系统,控制保护测量和冷却等子系统。通过对ECRH系统和回旋管的调试,每只管子微波输出功率500kW,脉冲宽度1s,四管并联运行时总输出功率达到1.63MW,系统使用效率高于80%。 展开更多
关键词 电子回旋共振加热 回旋 等离子体加热
在线阅读 下载PDF
电子回旋共振推力器C/C复合材料栅极的力学性能 被引量:9
3
作者 刘文一 杨涓 +1 位作者 毛根旺 李克智 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期692-696,共5页
为了研究电子回旋共振推力器在搭载火箭升空过程中,过载和振动环境对栅极带来的影响,采用有限元分析软件建立了10cmC/C复合材料栅极的有限元分析模型,计算分析了不同C/C复合材料栅极的力学性能、频率响应和振动模态。结果表明:20... 为了研究电子回旋共振推力器在搭载火箭升空过程中,过载和振动环境对栅极带来的影响,采用有限元分析软件建立了10cmC/C复合材料栅极的有限元分析模型,计算分析了不同C/C复合材料栅极的力学性能、频率响应和振动模态。结果表明:20g过载下,栅极的最大变形量为6.12×10^-4mm;在5—800Hz激振下,栅极频率响应的最大位移为2.3×10^-6mm;过载对栅极的影响要大于振动对它的影响,但是这两个值都在安全门限内;综合分析栅极频响和模态分析的计算结果,栅极仅在其第一阶模态处于外界激振发生共振。 展开更多
关键词 电子回旋共振推力器 过载 振动 模态分析
在线阅读 下载PDF
用于质子直线加速器的强流电子回旋共振离子源 被引量:8
4
作者 崔保群 李立强 +2 位作者 包轶文 蒋渭生 王荣文 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 2002年第6期486-489,共4页
研制了一台用于加速器驱动次临界系统 (ADS)的强流电子回旋共振离子源。在 30keV能量下 ,引出的氢离子最大束流达到 1 0 0mA ,质子比好于 85 % ,引出束流密度最高可达 34 0mA/cm2 。初步测定的发射度约为 0 1 1πmm·mrad。已通过... 研制了一台用于加速器驱动次临界系统 (ADS)的强流电子回旋共振离子源。在 30keV能量下 ,引出的氢离子最大束流达到 1 0 0mA ,质子比好于 85 % ,引出束流密度最高可达 34 0mA/cm2 。初步测定的发射度约为 0 1 1πmm·mrad。已通过了 1 0 0h的连续运行考验。 展开更多
关键词 质子直线加速器 电子回旋共振离子源 加速器驱动次临界系统 质子比 发射率
在线阅读 下载PDF
电子回旋共振推力器中和器内磁场与微波电磁场计算分析 被引量:7
5
作者 杨铁链 杨涓 +1 位作者 谭小群 陈勇 《固体火箭技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期404-408,共5页
电子回旋共振推力器具有寿命长、比冲高、结构简单等特点,用于深空探测主推进具有很大的吸引力。中和器是电子回旋共振推力器的关键部件之一,其主要作用为产生电子,中和离子源发射的离子束流,它对保持电子回旋共振推力器的电位平衡有着... 电子回旋共振推力器具有寿命长、比冲高、结构简单等特点,用于深空探测主推进具有很大的吸引力。中和器是电子回旋共振推力器的关键部件之一,其主要作用为产生电子,中和离子源发射的离子束流,它对保持电子回旋共振推力器的电位平衡有着重要作用。文中针对10 cm推力器的中和器,采用ANSYS有限元分析软件建立了磁路模型,计算了中和器内磁场分布,得出了方案中电子回旋共振面的位置。针对中和器的工作特点,设计了多种天线方案,利用ANSYS软件计算了其对应的电磁场分布。计算结果表明,设计磁场提供的电子回旋共振面位置合理,L型天线方案可实现放电击穿,产生等离子体。计算结果对电子回旋共振推力器的中和器设计与研制提供了帮助。 展开更多
关键词 电子回旋共振推力器 中和器 静磁场 高频电磁场
在线阅读 下载PDF
电子回旋共振等离子体辅助脉冲式沉积氧化铝薄膜的研究 被引量:7
6
作者 桑利军 张跃飞 +1 位作者 陈强 李兴存 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期293-296,共4页
采用自行设计和加工的微波电子回旋共振装置、进气系统和工艺程序,以三甲基铝为前躯体,氧气为氧化剂,HF处理过的单晶硅片为基片,在无任何外加热条件下进行原子层沉积氧化铝薄膜的实验研究。利用X射线衍射、X射线光电子能谱、扫描电子显... 采用自行设计和加工的微波电子回旋共振装置、进气系统和工艺程序,以三甲基铝为前躯体,氧气为氧化剂,HF处理过的单晶硅片为基片,在无任何外加热条件下进行原子层沉积氧化铝薄膜的实验研究。利用X射线衍射、X射线光电子能谱、扫描电子显微镜、原子力显微镜、高分辨率透射电子显微镜等分析手段对薄膜进行了化学成分和微观结构的表征。结果表明,制备的氧化铝薄膜为非晶态结构,薄膜的表面非常光滑平整。薄膜的截面微观结构图像显示,薄膜厚度大约为80nm,界面清晰、按照周期数和层数线形生长规律进行生长。 展开更多
关键词 电子回旋共振 原子层沉积 三甲基铝 氧化铝
在线阅读 下载PDF
电子回旋共振离子推力器栅极光学系统的PIC/MCC模拟 被引量:7
7
作者 陈茂林 毛根旺 +2 位作者 夏广庆 杨涓 孙安邦 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期150-154,共5页
为了寻求日益昂贵的电推力器工质氙气的替代品,探讨氩气作为电子回旋共振离子推力器工质的适用性,采用混合PIC方法模拟了氩等离子体在栅极光学系统中输运过程,分析了氩离子束流的聚焦效果、氩等离子体的空间分布和流动特性。结果表明:... 为了寻求日益昂贵的电推力器工质氙气的替代品,探讨氩气作为电子回旋共振离子推力器工质的适用性,采用混合PIC方法模拟了氩等离子体在栅极光学系统中输运过程,分析了氩离子束流的聚焦效果、氩等离子体的空间分布和流动特性。结果表明:氩离子束流在已有栅极系统中具有良好的聚焦效果;束流中CEX离子仅占离子总数的万分之一,影响较小;氩气作为工质时,离子喷射速度为75km/s,加速栅极后回流速度为38km/s,与电动力学理论预估值一致。 展开更多
关键词 电子回旋共振离子推力器 栅极光学系统 PIC
在线阅读 下载PDF
电子回旋共振离子推力器放电室低信号调试 被引量:6
8
作者 孟志强 杨涓 +1 位作者 许映乔 李鹏飞 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期421-424,共4页
微波输入技术是电子回旋共振离子推力器的关键技术之一,输入微波在推力器放电室内产生谐振的时候,微波功率才能高效地被吸收,从而电离气体,提高电子的能量,增加等离子体的电离度。电子回旋共振离子推力器放电室是一个不规则的微波谐振腔... 微波输入技术是电子回旋共振离子推力器的关键技术之一,输入微波在推力器放电室内产生谐振的时候,微波功率才能高效地被吸收,从而电离气体,提高电子的能量,增加等离子体的电离度。电子回旋共振离子推力器放电室是一个不规则的微波谐振腔,很难从理论上确定其谐振状态下的结构。本文利用网络分析仪,采用微波无源器件回波损耗的测试方法对放电室进行精确调谐,分析微波谐振频率及带宽,目的在于详细研究放电室的结构尺寸、微波耦合探针形状和尺寸在谐振状态下的匹配性。调试结果表明放电室增加14 mm圆柱段,选择圆柱段长度22 mm和球形直径9 mm的组合探针,可以得到较好的谐振状态,此时腔体的回波损耗为-23 dB,谐振频率4.195 GHz,谐振带宽为0.025 0 GHz,品质因素为167.848。 展开更多
关键词 电子回旋共振离子推力器 微波 谐振 信号调试
在线阅读 下载PDF
电子回旋共振离子推力器放电室等离子体静电探针诊断 被引量:8
9
作者 杨涓 王阳 +1 位作者 孟志强 李鹏飞 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2013年第2期203-208,共6页
电子回旋共振离子推力器是一种无阴极静电型推进装置,具有比冲高、无电极烧蚀和寿命长的优点,可用于深空探测和长寿命卫星。在其放电室内存在着复杂的、紧密耦合在一起含电子回旋共振区的静磁场、微波电磁场和等离子体流场,弄清放电室... 电子回旋共振离子推力器是一种无阴极静电型推进装置,具有比冲高、无电极烧蚀和寿命长的优点,可用于深空探测和长寿命卫星。在其放电室内存在着复杂的、紧密耦合在一起含电子回旋共振区的静磁场、微波电磁场和等离子体流场,弄清放电室内复杂的场结构对于推力器的结构和性能优化有着重要的作用。为此认为放电室中的离子未被磁化,采用朗缪尔探针直接诊断放电室内的电子温度和离子密度,再根据等离子体的准中性原则,认为离子密度就反映了电子密度。根据诊断结果可以分析出放电室内的氩等离子体场结构。气体流量分别为3 sccm和8 sccm、微波功率分别为10 W和34 W时,实验诊断得到电子温度分布在1 eV~6.8 eV范围内、离子密度分布在2×1016/m3~2.8×1017/m3范围内。 展开更多
关键词 电推进 郎缪尔探针诊断 电子回旋共振
在线阅读 下载PDF
电子回旋共振微波等离子体技术及应用 被引量:8
10
作者 张继成 唐永建 吴卫东 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期566-570,共5页
电子回旋共振微波等离子体技术 (ECR- MP)在表面处理、等离子体刻蚀和薄膜制备 ,尤其是高品质的激光惯性约束聚变薄膜靶的制备中有着重要的应用。综述了 ECR- MP的基本原理、反应装置、实验研究、理论研究和应用情况的发展现状 ,同时分... 电子回旋共振微波等离子体技术 (ECR- MP)在表面处理、等离子体刻蚀和薄膜制备 ,尤其是高品质的激光惯性约束聚变薄膜靶的制备中有着重要的应用。综述了 ECR- MP的基本原理、反应装置、实验研究、理论研究和应用情况的发展现状 ,同时分析了其今后可能的发展趋势。 展开更多
关键词 电子回旋共振 微波等离子体 反应装置 应用现状 发展展望 刻蚀 激光惯性约束聚变菌膜靶
在线阅读 下载PDF
HL-2A装置1MW电子回旋共振加热传输系统研制 被引量:4
11
作者 周俊 陈罡宇 +4 位作者 张劲松 饶军 宋绍栋 黄梅 刘永 《核聚变与等离子体物理》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期277-279,共3页
HL-2A装置1MW/68GHz/1s电子回旋共振加热传输系统有两条传输线,每条传输线包括波纹波导、换向波导和直流隔离器。HE11模式微波在波导中传输,微波损失小且模式纯度高。用激光校准及用热敏纸测量短脉冲微波模式分布的手段确保传输线的准... HL-2A装置1MW/68GHz/1s电子回旋共振加热传输系统有两条传输线,每条传输线包括波纹波导、换向波导和直流隔离器。HE11模式微波在波导中传输,微波损失小且模式纯度高。用激光校准及用热敏纸测量短脉冲微波模式分布的手段确保传输线的准直性。传输线的倾斜角度小于0.0054rad。 展开更多
关键词 HL-2A装置 电子回旋共振加热 传输系统 波纹波导
在线阅读 下载PDF
电子回旋共振推力器放电室内磁场与微波电磁场分析 被引量:4
12
作者 杨铁链 杨涓 +1 位作者 毛根旺 夏广庆 《中国空间科学技术》 EI CSCD 北大核心 2009年第2期46-52,共7页
电子回旋共振推力器具有寿命长、比冲高、结构简单等特点,适宜用作深空探测器主推进装置。放电室是电子回旋共振推力器的关键部件,其作用是产生电子回旋共振等离子体。放电室内的磁场和微波电磁场分布对于推力器的可靠启动、稳定工作有... 电子回旋共振推力器具有寿命长、比冲高、结构简单等特点,适宜用作深空探测器主推进装置。放电室是电子回旋共振推力器的关键部件,其作用是产生电子回旋共振等离子体。放电室内的磁场和微波电磁场分布对于推力器的可靠启动、稳定工作有着重要的影响。为此针对10cm推力器,采用大型有限元分析软件ANSYS建立了三种磁路模型,计算了放电室内的磁场分布,得出三种方案中电子回旋共振面的位置,分析放电室材料不同时磁场分布的变化;最后采用ANSYS有限元分析软件计算了放电室内的电磁场分布。结果表明,在电子回旋共振面上微波能量满足放电所需能量。计算结果可以为电子回旋共振推力器放电室的设计提供帮助。 展开更多
关键词 电子回旋共振推力器 静磁场 微波电磁场 比冲 有限元分析 深空探测器
在线阅读 下载PDF
永磁电子回旋共振等离子体化学气相沉积系统 被引量:5
13
作者 吴振宇 刘毅 +1 位作者 汪家友 杨银堂 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期317-320,共4页
研制了一台永磁ECR等离子体化学气相沉积系统。通过同轴开口电介质空腔产生表面波 ,利用高磁能积Nd Fe B磁钢块的合理分布形成高强磁场 ,通过共振磁场区域内的电子回旋共振效应产生大面积均匀的高密度等离子体。进行了ECR等离子体化学... 研制了一台永磁ECR等离子体化学气相沉积系统。通过同轴开口电介质空腔产生表面波 ,利用高磁能积Nd Fe B磁钢块的合理分布形成高强磁场 ,通过共振磁场区域内的电子回旋共振效应产生大面积均匀的高密度等离子体。进行了ECR等离子体化学气相沉积氧化硅和氮化硅薄膜工艺的研究。6英寸片内膜厚均匀性优于 95 % ,沉积速率高于 10 0nm/min ,FTIR光谱分析表明薄膜中H含量很低。 展开更多
关键词 电子回旋共振 等离子体化学气相沉积 膜厚均匀性 同轴 表面波 ECR 氮化硅薄膜 高密度等离子体 FTIR光谱 强磁场
在线阅读 下载PDF
HL-2M装置电子回旋共振加热及电流驱动系统设计与研制进展 被引量:3
14
作者 黄梅 王贺 +7 位作者 张峰 陈罡宇 梁军 王洁琼 叶际若 饶军 宋绍栋 等离子体波加热团队 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2021年第S02期495-499,共5页
根据HL-2M装置物理实验加热的需求,完成了总功率为8MW的电子回旋共振加热及电流驱动(ECRH/ECCD)系统设计,开展了波源、传输及天线等关键部件研制。8MWECRH/ECCD系统,由8套105GHz/1MW/3s波源系统、8条内径为63.5mm的真空传输线及三套极... 根据HL-2M装置物理实验加热的需求,完成了总功率为8MW的电子回旋共振加热及电流驱动(ECRH/ECCD)系统设计,开展了波源、传输及天线等关键部件研制。8MWECRH/ECCD系统,由8套105GHz/1MW/3s波源系统、8条内径为63.5mm的真空传输线及三套极向实时可控的发射天线构成。目前,已完成ECRH/ECCD系统关键部件研制及其相关的桌面与高功率性能测试。测试结果表明,微波源回旋管输出微波功率达到;MW/3s,在真空度为10-2Pa的过模波纹圆波导传输线中能低耗稳定传输,发射天线极向全量程角度转动响应时间在50ms以内。 展开更多
关键词 HL-2M装置 电子回旋共振加热及电流驱动 回旋 传输线 天线
在线阅读 下载PDF
电子回旋共振中和器内静磁场及微波电磁场的数值计算 被引量:14
15
作者 梁雪 杨涓 王雲民 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第2期276-281,共6页
为了研究电子回旋共振中和器内静磁场和微波电磁场的分布规律,设计合理的磁路结构以形成电子回旋共振区,并使微波强电场区与电子回旋共振区重合,采用有限元分析软件对中和器内的静磁场和微波电磁场进行了数值计算。计算结果表明:永磁体... 为了研究电子回旋共振中和器内静磁场和微波电磁场的分布规律,设计合理的磁路结构以形成电子回旋共振区,并使微波强电场区与电子回旋共振区重合,采用有限元分析软件对中和器内的静磁场和微波电磁场进行了数值计算。计算结果表明:永磁体及磁轭的尺寸均影响电子回旋共振区的分布;天线伸入长度越长,微波电场越强。微波频率为4.2GHz时,六块相同的长12mm,宽8mm,高5mm的条形永磁铁与磁轭组成的磁路结构,可以产生合理的电子回旋共振区。L型天线伸入长度为5mm时微波强电场区可与电子回旋共振区重合。 展开更多
关键词 电子回旋共振 中和器 静磁场 电磁场
在线阅读 下载PDF
电子回旋共振等离子体源的朗谬尔探针诊断 被引量:5
16
作者 吴振宇 汪家友 杨银堂 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期71-73,共3页
电子回旋共振 (ECR)等离子体以其密度高、工作气压低、均匀性好、参数易于控制等优点在超大规模集成电路工艺中获得了广泛的应用。利用朗谬尔探针对ECR等离子体进行了初步的诊断研究 ,测量了等离子体的单探针伏安特性并计算出电子温度 ... 电子回旋共振 (ECR)等离子体以其密度高、工作气压低、均匀性好、参数易于控制等优点在超大规模集成电路工艺中获得了广泛的应用。利用朗谬尔探针对ECR等离子体进行了初步的诊断研究 ,测量了等离子体的单探针伏安特性并计算出电子温度 ,电子密度和等离子体电势等参量。实验证明 ,ECR等离子体源能够稳定地产生电子温度较低的高密度等离子体。 展开更多
关键词 电子回旋共振等离子体源 ECR 朗谬尔探针 等离子体诊断 饱和电流
在线阅读 下载PDF
电子回旋共振微波等离子体刻蚀α:CH薄膜的工艺 被引量:3
17
作者 陆晓曼 张继成 +4 位作者 吴卫东 朱永红 郭强 唐永建 孙卫国 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期683-686,共4页
为了刻蚀出图形完整、侧壁陡直、失真度小的α:CH薄膜微器件,研究了有铝和无铝掩膜、气体流量比、工作气压对刻蚀速率的影响,并对纯氧等离子体刻蚀稳定性进行了研究。研究结果表明:在相同条件下,刻蚀速率随刻蚀时间变化不大;α:CH薄膜... 为了刻蚀出图形完整、侧壁陡直、失真度小的α:CH薄膜微器件,研究了有铝和无铝掩膜、气体流量比、工作气压对刻蚀速率的影响,并对纯氧等离子体刻蚀稳定性进行了研究。研究结果表明:在相同条件下,刻蚀速率随刻蚀时间变化不大;α:CH薄膜上有铝和无铝掩膜时,刻蚀速率相同;流量一定时,刻蚀速率随氩气和氧气体积比的增大而降低,当用纯氩气时,几乎没刻蚀作用;刻蚀速率随工作气压的增大而降低。实验中,得到最佳刻蚀条件是:纯氧气,流量4 mL.s-1,工作气压9.9×10-2Pa,微波源电流80 mA,偏压-90 V。 展开更多
关键词 离子刻蚀 电子回旋共振微波等离子体 α:CH薄膜 微齿轮
在线阅读 下载PDF
电子回旋共振离子推力器研究与应用综述 被引量:3
18
作者 杨涓 牟浩 +1 位作者 耿海 吴先明 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第6期68-81,共14页
电子回旋共振离子推力器(ECRIT)以电子的无碰撞加热机制产生等离子体,具有推力范围宽、下限低、可精确控制的特点。本文从原理和工作过程出发,分析了ECRIT对当今空间飞行任务的适用性。围绕这些适用范围,综述了当前原理可行的10cm低推力... 电子回旋共振离子推力器(ECRIT)以电子的无碰撞加热机制产生等离子体,具有推力范围宽、下限低、可精确控制的特点。本文从原理和工作过程出发,分析了ECRIT对当今空间飞行任务的适用性。围绕这些适用范围,综述了当前原理可行的10cm低推力、2cm微推力ECRIT在不同工质驱动下的研究和应用现状,总结了这些推力器性能的重要特征,分析了制约推力器进一步发展的关键问题。结果表明,ECRIT因为独特的原理和物理过程以及成功的飞行实例,被证明适用于当今深空与近地小行星及引力波探测、微小卫星控制以及地球极低轨道飞行器的阻力补偿。 展开更多
关键词 电子回旋共振离子推力器 应用分析 束流引出 PIC模拟 吸气式电推进系统 综述
在线阅读 下载PDF
用于磁约束核聚变电子回旋共振加热系统的兆瓦级回旋管 被引量:4
19
作者 冯进军 张亦弛 +1 位作者 刘本田 曾旭 《微波学报》 CSCD 北大核心 2020年第1期54-61,共8页
磁约束核聚变能是目前人类认识到可以根本解决人类能源问题的重要途径之一。电子回旋共振加热(ECRH)和电流驱动(ECCD)是核聚变装置等离子体温度达到约1亿度稳定聚变条件的主要加热方式。而回旋管是ECRH系统高功率微波源的核心器件。本... 磁约束核聚变能是目前人类认识到可以根本解决人类能源问题的重要途径之一。电子回旋共振加热(ECRH)和电流驱动(ECCD)是核聚变装置等离子体温度达到约1亿度稳定聚变条件的主要加热方式。而回旋管是ECRH系统高功率微波源的核心器件。本文针对磁约束核聚变能ECRH系统所需的高功率微波源介绍了国内外兆瓦级回旋管的技术发展、研究现状和发展趋势,并探讨了回旋管的未来研究方向。 展开更多
关键词 回旋 高功率 电子回旋共振加热 磁约束核聚变能
在线阅读 下载PDF
非对称磁镜场电子回旋共振氧等离子体刻蚀化学气相沉积金刚石膜 被引量:2
20
作者 谭必松 马志斌 +1 位作者 沈武林 吴振辉 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期1887-1890,共4页
分别应用郎缪尔双探针和离子灵敏探针对非对称磁镜场电子回旋共振氧等离子体的电子参数、空间分布和离子参数进行了测量,分析了气压对等离子体参数及空间分布的影响。利用该等离子体在优化的气压条件下对化学气相沉积金刚石膜进行了刻蚀... 分别应用郎缪尔双探针和离子灵敏探针对非对称磁镜场电子回旋共振氧等离子体的电子参数、空间分布和离子参数进行了测量,分析了气压对等离子体参数及空间分布的影响。利用该等离子体在优化的气压条件下对化学气相沉积金刚石膜进行了刻蚀,并研究了刻蚀机理。结果表明:电子温度为5~10 eV,离子温度为1 eV左右,而等离子体数密度在1010cm-3数量级。随气压的升高,电子和离子温度降低,而电子数密度先增大后减小。在低气压下等离子体数密度空间分布更均匀,优化的刻蚀气压为0.1 Pa。刻蚀过程中,离子的回旋运动特性得到了加强,有利于平行于金刚石膜表面的刻蚀,有效地保护了金刚石膜的晶界和缺陷。 展开更多
关键词 非对称磁镜场 电子回旋共振 氧等离子体 刻蚀 化学气相沉积
在线阅读 下载PDF
上一页 1 2 8 下一页 到第
使用帮助 返回顶部