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电化学C-V法对载流子浓度纵向分布的精确测量
1
作者
李若凡
武一宾
+3 位作者
杨瑞霞
马永强
商耀辉
牛晨亮
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第9期809-811,共3页
电化学C-V法是当前测量化合物半导体载流子浓度纵向分布的非常重要的方法。用电化学C-V测试仪对外高内低、有较大浓度梯度的外延样品进行载流子浓度纵向分布测量时发现,内层低载流子浓度区域测试结果误差较大,主要是由测试系统引起的,...
电化学C-V法是当前测量化合物半导体载流子浓度纵向分布的非常重要的方法。用电化学C-V测试仪对外高内低、有较大浓度梯度的外延样品进行载流子浓度纵向分布测量时发现,内层低载流子浓度区域测试结果误差较大,主要是由测试系统引起的,由此提出了一种对结果的修正算法。通过对MBE制作专用样品测量证实,用该方法可得到数据准确可靠的测试结果。
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关键词
电化学-cv法
载流子浓度
误差分析
修正算
法
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职称材料
题名
电化学C-V法对载流子浓度纵向分布的精确测量
1
作者
李若凡
武一宾
杨瑞霞
马永强
商耀辉
牛晨亮
机构
河北工业大学
中国电子科技集团公司第十三研究所
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第9期809-811,共3页
基金
装备预研基金项目(9140A12030506DZ23)
国防基础科研项目(D1120060468)
文摘
电化学C-V法是当前测量化合物半导体载流子浓度纵向分布的非常重要的方法。用电化学C-V测试仪对外高内低、有较大浓度梯度的外延样品进行载流子浓度纵向分布测量时发现,内层低载流子浓度区域测试结果误差较大,主要是由测试系统引起的,由此提出了一种对结果的修正算法。通过对MBE制作专用样品测量证实,用该方法可得到数据准确可靠的测试结果。
关键词
电化学-cv法
载流子浓度
误差分析
修正算
法
Keywords
ECV
concentration of carrier
error analysis
modified algorithm
分类号
TN304.07 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电化学C-V法对载流子浓度纵向分布的精确测量
李若凡
武一宾
杨瑞霞
马永强
商耀辉
牛晨亮
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2007
0
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