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用电化学方法进行纳米级微细加工的初探 被引量:2
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作者 郭永丰 李旦 +1 位作者 赵家齐 姜兆华 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期403-406,共4页
本文利用电化学中的电解过程是以原子为单位进行阳极溶解的原理,进行了纳米级微细加工的研究。分析了用电化学方法进行原子级加工的可能性和条件,分别用酸、碱、盐等多种电,解液进行了微细加工试验。
关键词 电化学微细加工 用电化学方法 电解液 纳米级 电化学电解 阳极溶解 电流密度 电解加工 阳极极化曲线 金相组织
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