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表面缺陷光电传感器
1
作者
何振江
《仪器仪表学报》
EI
CAS
1980年第4期94-101,共8页
本文概述了表面缺陷光电传感器的特点、原理和分类方法。论述了这类传感器的灵敏度和信噪比的估计方法,计算了1微米分辨能力的D、K数值。本文提出了一种区分缺陷类别的光学方法。最后,介绍了这类传感器的设计要点和及评定性能的方法。
关键词
表面缺陷
光电元件
分辨能力
信噪比
正反射
敏感元件
电感式
光学系统
电信号转换器
灵敏度系数
在线阅读
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职称材料
题名
表面缺陷光电传感器
1
作者
何振江
机构
重庆大学
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
1980年第4期94-101,共8页
文摘
本文概述了表面缺陷光电传感器的特点、原理和分类方法。论述了这类传感器的灵敏度和信噪比的估计方法,计算了1微米分辨能力的D、K数值。本文提出了一种区分缺陷类别的光学方法。最后,介绍了这类传感器的设计要点和及评定性能的方法。
关键词
表面缺陷
光电元件
分辨能力
信噪比
正反射
敏感元件
电感式
光学系统
电信号转换器
灵敏度系数
分类号
TP2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
表面缺陷光电传感器
何振江
《仪器仪表学报》
EI
CAS
1980
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