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电场增强金属Al和Ni诱导非晶硅横向结晶被引量：4: 1; 作者王光伟张建民《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期325-330,共6页; 本文分析了Al和Ni在外加电场作用下诱导非晶硅(a-Si)薄膜横向结晶的特点和机理。对影响非晶硅结晶的诸多因素,如场强、金属种类和退火条件进行了研究。简要概述了金属诱导横向结晶(MILC)相对于其它一些结晶工艺的优势及其在薄膜晶体管(T... 展开更多; 关键词金属诱导横向结晶电场增强横向诱导结晶扩散固相反应晶粒生长; 在线阅读下载PDF 职称材料

外加电场对金属诱导非晶硅横向结晶的影响被引量：1: 2; 作者王光伟《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期107-112,共6页; 综述了Al和Ni在外加直流电场以及Cu在交流电场作用下诱导非晶硅(a-Si)薄膜横向结晶的特点和机理。研究了外加电场对金属诱导a-Si薄膜横向结晶的诸多影响因素,如场强及分布等。结果表明,相对于无电场时,适当强度的电场可显著加快金属诱... 展开更多; 关键词金属诱导横向结晶电场增强金属诱导横向结晶扩散固相反应晶粒生长交流电场; 在线阅读下载PDF 职称材料

金属诱导a-Si横向结晶速率与外电场的关系: 3; 作者王光伟姚素英 +1 位作者王雅欣刘颖《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第15期18-21,共4页; 分析了外加直流电场对Al和Ni诱导非晶硅(a-Si)薄膜横向结晶速率的影响,指出,在热处理条件下,Al和Ni能加快诱导a-Si薄膜横向结晶的速率;适当强度的外加电场能明显加快金属诱导a-Si横向结晶速率;Al和Ni诱导a-Si结晶速率的增大主要是电场... 展开更多; 关键词电场增强横向诱导结晶扩散电迁移晶粒长大; 在线阅读下载PDF 职称材料

电场增强金属诱导侧向晶化制备多晶硅薄膜和薄膜晶体管被引量：1: 4; 作者曾祥斌孙小卫 +1 位作者李俊峰齐国钧《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期1172-1175,1179,共5页; 采用电场增强金属诱导侧向晶化方法获得了结晶良好的多晶硅薄膜,拉曼光谱分析表明侧向扩散区域结晶效果最好,X射线衍射分析表明加电场于两电极之间有促进晶化的作用,可以得到结晶良好的多晶硅薄膜.采用该工艺制备了p沟道薄膜晶体管器件... 展开更多; 关键词电场增强晶化多晶硅薄膜金属诱导晶化薄膜晶体管; 在线阅读下载PDF 职称材料

非晶硅和非晶硅锗薄膜的金属诱导结晶被引量：1: 5; 作者王光伟张建民 +1 位作者倪晓昌李莉《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期356-366,共11页; 分析了金属Ni、Al诱导非晶Si及非晶SiGe薄膜结晶的条件、特点和机理。简要介绍了金属诱导结晶相对于其它一些结晶工艺的优势及其在薄膜晶体管中的应用。概述了影响诱导结晶速率和薄膜微结构的诸多因素,如热处理条件和外加电场等。对电... 展开更多; 关键词金属诱导结晶金属诱导横向结晶固相反应扩散电场增强横向诱导结晶成核激活能晶粒生长; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电场增强金属Al和Ni诱导非晶硅横向结晶被引量：4: 1; 作者王光伟张建民; 机构天津工程师范大学电子工程系; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期325-330,共6页; 基金天津市高校科技发展基金项目(No.20060605); 文摘本文分析了Al和Ni在外加电场作用下诱导非晶硅(a-Si)薄膜横向结晶的特点和机理。对影响非晶硅结晶的诸多因素,如场强、金属种类和退火条件进行了研究。简要概述了金属诱导横向结晶(MILC)相对于其它一些结晶工艺的优势及其在薄膜晶体管(TFT)中的应用。指出适当强度的电场可显著加快横向诱导结晶的速率,但场强超过一临界值后,则降低该速率,并基于电迁移效应较合理地解释了该现象。; 关键词金属诱导横向结晶电场增强横向诱导结晶扩散固相反应晶粒生长; Keywords Metal-induced lateral crystallization, Electric field aided lateral crystallization, Diffusion, Solid phase reaction, Grain coarsening; 分类号 TN304.8 [电子电信—物理电子学] TN304.055 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名外加电场对金属诱导非晶硅横向结晶的影响被引量：1: 2; 作者王光伟; 机构天津工程师范大学电子工程系; 出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期107-112,共6页; 基金天津市高校科技发展基金项目(20060605); 文摘综述了Al和Ni在外加直流电场以及Cu在交流电场作用下诱导非晶硅(a-Si)薄膜横向结晶的特点和机理。研究了外加电场对金属诱导a-Si薄膜横向结晶的诸多影响因素,如场强及分布等。结果表明,相对于无电场时,适当强度的电场可显著加快金属诱导横向结晶的速率,场强超过某一临界值则降低该速率,并基于电迁移效应作了较好的解释。对Cu诱导a-Si薄膜横向结晶,在同样条件下,直交流混合电场比单纯的直流电场能引发更高的结晶速率。; 关键词金属诱导横向结晶电场增强金属诱导横向结晶扩散固相反应晶粒生长交流电场; Keywords metal-induced lateral crystallization （MILC） electric field aided lateral crystallization （FALC） diffusion solid phase reaction grain coarsening alternating electric field; 分类号 TN304.055 [电子电信—物理电子学] TN304.8 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名金属诱导a-Si横向结晶速率与外电场的关系: 3; 作者王光伟姚素英王雅欣刘颖; 机构天津大学电信学院天津工程师范大学电子工程学院; 出处《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第15期18-21,共4页; 文摘分析了外加直流电场对Al和Ni诱导非晶硅(a-Si)薄膜横向结晶速率的影响,指出,在热处理条件下,Al和Ni能加快诱导a-Si薄膜横向结晶的速率;适当强度的外加电场能明显加快金属诱导a-Si横向结晶速率;Al和Ni诱导a-Si结晶速率的增大主要是电场提高了扩散物的迁移率。但场强超过某临界值后该速率降低。基于电迁移效应,对此结果作了较合理的解释。结合文献,提出一经验公式,并用MATLAB模拟了外电场中Al和Ni诱导a-Si薄膜横向结晶速率曲线。; 关键词电场增强横向诱导结晶扩散电迁移晶粒长大; Keywords electric field aided lateral crystallization, diffusion, electromigration effect, grain coarsening; 分类号 TN304.055 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电场增强金属诱导侧向晶化制备多晶硅薄膜和薄膜晶体管被引量：1: 4; 作者曾祥斌孙小卫李俊峰齐国钧; 机构华中科技大学; 出处《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期1172-1175,1179,共5页; 文摘采用电场增强金属诱导侧向晶化方法获得了结晶良好的多晶硅薄膜,拉曼光谱分析表明侧向扩散区域结晶效果最好,X射线衍射分析表明加电场于两电极之间有促进晶化的作用,可以得到结晶良好的多晶硅薄膜.采用该工艺制备了p沟道薄膜晶体管器件,其迁移率为65cm2/V·s,开关态电流比为5×106.; 关键词电场增强晶化多晶硅薄膜金属诱导晶化薄膜晶体管; 分类号 TN321.5 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名非晶硅和非晶硅锗薄膜的金属诱导结晶被引量：1: 5; 作者王光伟张建民倪晓昌李莉; 机构天津工程师范大学电子工程系; 出处《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期356-366,共11页; 基金天津市高校科技发展基金项目(No.20060605); 文摘分析了金属Ni、Al诱导非晶Si及非晶SiGe薄膜结晶的条件、特点和机理。简要介绍了金属诱导结晶相对于其它一些结晶工艺的优势及其在薄膜晶体管中的应用。概述了影响诱导结晶速率和薄膜微结构的诸多因素,如热处理条件和外加电场等。对电场增强金属诱导横向结晶的相关问题进行了探讨,指出适当强度的电场可显著加快横向诱导结晶的速率,但更强电场则会降低该速率,基于电迁移效应对该现象进行了解释。; 关键词金属诱导结晶金属诱导横向结晶固相反应扩散电场增强横向诱导结晶成核激活能晶粒生长; Keywords metal-induced crystallization metal-induced lateral crystallization solid phase reaction diffusion electric field aided lateral crystallization nucleation activation energy grain coarsening; 分类号 TN304.055 [电子电信—物理电子学] TN304.8 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	电场增强金属Al和Ni诱导非晶硅横向结晶	王光伟张建民	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2008	4	在线阅读下载PDF 职称材料
2	外加电场对金属诱导非晶硅横向结晶的影响	王光伟	《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心	2009	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	金属诱导a-Si横向结晶速率与外电场的关系	王光伟姚素英王雅欣刘颖	《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心	2010	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	电场增强金属诱导侧向晶化制备多晶硅薄膜和薄膜晶体管	曾祥斌孙小卫李俊峰齐国钧	《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心	2004	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	非晶硅和非晶硅锗薄膜的金属诱导结晶	王光伟张建民倪晓昌李莉	《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心	2009	1	在线阅读下载PDF 职称材料