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聚合物微流控芯片的键合技术与方法
被引量：
9
1
作者
罗怡
王晓东
王立鼎
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第24期3012-3018,共7页
在微流控芯片的制作中,键合是关键技术之一,基片与盖片只有通过键合才能形成封闭的微通道,因此键合质量直接影响芯片的制作质量。对键合方法进行了分类,综述了目前已有的芯片键合技术及方法,分析了各种键合方法在制作质量、制作效率以...
在微流控芯片的制作中,键合是关键技术之一,基片与盖片只有通过键合才能形成封闭的微通道,因此键合质量直接影响芯片的制作质量。对键合方法进行了分类,综述了目前已有的芯片键合技术及方法,分析了各种键合方法在制作质量、制作效率以及是否适用于批量化制作等方面的局限性,详细介绍了具有效率高、适合批量化生产等优点的超声波键合技术的研究进展。
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关键词
聚合物微流控芯片
微流控芯片的键合技术
微流控芯片的制作工艺
生化mems器件
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职称材料
题名
聚合物微流控芯片的键合技术与方法
被引量：
9
1
作者
罗怡
王晓东
王立鼎
机构
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第24期3012-3018,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(50775024)
教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-06-0279)
文摘
在微流控芯片的制作中,键合是关键技术之一,基片与盖片只有通过键合才能形成封闭的微通道,因此键合质量直接影响芯片的制作质量。对键合方法进行了分类,综述了目前已有的芯片键合技术及方法,分析了各种键合方法在制作质量、制作效率以及是否适用于批量化制作等方面的局限性,详细介绍了具有效率高、适合批量化生产等优点的超声波键合技术的研究进展。
关键词
聚合物微流控芯片
微流控芯片的键合技术
微流控芯片的制作工艺
生化mems器件
Keywords
thermalplastic microfluidic chip
bonding technique for microfluidic chip
fabrication technique of microfluidic chip
bio-
mems
device
分类号
TP242 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
聚合物微流控芯片的键合技术与方法
罗怡
王晓东
王立鼎
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
9
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