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题名用于血样前处理的BioMEMS微流控芯片
被引量：4
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作者
陈兴
崔大付
刘长春
李辉
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机构
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第05B期1991-1995,共5页
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基金
自然科学基金项目资助(60427001和60501020)
中国科学院"优秀博士学位论文
院长奖获得者"专项启动资金
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文摘
基于BioMEMS技术,研制成三种血液样品前处理微流控芯片,分别介绍了血样前处理微流控芯片的原理、结构、制备技术以及样品前处理效果.基于错流过滤原理,设计了用于血细胞分离的错流过滤微结构,采用深刻蚀技术在硅片上刻蚀出直径为20μm,高度为50μm的圆柱阵列;基于化学法破裂细胞,设计了用于血细胞破裂的夹流式微沟道,采用湿法腐蚀技术在硅片上腐蚀出深度约为80μm的微沟道;基于固相萃取原理,设计了用于DNA提纯的介孔固相载体,采用电化学阳极腐蚀技术在硅微沟道内表面制得表面积为300m2/g的介孔层.分别在芯片上实现了血细胞的分离、血细胞的破裂以及DNA的提纯.
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关键词
BIOMEMS
样品前处理
微流控芯片
深刻蚀技术
电化学阳极腐蚀技术
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Keywords
BioMEMS
sample pretreatment
microfluidic chip
deep reaction ion etching technology
electrochemical etching technology
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分类号
TP212.2
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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