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SOI微型电场传感器的设计与测试
被引量：
21
1
作者
杨鹏飞
彭春荣
+2 位作者
张海岩
刘世国
夏善红
《电子与信息学报》
EI
CSCD
北大核心
2011年第11期2771-2774,共4页
该文研制了一种新型的基于SOI(Silicon-On-Insulator)微机械加工技术的高性能电场传感器敏感结构。为提高传感器的灵敏度和信噪比,该器件采用侧面屏蔽感应电极的独特设计方案,降低了传感器屏蔽电极的边缘效应;并基于有限元仿真,进一步...
该文研制了一种新型的基于SOI(Silicon-On-Insulator)微机械加工技术的高性能电场传感器敏感结构。为提高传感器的灵敏度和信噪比,该器件采用侧面屏蔽感应电极的独特设计方案,降低了传感器屏蔽电极的边缘效应;并基于有限元仿真,进一步优化了传感器敏感结构参数。在室温和室内大气压条件下,测试表明,测试量程0～50kV/m,传感器总不确定度优于2%,分辨率为50 V/m。
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关键词
电场微传感器
微
机电系统(MEMS)
绝缘体上硅(SOI)
分辨率
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职称材料
题名
SOI微型电场传感器的设计与测试
被引量：
21
1
作者
杨鹏飞
彭春荣
张海岩
刘世国
夏善红
机构
中国科学院电子学研究所传感器技术国家重点实验室
中国科学院研究生院
出处
《电子与信息学报》
EI
CSCD
北大核心
2011年第11期2771-2774,共4页
基金
国家863计划项目(2011AA040405)资助课题
文摘
该文研制了一种新型的基于SOI(Silicon-On-Insulator)微机械加工技术的高性能电场传感器敏感结构。为提高传感器的灵敏度和信噪比,该器件采用侧面屏蔽感应电极的独特设计方案,降低了传感器屏蔽电极的边缘效应;并基于有限元仿真,进一步优化了传感器敏感结构参数。在室温和室内大气压条件下,测试表明,测试量程0～50kV/m,传感器总不确定度优于2%,分辨率为50 V/m。
关键词
电场微传感器
微
机电系统(MEMS)
绝缘体上硅(SOI)
分辨率
Keywords
Electric field microsensor
Micro-Electro-Mechanical Systems（MEMS）
Silicon-On-Insulator（SOI）
Resolution
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
SOI微型电场传感器的设计与测试
杨鹏飞
彭春荣
张海岩
刘世国
夏善红
《电子与信息学报》
EI
CSCD
北大核心
2011
21
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