电化学微细加工监控系统的研究 被引量：5

1

作者 徐惠宇 朱荻 史先传 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2005年第7期7-9,共3页

在虚拟仪器软件平台上研制了电化学微细加工监控系统,系统采用霍尔电流传感器采集加工电流,并实时准确显示过程数据曲线,根据电流突变快速响应,系统的定位精度和重复定位精度均小于5μm。和传统电化学加工控制系统相比,具有硬件简单、... 在虚拟仪器软件平台上研制了电化学微细加工监控系统,系统采用霍尔电流传感器采集加工电流,并实时准确显示过程数据曲线,根据电流突变快速响应,系统的定位精度和重复定位精度均小于5μm。和传统电化学加工控制系统相比,具有硬件简单、灵活性好、性价比高、稳定可靠等特点。 展开更多

关键词 电化学微细加工 霍尔电流传感器 定位精度

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气压约束流场的微细电化学加工技术研究

2

作者 陶湛 李国栋 +2 位作者 王鹏举 陈彦秋 刘禹 《电加工与模具》 北大核心 2025年第3期33-36,共4页

为提高微细电化学加工的精度并减少加工中的杂散腐蚀,提出了一种基于气压约束加工间隙流场的新方法,通过调控气压可以精准约束间隙流场,实现高精度微细电化学加工。结果表明,该方法在不同喷嘴尺寸、不同类型电解液下,可对黄铜和304不锈... 为提高微细电化学加工的精度并减少加工中的杂散腐蚀,提出了一种基于气压约束加工间隙流场的新方法,通过调控气压可以精准约束间隙流场,实现高精度微细电化学加工。结果表明,该方法在不同喷嘴尺寸、不同类型电解液下,可对黄铜和304不锈钢实现较高的形状精度,有效约束杂散腐蚀,具有较好的适用性。 展开更多

关键词 微细电化学加工 杂散腐蚀 流场约束 气压控制

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用电化学方法进行纳米级微细加工的初探 被引量：2

3

作者 郭永丰 李旦 +1 位作者 赵家齐 姜兆华 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期403-406,共4页

本文利用电化学中的电解过程是以原子为单位进行阳极溶解的原理，进行了纳米级微细加工的研究。分析了用电化学方法进行原子级加工的可能性和条件，分别用酸、碱、盐等多种电，解液进行了微细加工试验。

关键词 电化学微细加工 用电化学方法 电解液 纳米级 电化学电解 阳极溶解 电流密度 电解加工 阳极极化曲线 金相组织

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阴极高速旋转对微细电化学钻孔加工精度的影响 被引量：4

4

作者 黄绍服 曾永彬 +2 位作者 朱荻 王维 刘勇 《重庆大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期34-39,46,共7页

微小孔在航空航天领域有广泛应用,而微细电化学加工是一种比较理想的微小孔方法。对工具阴极高速旋转条件下,工具阴极表面形成具有一定绝缘效果气泡层的现象进行了研究。分析了工具阴极旋转速度对微小孔电化学加工时半径过切值和杂散腐... 微小孔在航空航天领域有广泛应用,而微细电化学加工是一种比较理想的微小孔方法。对工具阴极高速旋转条件下,工具阴极表面形成具有一定绝缘效果气泡层的现象进行了研究。分析了工具阴极旋转速度对微小孔电化学加工时半径过切值和杂散腐蚀的影响。结果表明,采用高旋转速度有利于减小微小孔电化学加工时半径过切值、表面粗糙度值和杂散腐蚀,对微小孔的加工精度提高起到了重要作用。 展开更多

关键词 微细电化学加工 工具阴极 气泡层 高速旋转

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微细电化学加工纳秒脉冲电源的研制 被引量：3

5

作者 张建华 葛红宇 +1 位作者 李宏胜 方力 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2011年第10期37-40,共4页

根据微细电化学加工的工艺特点,采用CPLD器件EPM7160与8位单片机STC12C5A60S2,设计了微细电化学加工纳秒脉冲电源。脉冲参数设置通过专用键盘或RS232实现,参数显示采用国显电子的12864液晶模块实现,人机界面友好。通过RS232,电源可以接... 根据微细电化学加工的工艺特点,采用CPLD器件EPM7160与8位单片机STC12C5A60S2,设计了微细电化学加工纳秒脉冲电源。脉冲参数设置通过专用键盘或RS232实现,参数显示采用国显电子的12864液晶模块实现,人机界面友好。通过RS232,电源可以接受主控计算机的实时参数调整。测试表明,脉宽、脉间等脉冲参数可调,且调节方便,通用性强。输出脉宽、脉间可以调至20ns以下,适于微细电化学加工。 展开更多

关键词 微细电化学加工 电源 纳秒 脉冲参数

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阴极跳跃进给的微细电化学加工 被引量：2

6

作者 刘壮 邱中军 +1 位作者 衡冲 曲宁松 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第15期1852-1856,共5页

提出了一种阴极跳跃进给的微细电化学加工方法,将微细阴极安装在直线电机推杆上,利用直线电机周期性高加速度跳跃所产生的泵吸、搅拌作用,更新加工间隙内的电解液,输运电解产物。在自制的加工装置上,实现了主轴电机进给运动、直线电机... 提出了一种阴极跳跃进给的微细电化学加工方法,将微细阴极安装在直线电机推杆上,利用直线电机周期性高加速度跳跃所产生的泵吸、搅拌作用,更新加工间隙内的电解液,输运电解产物。在自制的加工装置上,实现了主轴电机进给运动、直线电机跳跃运动、直流电源通断的匹配控制,在不锈钢(1Cr18Ni9Ti)板上进行了一系列微细孔加工试验。试验结果表明,采用阴极跳跃进给、较高的跳跃加速度、较大的跳跃高度、较短的周期加工时间有利于提高微细电化学加工精度。 展开更多

关键词 微细电化学加工 阴极周期跳跃 微孔加工 直线电机

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纳秒脉冲电流提高微细电化学加工精度的研究 被引量：3

7

作者 张朝阳 朱荻 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第14期1716-1719,1723,共5页

分析了电极反应的暂态过程,探讨了超短脉冲电流提高电化学加工精度的机理,并根据法拉第定律和巴特勒伏尔摩方程建立了电化学暂态加工的数学模型。在微细电化学加工系统中,采用纳秒级的超短脉冲电流,通过加工试验验证了理论分析,加工出... 分析了电极反应的暂态过程,探讨了超短脉冲电流提高电化学加工精度的机理,并根据法拉第定律和巴特勒伏尔摩方程建立了电化学暂态加工的数学模型。在微细电化学加工系统中,采用纳秒级的超短脉冲电流,通过加工试验验证了理论分析,加工出了直径为20μm的微小孔。 展开更多

关键词 微细电化学加工 纳秒脉冲电流 理论模型 加工精度

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快速消除维持电压微细电化学加工脉冲电源 被引量：2

8

作者 曾伟梁 王振龙 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1410-1413,共4页

以绝缘栅型场效应管(MOSFET)作为开关元件的独立式单路微细电化学加工脉冲电源在脉间存在维持电压,使得微细电化学加工的散蚀增加,导致工件的形状精度降低.在分析维持电压存在特性的基础上,通过分析实验中采集到的波形,对脉冲电源进行改... 以绝缘栅型场效应管(MOSFET)作为开关元件的独立式单路微细电化学加工脉冲电源在脉间存在维持电压,使得微细电化学加工的散蚀增加,导致工件的形状精度降低.在分析维持电压存在特性的基础上,通过分析实验中采集到的波形,对脉冲电源进行改进,设计了双路控制的MOSFET开关电路,并根据MOSFET的开关特性,采用合理的电路参数.对比实验表明,改进后的电源快速消除了脉间维持电压,从而有效地降低了加工过程中的平均电压值,进而使加工表面痕迹的形貌得到了很大的改善,提高了加工的尺寸精度和表面质量. 展开更多

关键词 微细电化学加工 脉冲电源 维持电压

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微细电化学加工研究新进展 被引量：14

9

作者 李小海 王振龙 赵万生 《电加工与模具》 2004年第2期1-5,共5页

结合国内外微细电化学加工技术的最新进展 ,系统地综述了微细电化学加工在多个方面的研究情况和工艺特点 ,例如LIGA工艺、用电化学隧道显微镜 (electrochemicalSTM )的针尖进行纳米级尺寸的电化学加工、用超短脉宽脉冲电压微细电化学加... 结合国内外微细电化学加工技术的最新进展 ,系统地综述了微细电化学加工在多个方面的研究情况和工艺特点 ,例如LIGA工艺、用电化学隧道显微镜 (electrochemicalSTM )的针尖进行纳米级尺寸的电化学加工、用超短脉宽脉冲电压微细电化学加工等。 展开更多

关键词 微细电化学加工 微细加工 LIGA 电化学隧道扫描显微镜 超短电压脉冲

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光刻胶掩膜微细电化学加工参数的试验研究 被引量：12

10

作者 李嘉珩 马保吉 范植坚 《电加工与模具》 2004年第6期17-19,共3页

对光刻胶掩膜微细电化学加工参数进行了试验分析研究 ,发现光刻胶厚度、开口角度、脉冲电源频率、脉宽及电解液配方对加工质量都有影响 ,在此基础上提出改善加工质量的可行性方案。

关键词 微细电化学加工 加工质量 开口 厚度 角度 试验分析 电解液 光刻胶 掩膜 脉宽

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脉冲电化学加工现状与进展 被引量：6

11

作者 张成光 缪娟 +2 位作者 刘传绍 符德学 赵波 《工具技术》 北大核心 2007年第2期19-23,共5页

介绍了脉冲电化学加工(PECM)的机理,综述了PECM/PECMM的国内外技术现状及研究进展,详细阐述了脉冲电化学加工的工艺模型和复合加工技术,并展望了今后的发展前景和重点研究方向。

关键词 脉冲电化学加工 脉冲电化学微细加工 复合加工

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微细电化学加工电源的设计与研究 被引量：7

12

作者 杨光 郑云飞 李勇 《电加工与模具》 2002年第2期25-28,共4页

加工电源的频率、波形等输出特性在很大程度上影响微细电化学加工的效果。本文提出的微细电化学加工电源系统包括硬件和软件两个模块 ,其中硬件模块包括计算机、接口电路、功率放大电路和信号检测电路 ;软件模块包括驱动程序和控制程序... 加工电源的频率、波形等输出特性在很大程度上影响微细电化学加工的效果。本文提出的微细电化学加工电源系统包括硬件和软件两个模块 ,其中硬件模块包括计算机、接口电路、功率放大电路和信号检测电路 ;软件模块包括驱动程序和控制程序。该电源系统可产生多种波形 ,且能实现对加工过程的自适应控制 ,从而满足微细电化学加工工艺研究的需求。 展开更多

关键词 加工电源 状态检测 自适应控制 微细电化学加工 设计

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微细阵列方形轴孔的电火花和电化学组合加工工艺研究 被引量：8

13

作者 翁明浩 王振龙 《电加工与模具》 2007年第5期5-8,共4页

对微细阵列轴孔的电火花、电化学组合加工工艺进行了分析和研究。用微细电火花线切割机加工出3×3至10×10系列方形阵列电极,宽度在25-90μm,加工中采用降低加工电压、加工电流、进给速度和减小工作液冲击等方法,获得了质量较... 对微细阵列轴孔的电火花、电化学组合加工工艺进行了分析和研究。用微细电火花线切割机加工出3×3至10×10系列方形阵列电极,宽度在25-90μm,加工中采用降低加工电压、加工电流、进给速度和减小工作液冲击等方法,获得了质量较好的阵列电极,并分别利用微细电化学加工和微细电火花加工两种工艺方法进行阵列孔加工。在加工过程中通过适度间歇抬刀、超声振动、循环流动工作液等方法,较好地解决了微弧放电、排屑、加工区温度过高等加工难题,获得了质量较好的大小在30-100μm相应的阵列孔,从而实现了微细阵列轴孔的电火花、电化学组合加工,为大规模微细阵列轴孔的加工开辟了高效、可行的新工艺方法。 展开更多

关键词 微细电火花加工 微细电化学加工 阵列电极 阵列孔

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基于CPLD的纳秒级微细电化学加工脉冲电源的研究 被引量：1

14

作者 郝卫昭 赵万生 +1 位作者 王丹 蒋毅 《电加工与模具》 2009年第3期43-46,共4页

为了提高微细电化学加工的加工精度和表面质量,从加工模型入手,探讨了高频脉冲电源对微细加工的影响,并基于CPLD研制了超短脉冲电源,输出脉冲宽度为20 ns以下,脉冲调节范围较大。使用该电源进行相应的工艺试验,取得了较好的效果。

关键词 微细电化学加工 高频脉冲电源 CPLD

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微细电化学加工的自适应进给控制系统

15

作者 李鲁 张建华 +5 位作者 高世平 葛红宇 俞耀 杜欣如 高洪 杨秋苹 《机床与液压》 北大核心 2022年第24期64-70,共7页

为实现微细电化学加工间隙的精确控制,达到稳定间隙乃至恒间隙加工,对加工间隙进行建模,提出并实现一种微细电化学加工进给自适应控制系统。采用嵌入式控制器结合专用集成电路的控制结构,设计软硬件实现间隙控制系统与加工实验装置,分... 为实现微细电化学加工间隙的精确控制,达到稳定间隙乃至恒间隙加工,对加工间隙进行建模,提出并实现一种微细电化学加工进给自适应控制系统。采用嵌入式控制器结合专用集成电路的控制结构,设计软硬件实现间隙控制系统与加工实验装置,分别利用酸、碱电解液进行加工实验,实现了400、600μm的微小孔。实验结果表明:设计的微细加工自适应控制系统与实验装置能够保证稳定加工间隙,满足微细加工工艺要求。 展开更多

关键词 微细电化学加工 自适应控制 实时控制系统

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基于短路时间的微细电化学加工模糊控制方法

16

作者 俞耀 葛红宇 +2 位作者 张建华 陈康 李鲁 《电加工与模具》 2020年第5期36-42,共7页

针对微细电化学加工的间隙控制问题,提出一种基于加工短路时间的加工进给模糊控制方法。设计微位移模糊控制器与进给速度模糊控制器,构造加工进给的模糊控制系统并完成系统仿真与优化,在此基础上,设计软硬件搭建实验装置并实现了系列微... 针对微细电化学加工的间隙控制问题,提出一种基于加工短路时间的加工进给模糊控制方法。设计微位移模糊控制器与进给速度模糊控制器,构造加工进给的模糊控制系统并完成系统仿真与优化,在此基础上,设计软硬件搭建实验装置并实现了系列微孔的加工。实验表明:微位移模糊控制输出的位移调节时间约为1.5 ms,超调量约9.7%,稳态误差小于0.2μm。基于模糊控制方法所设计的实验装置能满足微细加工的工艺要求,实现微米量级的微孔加工。 展开更多

关键词 微细电化学加工 模糊控制 短路时间 加工间隙

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微米级电化学加工关键技术研究 被引量：6

17

作者 张朝阳 朱荻 +1 位作者 曲宁松 王明环 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期403-406,共4页

针对微米级电化学加工的关键技术问题,研制了用于微米级电化学加工的纳秒脉冲电源,并利用电化学腐蚀方法,在自制的电化学加工机床上连续实现了微细工具电极的制作和工件的加工。基于试验提出了微细电化学加工间隙的检测控制方法,提高了... 针对微米级电化学加工的关键技术问题,研制了用于微米级电化学加工的纳秒脉冲电源,并利用电化学腐蚀方法,在自制的电化学加工机床上连续实现了微细工具电极的制作和工件的加工。基于试验提出了微细电化学加工间隙的检测控制方法,提高了加工过程的稳定性,增强了定域蚀除能力。在低浓度酸性电解液中实现了微米级的电化学加工,利用研制的纳秒脉冲电源,根据加工电流将极间间隙控制在5μm左右,加工出了“NUAA”字形,每个字母高90μm,宽60μm,字母线条的宽度只有20μm。 展开更多

关键词 微细电化学加工 超短脉冲电源 工具电极 加工间隙

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微米尺度线电极的电化学腐蚀法制备 被引量：7

18

作者 王昆 朱荻 王明环 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2006年第9期1073-1075,1129,共4页

微细电化学线切割加工是最近出现的一种微细加工新方法。本文基于电化学腐蚀原理,制备微细电化学线切割加工中使用的微米尺度线电极。建立了腐蚀过程理论模型,通过测量线电极的电阻变化来实时监测线电极腐蚀过程中的直径大小,并基于虚... 微细电化学线切割加工是最近出现的一种微细加工新方法。本文基于电化学腐蚀原理,制备微细电化学线切割加工中使用的微米尺度线电极。建立了腐蚀过程理论模型,通过测量线电极的电阻变化来实时监测线电极腐蚀过程中的直径大小,并基于虚拟仪器技术建立了线电极制备监控系统。通过试验对钨线电极的腐蚀过程进行分析,得出监控系统的直径计算值与实际值误差低于10%。最后,利用此方法制备出直径5μm的钨线电极。 展开更多

关键词 电化学腐蚀 微米尺度 线电极 微细电化学线切割加工

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微细盘状电极制备及其微细电解加工研究 被引量：1

19

作者 何志伟 王明环 +1 位作者 张力 许雪峰 《电加工与模具》 2015年第2期57-60,共4页

基于电化学腐蚀加工方法,提出了一种微细盘状电极的制备方法。先采用平板阴极电化学腐蚀法,将毛坯加工成圆柱状微细电极,再对圆柱电极端部进行绝缘保护,进一步腐蚀制备得到微细盘状电极。利用微细圆柱电极、盘状电极和盘状群电极,在厚1... 基于电化学腐蚀加工方法,提出了一种微细盘状电极的制备方法。先采用平板阴极电化学腐蚀法,将毛坯加工成圆柱状微细电极,再对圆柱电极端部进行绝缘保护,进一步腐蚀制备得到微细盘状电极。利用微细圆柱电极、盘状电极和盘状群电极,在厚1 mm的304不锈钢片上进行电解加工对比实验,结果证明采用微细盘状电极电解加工微小孔,其加工定域性有明显改善,侧壁间隙减小,且降低了孔锥度。 展开更多

关键词 微细电化学加工 微细盘状电极 加工定域性 型孔锥度

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微细电加工应用技术研究 被引量：5

20

作者 李勇 《电加工与模具》 2009年第B04期32-37,共6页

微细电加工要达到工业应用的目的,需兼顾加工效率和加工精度两方面的要求。以微细孔、微细三维结构的加工为目标,进行了微细孔电火花加工、三维微细结构电火花伺服扫描加工及微细电化学加工技术的研究开发。设计出微细电极的损耗补偿进... 微细电加工要达到工业应用的目的,需兼顾加工效率和加工精度两方面的要求。以微细孔、微细三维结构的加工为目标,进行了微细孔电火花加工、三维微细结构电火花伺服扫描加工及微细电化学加工技术的研究开发。设计出微细电极的损耗补偿进给和导向机构,开发出三维微细结构的电火花伺服扫描加工工艺,研究了采用阵列微细电极的微细电化学加工方法。微细孔电火花加工可连续加工直径小至100μm的孔。伺服扫描电火花加工可便捷地在小于1mm2区域内加工出三维微细结构。提出的微细电化学加工技术路线拟将微细电解加工应用于阵列微细孔和三维微细结构的加工。 展开更多

关键词 微细电火花加工 微细电化学加工 电极损耗 伺服进给 伺服扫描

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