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基于硅桥的新型甲醛气体传感器的研究
被引量：
7
1
作者
郭辉辉
陈向东
+2 位作者
杜广涛
姚尧
李辉
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期138-143,共6页
提出了一种基于高分子薄膜溶胀效应的新型MEMS压阻式甲醛气体传感器,其结构由嵌入惠斯通电桥的硅桥和一层改性丙烯酸酯气敏薄膜构成,敏感薄膜因吸收甲醛气体发生溶胀使硅桥上的惠斯通电桥产生输出电压,从而实现对甲醛气体的检测。基于...
提出了一种基于高分子薄膜溶胀效应的新型MEMS压阻式甲醛气体传感器,其结构由嵌入惠斯通电桥的硅桥和一层改性丙烯酸酯气敏薄膜构成,敏感薄膜因吸收甲醛气体发生溶胀使硅桥上的惠斯通电桥产生输出电压,从而实现对甲醛气体的检测。基于弹性力学薄板原理构建了该气体传感器中硅桥与改性丙烯酸酯薄膜相互作用的模型,并推导出传感器的输出公式。实验结果验证了理论分析模型,实验结果表明该传感器有很好的线性,选择性。实验测得该传感器灵敏度为0.975×106ecr,分辨率为10×10-6,响应时间和恢复时间分别为50 s和65 s。该传感器结构简单、无须加热,工艺成熟、成本低,应用MEMS工艺技术可实现与信号处理电路的集成。
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关键词
溶胀效应
甲醛气体传感器
硅桥
MEMS
改性丙烯酸酯
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职称材料
甲醛气体传感器研究进展
被引量：
8
2
作者
郑良军
程军
+3 位作者
谢劲灿
黄娟慧
向翠丽
邹勇进
《传感器与微系统》
CSCD
2016年第7期1-4,8,共5页
甲醛是室内主要气体污染物之一,严重危害人类身体健康。因此,开发高灵敏度和选择性的甲醛传感器显得非常重要。综述了近年来甲醛气体传感器的研究进展,从甲醛气体传感器敏感材料的制备、传感性能和存在的问题等方面进行了讨论,并指出了...
甲醛是室内主要气体污染物之一,严重危害人类身体健康。因此,开发高灵敏度和选择性的甲醛传感器显得非常重要。综述了近年来甲醛气体传感器的研究进展,从甲醛气体传感器敏感材料的制备、传感性能和存在的问题等方面进行了讨论,并指出了甲醛气体传感器的发展趋势。
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关键词
甲醛气体传感器
灵敏度
稳定性
选择性
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职称材料
题名
基于硅桥的新型甲醛气体传感器的研究
被引量：
7
1
作者
郭辉辉
陈向东
杜广涛
姚尧
李辉
机构
西南交通大学信息科学与技术学院
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期138-143,共6页
基金
国家自然科学基金(60871024)
西南交通大学博士创新基金资助
文摘
提出了一种基于高分子薄膜溶胀效应的新型MEMS压阻式甲醛气体传感器,其结构由嵌入惠斯通电桥的硅桥和一层改性丙烯酸酯气敏薄膜构成,敏感薄膜因吸收甲醛气体发生溶胀使硅桥上的惠斯通电桥产生输出电压,从而实现对甲醛气体的检测。基于弹性力学薄板原理构建了该气体传感器中硅桥与改性丙烯酸酯薄膜相互作用的模型,并推导出传感器的输出公式。实验结果验证了理论分析模型,实验结果表明该传感器有很好的线性,选择性。实验测得该传感器灵敏度为0.975×106ecr,分辨率为10×10-6,响应时间和恢复时间分别为50 s和65 s。该传感器结构简单、无须加热,工艺成熟、成本低,应用MEMS工艺技术可实现与信号处理电路的集成。
关键词
溶胀效应
甲醛气体传感器
硅桥
MEMS
改性丙烯酸酯
Keywords
swelling effect
formaldehyde vapor sensor
Si bridge
MEMS
modified acrylic adhesive
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
甲醛气体传感器研究进展
被引量：
8
2
作者
郑良军
程军
谢劲灿
黄娟慧
向翠丽
邹勇进
机构
广西信息材料重点实验室桂林电子科技大学
出处
《传感器与微系统》
CSCD
2016年第7期1-4,8,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(51461011
512010142
+11 种基金
51201041
51371060
51361005
51101144
51461010
51401059
51361006)
广西自然科学基金资助项目(2014GXNSFAA118318
2013GXNSFCA019006
2013GXNSFBA019243)
广西研究生教育创新计划资助项目(YCSZ2015153)
国家级大学生创新训练项目(201410595031)
文摘
甲醛是室内主要气体污染物之一,严重危害人类身体健康。因此,开发高灵敏度和选择性的甲醛传感器显得非常重要。综述了近年来甲醛气体传感器的研究进展,从甲醛气体传感器敏感材料的制备、传感性能和存在的问题等方面进行了讨论,并指出了甲醛气体传感器的发展趋势。
关键词
甲醛气体传感器
灵敏度
稳定性
选择性
Keywords
formaldehyde gas sensor
sensitivity
stability
selectivity
分类号
TK91 [动力工程及工程热物理]
TQ116 [化学工程—无机化工]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于硅桥的新型甲醛气体传感器的研究
郭辉辉
陈向东
杜广涛
姚尧
李辉
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
7
在线阅读
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职称材料
2
甲醛气体传感器研究进展
郑良军
程军
谢劲灿
黄娟慧
向翠丽
邹勇进
《传感器与微系统》
CSCD
2016
8
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职称材料
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