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高效率808nm激光器的数值模拟研究 被引量:1
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作者 赵懿昊 陈宏泰 +3 位作者 陈国鹰 杨红伟 赵润 彭海涛 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期311-315,共5页
分析了提高激光器电光转换效率的几种途径,认为降低激光器工作电压、串联电阻和阈值电流可以提高激光器转换效率。分别对Ga0.5InP和AlxGaAs对称波导激光器进行了模拟,结果表明,AlxGaAs材料体系(AlxGaAs/AlxGaAs/InGaAsP)激光器的各种参... 分析了提高激光器电光转换效率的几种途径,认为降低激光器工作电压、串联电阻和阈值电流可以提高激光器转换效率。分别对Ga0.5InP和AlxGaAs对称波导激光器进行了模拟,结果表明,AlxGaAs材料体系(AlxGaAs/AlxGaAs/InGaAsP)激光器的各种参数均优于Ga0.5InP材料体系((AlxGa)0.5InP/Ga0.5InP/InGaAsP)激光器,并在模拟的基础上制备出了相应的激光器。依据模拟结果和器件结果分析得出,增大波导层掺杂浓度可以降低激光器的工作电压和串联电阻;改变波导层组分为渐变值时可降低激光器阈值电流,从而增大激光器转换效率。 展开更多
关键词 激光器 材料体系 电光转换效率 串联电阻 阈值电流
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808 nm半导体激光芯片波导优化与效率特性分析 被引量:7
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作者 常奕栋 王贞福 +6 位作者 张晓颖 杨国文 李特 杜宇琦 赵宇亮 刘育衔 兰宇 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第7期1040-1048,共9页
对808 nm的InAlGaAs/AlGaAs半导体激光器芯片的波导厚度进行了优化,研究发现N波导与P波导厚度比值为1.8时芯片电光转换效率最高。基于上述高效率芯片研制出Chip-on-submount(COS)单管和光纤芯径62.5μm、数值孔径0.22的光纤耦合模块,并... 对808 nm的InAlGaAs/AlGaAs半导体激光器芯片的波导厚度进行了优化,研究发现N波导与P波导厚度比值为1.8时芯片电光转换效率最高。基于上述高效率芯片研制出Chip-on-submount(COS)单管和光纤芯径62.5μm、数值孔径0.22的光纤耦合模块,并研究了两种器件在-10~90℃范围内的效率特性。结果显示,温度由-10℃升高到90℃,COS单管的载流子泄漏占比由1.18%增加到16.67%,光纤耦合模块的载流子泄漏占比由1.99%增加到17.73%,表明温升引起的载流子泄漏加剧是导致电光转换效率降低的主要因素。此外,还研究了高温老炼、热真空、空间辐照对光纤耦合模块电光转换效率的影响,并揭示了导致器件电光转换效率降低的内在因素。 展开更多
关键词 半导体激光器 光纤耦合模块 光功率 电光转换效率
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高效率连续1000 W半导体激光器叠层阵列 被引量:1
3
作者 杨红伟 黄科 +3 位作者 陈宏泰 彭海涛 王媛媛 徐会武 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期340-343,共4页
采用低压MOCVD外延技术生长的GaInAs/AlGaAs应变量子阱大光腔结构材料结构设计,利用低压MOCVD外延技术生长了3英寸(75 mm)激光器外延片,进而设计制作了976 nm大功率低热阻连续激光器芯片。采用以及高热导率的无氧铜材料设计制作了大功... 采用低压MOCVD外延技术生长的GaInAs/AlGaAs应变量子阱大光腔结构材料结构设计,利用低压MOCVD外延技术生长了3英寸(75 mm)激光器外延片,进而设计制作了976 nm大功率低热阻连续激光器芯片。采用以及高热导率的无氧铜材料设计制作了大功率微通道热沉,采用In焊料芯片倒装烧结工艺,制作了976 nm连续激光器阵列单条。在20℃水冷条件下,输入电流120 A,工作电压1.51 V,输出功率达到118 W,电光功率转换效率约65%。将10只微通道阵列单条堆叠组装,制作了连续1 000 W微通道叠层阵列。在20℃水冷条件下,输入电流120 A,输出功率达到1 130 W,工作电压1.45 V,电光功率转换效率约65%。 展开更多
关键词 应变量子阱 大光腔结构 微通道热沉 激光器叠层阵列 电光功率转换效率 串联电阻
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用于半导体激光器的高效率复合波导结构 被引量:3
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作者 陈琦鹤 范杰 +2 位作者 马晓辉 王海珠 石琳琳 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第11期123-128,共6页
提出了一种高电光转换效率的新型复合波导半导体激光器结构(Composite Waveguide LD,CWG LD)。该器件结构高的电光转换效率得益于其所采用的Al组分阶梯分布AlxGa1-xAs波导层。通过优化设计波导层电阻率分布及能带分布,CWG LD结构在保证... 提出了一种高电光转换效率的新型复合波导半导体激光器结构(Composite Waveguide LD,CWG LD)。该器件结构高的电光转换效率得益于其所采用的Al组分阶梯分布AlxGa1-xAs波导层。通过优化设计波导层电阻率分布及能带分布,CWG LD结构在保证输出光功率的同时,可以有效地降低器件串联电阻并提高电光转换效率。结合理论分析及计算机数值仿真软件,分析了复合波导提升器件电光转换效率的机理。经优化,在激光器条宽为6μm、腔长为1 000μm的情况下,波导层阶梯数为1时CWG LD结构可以获得最大的电光转换效率。研究结果表明:在注入电流为900 m A时,CWG LD结构的串联电阻由常规波导器件结构的3.51Ω降低为2.67Ω,电光转换效率由54.7%提升至69.5%。 展开更多
关键词 半导体激光器 串联电阻 电光转换效率 复合波导
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高气压针板放电式二千瓦连续CO_2激光器的温度效应 被引量:4
5
作者 刘东华 李锋 +1 位作者 韩晏生 李再光 《激光杂志》 CAS 1987年第2期81-85,共5页
研制成功一种工业用高气压横流针板放电式二千瓦级连续CO_2激光器。本文论述这种激光器的温度效应,分析了影响放电气体温升因素,测量了在额定工作条件下,气体温度沿着气体流道的分布,作出了该型激光器在长达10小时的连续运转过程中,放... 研制成功一种工业用高气压横流针板放电式二千瓦级连续CO_2激光器。本文论述这种激光器的温度效应,分析了影响放电气体温升因素,测量了在额定工作条件下,气体温度沿着气体流道的分布,作出了该型激光器在长达10小时的连续运转过程中,放电区内入口气温、出口气温、气体温升、输出功率和电光转换效率等参数随时间的变化曲线。实测表明,放电区内入口气温每升高1℃,激光输出功率平均下降约35瓦,电光转换效率平均下降约0.23%。 展开更多
关键词 连续CO2激光器 温度效应 千瓦级 放电式 高气压 针板 电光转换效率 激光输出功率 放电气体 研制成功
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大功率脉冲TEA CO_2激光器配气比对输出的影响 被引量:1
6
作者 杨贵龙 邵春雷 +4 位作者 孟范江 郭汝海 李殿军 郭劲 郭立红 《中国光学与应用光学》 2009年第3期231-235,共5页
针对大功率脉冲TEA CO2激光器的放电腔在不同工作气压和不同配气比例条件下对激光器输出能量和电光转换效率均有较大影响,研究了充气压力从30kPa到60kPa,配气比例由CO2:N2=1:1到CO2:N2=1:4变化条件下,放电腔工作气压和配气比例对激光器... 针对大功率脉冲TEA CO2激光器的放电腔在不同工作气压和不同配气比例条件下对激光器输出能量和电光转换效率均有较大影响,研究了充气压力从30kPa到60kPa,配气比例由CO2:N2=1:1到CO2:N2=1:4变化条件下,放电腔工作气压和配气比例对激光器输出能量和转换效率的影响。实验结果显示:当CO2:N2的配气比例为1:3时,激光器输出的电光转换效率存在最佳点。在最佳配气比例CO2:N2:He=3:9:28,总气压为40kPa和注入激励电能保持不变的情况下,激光器单脉冲放电时的输出能量为24.6J,电光转换效率达16.4%。在高频连续放电实验中,激光器的最高放电频率可达500Hz并且连续稳定运行。实验数据表明,选择合适的放电腔工作气压和配气比例可以改变激光器的输出能量,提高激光器的电光转换效率。 展开更多
关键词 TEA CO-2激光器 配气比例 电光转换效率
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高功率半导体激光器低温特性分析 被引量:6
7
作者 王明培 张普 +4 位作者 聂志强 刘晖 孙玉博 吴的海 赵宇亮 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第9期8-16,共9页
研制了一套微通道封装结构半导体激光器的低温测试表征系统,实现了对高功率半导体激光器在-60℃~0℃低温范围内的输出功率、电光转换效率和光谱等关键参数稳定可靠的测试表征.采用计算流体力学及数值传热学方法,模拟了无水乙醇、三氯乙... 研制了一套微通道封装结构半导体激光器的低温测试表征系统,实现了对高功率半导体激光器在-60℃~0℃低温范围内的输出功率、电光转换效率和光谱等关键参数稳定可靠的测试表征.采用计算流体力学及数值传热学方法,模拟了无水乙醇、三氯乙烯以及五氟丙烷三种载冷剂的散热性能.模拟结果表明,压降均为0.47 bar时,采用无水乙醇作载冷剂的器件具有最低的热阻(热阻为0.73 K/W)和最好的温度均匀性(中心和边缘发光单元温差为1.45℃).低温测试表征系统采用无水乙醇作为载冷剂,最大可实现0.5 L/min的载冷液体流量,最多能容纳5个半导体激光器巴条同时工作.基于该低温测试表征系统,对微通道封装结构976 nm半导体激光器巴条在6%占空比下的低温特性进行了研究.测试结果表明,载冷剂温度由0℃下降到-60℃,半导体激光器的输出功率由388.37 W提升到458.37 W,功率提升比为18.02%;电光转换效率由60.99%提升到67.25%,效率提升幅度为6.26%;中心波长由969.68 nm蓝移到954.05 nm.器件开启电压增加0.04 V,阈值电流降低3.93 A,串联电阻增加0.18 mΩ,外微分量子效率提高11.84%.分析表明,阈值电流的减小及外微分量子效率的提高,是促使半导体激光器在低温下功率、效率提升的主要因素.研究表明,采用液体微通道冷却的低温工作方式,是实现半导体激光器高输出功率、高电光转换效率的一种有效手段. 展开更多
关键词 半导体激光器 光电测量 低温冷却 微通道 输出功率 电光转换效率
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射频激励矩形波导CO_2激光器的设计和实验研究 被引量:2
8
作者 路晓川 张阔海 +2 位作者 谭荣清 黄伟 柯常军 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2017年第2期159-162,共4页
为了研发紧凑型的射频波导CO_2激光器并探究影响其输出性能的因素,采用平行平面腔内电极结构,设计并研制了一台射频激励矩形波导CO_2激光器。实验中采用透过率为20%的输出镜,在工作气压14k Pa下,得到12W的最大激光输出功率,电光转换效... 为了研发紧凑型的射频波导CO_2激光器并探究影响其输出性能的因素,采用平行平面腔内电极结构,设计并研制了一台射频激励矩形波导CO_2激光器。实验中采用透过率为20%的输出镜,在工作气压14k Pa下,得到12W的最大激光输出功率,电光转换效率达到9.4%。结果表明,工作气压和射频输入功率是影响激光输出性能的最主要因素。该研究取得了预期的实验结果,对国内今后此类器件的研究具有很好的借鉴意义。 展开更多
关键词 激光器 射频波导CO2激光器 耦合损耗 输出功率 电光转换效率
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GaAs基大功率半导体激光器的研究进展 被引量:2
9
作者 张旭 董海亮 +3 位作者 贾志刚 张爱琴 梁建 许并社 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第12期9-15,共7页
经半个多世纪的发展,半导体激光器的理论和实践都取得巨大成果。近年来,GaAs基大功率半导体激光器凭其优势,在众多领域得到广泛应用。但是GaAs基大功率半导体激光器仍面临着功率不足、发热量大及光束质量差的问题。光电性能差是限制其... 经半个多世纪的发展,半导体激光器的理论和实践都取得巨大成果。近年来,GaAs基大功率半导体激光器凭其优势,在众多领域得到广泛应用。但是GaAs基大功率半导体激光器仍面临着功率不足、发热量大及光束质量差的问题。光电性能差是限制其应用的关键问题,如何进一步提高激光器的光电性能是半导体激光器面临的挑战。输出功率、电光转换效率、光束质量、寿命和可靠性是衡量半导体激光器性能最重要的参数。电光转换效率直接影响器件的输出功率,转换效率低产生的热量更多,导致器件工作温度升高,使得器件的稳定性变差,严重影响器件的寿命和可靠性。近年来,随着GaAs基大功率半导体激光器外延生长技术的提高、器件结构设计的理论水平提高以及封装技术的提升,激光器的输出功率和电光转换效率均得到了大幅提高。从2007年到2017年,边发射激光器的单管输出功率已由14.7 W提高至33 W,而光抽运面发射器件在2018年单管输出功率高达72 W。2020年单管器件的电光转换效率已高达74.6%。随着高效冷却技术的发展,半导体激光器的寿命已达百万小时以上。本文主要介绍了GaAs基半导体激光器近年来的发展状况,综述了外延结构、输出功率、电光转换效率、光束质量、寿命和可靠性等方面的发展现状,探讨了影响输出功率的各种因素及目前的解决方法,展望了半导体激光器未来的发展趋势。 展开更多
关键词 大功率半导体激光器 砷化镓(GaAs) 输出功率 电光转换效率 光束质量 寿命与可靠性
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组分阶梯InGaN势垒对绿光激光二极管光电性能的影响 被引量:1
10
作者 侯俨育 董海亮 +3 位作者 贾志刚 贾伟 梁建 许并社 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第8期1386-1393,共8页
为探究不同铟(In)组分In_(x)Ga_(1-x)N势垒对绿光激光二极管光电性能的影响,本文采用SiLENSe(simulator of light emitters based on nitride semiconductors)仿真软件对一系列具有不同In组分In_(x)Ga_(1-x)N势垒的激光二极管进行研究,... 为探究不同铟(In)组分In_(x)Ga_(1-x)N势垒对绿光激光二极管光电性能的影响,本文采用SiLENSe(simulator of light emitters based on nitride semiconductors)仿真软件对一系列具有不同In组分In_(x)Ga_(1-x)N势垒的激光二极管进行研究,结果发现In_(x)Ga_(1-x)N势垒中In组分最佳值为3%,此时结构的斜率效率最高,内部光学损耗最低,光学限制因子最大,性能最优。在具有In_(0.03)Ga_(0.97_N势垒的多量子阱结构基础上,设计了一种组分阶梯(composition step-graded,CSG)InGaN势垒多量子阱结构,提高了激光二极管的斜率效率和电光转换效率,增加了光场限制能力。仿真结果表明,当注入电流为120 mA时,具有CSG InGaN势垒的多量子阱结构,电光转换效率从17.7%提高至19.9%,斜率效率从1.09 mW/mA增加到1.14 mW/mA,光学限制因子从1.58%增加到1.62%。本文的研究为制备高功率GaN基绿光激光二极管提供了理论指导和数据支撑。 展开更多
关键词 绿光激光二极管 光电性能 In组分 组分阶梯InGaN势垒 斜率效率 电光转换效率
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12 W高功率高可靠性915 nm半导体激光器设计与制作 被引量:11
11
作者 仇伯仓 胡海 +2 位作者 汪卫敏 刘文斌 白雪 《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第4期590-603,共14页
本文设计并制作了一种高效率、高可靠性的915 nm半导体激光器。半导体激光器是光纤激光器的关键部件,为了最大限度地提高器件的电光转换效率,在设计上采用双非对称大光腔波导结构,同时对量子阱结构、波导结构、掺杂以及器件结构进行了... 本文设计并制作了一种高效率、高可靠性的915 nm半导体激光器。半导体激光器是光纤激光器的关键部件,为了最大限度地提高器件的电光转换效率,在设计上采用双非对称大光腔波导结构,同时对量子阱结构、波导结构、掺杂以及器件结构进行了系统优化。器件模拟表明,在25℃环境温度下,器件的最高电光转换效率达到67%。采用金属有机气相沉积(MOCVD)法进行材料生长,随后制备了发光区域宽度为95μm、腔长为4.8 mm的激光芯片。测试表明,封装后器件的效率以及其它参数指标达到国际先进水平,在室温下阈值电流为1 A,斜率效率为1.18 W/A,最高电光转换效率达66.5%,输出功率12 W时,电光转换效率达到64.3%,测试结果与器件理论模拟高度吻合。经过约6 000 h的寿命加速测试,器件功率没有出现衰减,表明制作的高功率915 nm激光芯片具有很高的可靠性。 展开更多
关键词 半导体激光器 电光转换效率 亮度 腔面灾变功率
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1060 nm锑化物应变补偿有源区激光二极管仿真及其性能研究
12
作者 梁财安 董海亮 +3 位作者 贾志刚 贾伟 梁建 许并社 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第9期1624-1634,共11页
本文设计了GaAs基1060 nm高性能激光二极管的有源区结构,通过在有源区中引入锑化物的应变补偿结构GaAsP/InGaAs/GaAsSb/InGaAsSb/GaAsP,改变了有源区的能带结构,解决了禁带宽度对发光波长的限制,将弱Ⅱ型的量子阱能带结构变为Ⅰ型,增大... 本文设计了GaAs基1060 nm高性能激光二极管的有源区结构,通过在有源区中引入锑化物的应变补偿结构GaAsP/InGaAs/GaAsSb/InGaAsSb/GaAsP,改变了有源区的能带结构,解决了禁带宽度对发光波长的限制,将弱Ⅱ型的量子阱能带结构变为Ⅰ型,增大了电子空穴的波函数重叠,提高了激光二极管跃迁概率和辐射复合概率及内量子效率,降低了非辐射复合,有效增强了器件输出功率和电光转换效率。同时,设计了非对称异质双窄波导结构,p侧采用导带差大、价带差小的AlGaAs作为内、外波导层,有利于价带空穴注入有源区且对导带中的电子形成良好的限制。n侧采用导带差小、价带差大的GaInAsP作为内、外波导层,有利于导带电子的注入且对价带中的空穴形成更高的势垒。电子注入势垒和空穴注入势垒分别由原先的218、172 meV降低到148、155 meV,提高了激光二极管的载流子注入效率;电子泄漏势垒和空穴泄漏势垒分别由252、287 meV上升到289、310 meV,增强了载流子限制能力。最后获得的激光二极管的输出功率和电光转换效率分别达到了6.27 W和85.39%,为制备高性能GaAs基1060 nm激光二极管提供了理论指导和数据支撑。 展开更多
关键词 锑化物 应变补偿量子阱结构 非对称异质双窄波导 输出功率 电光转换效率 1060 nm激光二极管 大功率
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AlGaN基深紫外发光二极管研究进展 被引量:9
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作者 吴峰 戴江南 陈长清 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2020年第11期2079-2097,共19页
深紫外光源在杀菌消毒、生化检测、紫外固化、紫外通信等方面具有巨大的应用前景,基于AlGaN半导体的深紫外发光二极管(LED)因具有无毒、体积小、能耗低、寿命长、波长可调等优势,得到了广泛的关注和研究。经过近二十年的研究开发,AlGaN... 深紫外光源在杀菌消毒、生化检测、紫外固化、紫外通信等方面具有巨大的应用前景,基于AlGaN半导体的深紫外发光二极管(LED)因具有无毒、体积小、能耗低、寿命长、波长可调等优势,得到了广泛的关注和研究。经过近二十年的研究开发,AlGaN基深紫外LED无论是发光效率和器件寿命都得到了巨大的提升,已逐步开始商业化。然而,相对于GaN基蓝光LED,目前AlGaN基深紫外LED的效率仍旧非常低,还有很大的提升空间。本文首先介绍了深紫外LED的发展现状,并分析了导致器件效率低的原因。然后,分别从内量子效率、光提取效率以及电光转换效率三个方面对目前AlGaN基深紫外LED的研究状况进行了系统的回顾,总结了目前提高发光效率的各种手段和方法。最后对AlGaN基深紫外LED的未来发展进行了展望。 展开更多
关键词 ALGAN 深紫外LED 内量子效率 光提取效率 电光转换效率
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双轴张应变对锗激光器工作性能的影响
14
作者 李希越 李斌 XIA Guangrui 《华南理工大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第7期120-125,共6页
为探索锗激光器的性能优化方案,建立了基于双轴张应变的双异质结法布里-珀罗电激励式边缘发射锗激光器模型.通过该模型讨论了双轴张应变与最优掺杂密度的关系,分析了不同双轴张应变和掺杂条件下阈值电流密度、电光转换效率等激光器参数... 为探索锗激光器的性能优化方案,建立了基于双轴张应变的双异质结法布里-珀罗电激励式边缘发射锗激光器模型.通过该模型讨论了双轴张应变与最优掺杂密度的关系,分析了不同双轴张应变和掺杂条件下阈值电流密度、电光转换效率等激光器参数的变化.结果表明:最优掺杂密度随着双轴张应变的增大而减小,过高的掺杂则导致激光器工作性能的下降;在同等掺杂条件下,光增益以及增益的峰值波长会随着双轴张应变的增大而增大;与文献数据相比,在0.8%双轴张应变和对应的最优掺杂密度(8×1019cm-3)下,锗激光器的阈值电流密度降低至文献数据的1/10,电光转换效率提升了约10倍. 展开更多
关键词 锗激光器 双轴张应变 最优掺杂密度 光增益 阈值电流密度 电光转换效率
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“钙钛矿发光/光电材料与器件”专刊序
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作者 宋宏伟 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第3期F0002-F0002,I0001,共2页
“钙钛矿”,一提起这个名字,不禁让一些“善男信女”们多少产生一点儿痴迷,又奉献一点儿狷狂!是有万能的神做庇护吗?如果不是,为什么在短短的时间里,它不断地给这世界制造惊喜?从PSC,再到PeLED,光电/电光转换效率以一日千里之速度后来居... “钙钛矿”,一提起这个名字,不禁让一些“善男信女”们多少产生一点儿痴迷,又奉献一点儿狷狂!是有万能的神做庇护吗?如果不是,为什么在短短的时间里,它不断地给这世界制造惊喜?从PSC,再到PeLED,光电/电光转换效率以一日千里之速度后来居上,大有引发太阳能光伏和量子点显示领域一场新的革命之势!钙钛矿,它到底是大自然赠与我们的“璞宝”还是“顽石”?多少人曾试图揭开那神秘的面纱,又有多少人产生过掘地三尺的征服欲望!钙钛矿,它到底“神奇”在哪?欲征服之,必先挖掘之,揭示与认识之。“钙钛矿发光/光电材料与器件”专刊就是挖掘人借此一方平台,给从事发光学与相关光电领域研究的读者们奉献的一桌丰盛大餐;乞望您能争相传告,尽兴而食! 展开更多
关键词 光电材料与器件 电光转换效率 发光学 钙钛矿 太阳能光伏 专刊 量子点 光电领域
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上海光机所在掺Er石英玻璃及光纤抗辐射研究中获进展
16
《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2021年第10期273-273,共1页
最近,中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光单元技术实验室通过共掺Ge离子制备了一种抗辐射掺Er石英玻璃及光纤,并探究了其抗辐射机理。稀土掺杂有源光纤激光器或放大器具有重量轻、体积小、电光转换效率高等优点,在空间激光通... 最近,中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光单元技术实验室通过共掺Ge离子制备了一种抗辐射掺Er石英玻璃及光纤,并探究了其抗辐射机理。稀土掺杂有源光纤激光器或放大器具有重量轻、体积小、电光转换效率高等优点,在空间激光通讯、空间激光雷达、太空垃圾处理等方面具有应用价值。然而,空间辐射环境导致稀土掺杂有源光纤的光学损耗和噪声系数急剧增加,输出激光斜效率或增益性能急剧下降,这对面向空间应用的光纤激光器或放大器的长期稳定性提出挑战。 展开更多
关键词 电光转换效率 光纤激光器 激光通讯 噪声系数 激光单元技术 激光雷达 上海光机所 石英玻璃
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气体激光器
17
《中国光学与应用光学》 2007年第1期22-,共1页
关键词 气体激光器 主放电 延迟时间 猫眼 管板式电极 电光转换效率 预电离 谐振腔
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