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硅基聚合物AWG波分复用器研究
1
作者
张大明
赵禹
+4 位作者
王菲
陈开鑫
崔占臣
马春生
许武
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第0Z2期340-344,共5页
报道利用甲基丙稀酸甲酯-甲基丙稀酸缩水甘油酯共聚物研制AWG波分复用器，对其原理、设计及制作工艺进行了研究。设计出AWG版图，利用铝掩模技术及反应离子刻蚀工艺完成了聚合物AWG制作。实验结果证明，制备的波导实现了单模传输。
关键词
硅基聚合物
波分复用器
AWG
阵列波导光栅
铝掩模
反应离子刻蚀
制作工艺
光纤通信
甲基丙稀酸甲酯-甲基丙稀酸缩水甘油酯共聚物
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职称材料
题名
硅基聚合物AWG波分复用器研究
1
作者
张大明
赵禹
王菲
陈开鑫
崔占臣
马春生
许武
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区
吉林大学化学学院
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第0Z2期340-344,共5页
文摘
报道利用甲基丙稀酸甲酯-甲基丙稀酸缩水甘油酯共聚物研制AWG波分复用器，对其原理、设计及制作工艺进行了研究。设计出AWG版图，利用铝掩模技术及反应离子刻蚀工艺完成了聚合物AWG制作。实验结果证明，制备的波导实现了单模传输。
关键词
硅基聚合物
波分复用器
AWG
阵列波导光栅
铝掩模
反应离子刻蚀
制作工艺
光纤通信
甲基丙稀酸甲酯-甲基丙稀酸缩水甘油酯共聚物
分类号
TN25 [电子电信—物理电子学]
TN929.1 [电子电信—通信与信息系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
硅基聚合物AWG波分复用器研究
张大明
赵禹
王菲
陈开鑫
崔占臣
马春生
许武
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
0
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