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平面电极型MEMS电化学地震传感器
被引量：
4
1
作者
王军波
龚黎明
+3 位作者
陈德勇
何文涛
王鹏
陈健
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第3期769-775,共7页
针对传统电化学地震传感器的加工工艺成本高、一致性差等问题,设计了一种新的平面电极型微机电系统(MEMS)电化学地震传感器结构。建立了平面电极型MEMS电化学地震传感器的计算模型,通过Comsol多场耦合数值模拟分析方法,对影响传感器的...
针对传统电化学地震传感器的加工工艺成本高、一致性差等问题,设计了一种新的平面电极型微机电系统(MEMS)电化学地震传感器结构。建立了平面电极型MEMS电化学地震传感器的计算模型,通过Comsol多场耦合数值模拟分析方法,对影响传感器的结构参数如:电极宽度、电极间距、流道高度等进行了计算和优化。采用MEMS表面工艺和准LIGA工艺,制备了平面电极型MEMS电化学地震传感器。最后,与采用传统方法精密加工的MET2003器件进行了频率响应和微震动的对比测试。实验结果表明:与MET2003器件相比,平面电极型MEMS电化学地震传感器的带宽从1Hz扩展到了30Hz,两种器件的采集结果具有很好的相关性和一致性,相关系数为0.887,在1Hz处的噪声低于120dB。
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关键词
微机电系统
电化学地震传感器
平面电极
低频震动检测
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职称材料
题名
平面电极型MEMS电化学地震传感器
被引量：
4
1
作者
王军波
龚黎明
陈德勇
何文涛
王鹏
陈健
机构
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第3期769-775,共7页
基金
国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.2013YQ12035703)
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2014AA091508)
文摘
针对传统电化学地震传感器的加工工艺成本高、一致性差等问题,设计了一种新的平面电极型微机电系统(MEMS)电化学地震传感器结构。建立了平面电极型MEMS电化学地震传感器的计算模型,通过Comsol多场耦合数值模拟分析方法,对影响传感器的结构参数如:电极宽度、电极间距、流道高度等进行了计算和优化。采用MEMS表面工艺和准LIGA工艺,制备了平面电极型MEMS电化学地震传感器。最后,与采用传统方法精密加工的MET2003器件进行了频率响应和微震动的对比测试。实验结果表明:与MET2003器件相比,平面电极型MEMS电化学地震传感器的带宽从1Hz扩展到了30Hz,两种器件的采集结果具有很好的相关性和一致性,相关系数为0.887,在1Hz处的噪声低于120dB。
关键词
微机电系统
电化学地震传感器
平面电极
低频震动检测
Keywords
Micro-electro-mechanical System（MEMS）
electrochemical seismic sensor
planar electrode
low frequency vibration detection
分类号
TP212.9 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
P315.62 [天文地球—地震学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
平面电极型MEMS电化学地震传感器
王军波
龚黎明
陈德勇
何文涛
王鹏
陈健
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
4
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