期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
大口径平面镜的瑞奇-康芒检测数据处理方法
1
作者 张泊泊 鄂可伟 +6 位作者 李世杰 李晶 刘焕玉 郭永康 张东旭 薛勋 赵建科 《中国光学(中英文)》 北大核心 2025年第5期1164-1173,共10页
针对现有大口径平面反射镜面形检测中数据处理方法存在通用性较低、检测中数据易受环境影响等问题,本文提出了一种结合光线追迹法获取灵敏度矩阵的数据处理方法,对瑞奇-康芒法检测获得的数据进行处理分析,实现了对大口径平面镜的高精度... 针对现有大口径平面反射镜面形检测中数据处理方法存在通用性较低、检测中数据易受环境影响等问题,本文提出了一种结合光线追迹法获取灵敏度矩阵的数据处理方法,对瑞奇-康芒法检测获得的数据进行处理分析,实现了对大口径平面镜的高精度面形检测。首先,在Zemax软件中建立了瑞奇-康芒光学检测模型,并采用光线追迹算法获得了灵敏度矩阵,使用灵敏度矩阵计算并分离检测过程中存在的误差。其次,对基于灵敏度矩阵的数据处理算法进行了仿真验证。将该算法应用于口径为200mm平面镜的瑞奇-康芒法检测实验,通过与直接采用干涉仪检测结果的交叉对比,结果显示该方法相比于直接采用泽尼克拟合去除像差的方法具有更高的检测精度,避免了近似拟合对数据处理结果的影响,验证了该数据处理方法的正确性。进一步将该方法应用于口径为2.2m平面镜的制造流程中,最终获得的面形均方根误差优于1/50λ。该方法为大口径平面镜的瑞奇-康芒检测提供了一种高效可靠的数据处理算法,具有明显的工程应用价值。 展开更多
关键词 大口径平面镜 瑞奇-康芒法检测 灵敏度矩阵 光线追迹 数据处理算法
在线阅读 下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
关于我们 | 版权声明 | 联系我们 | 帮助中心| 意见反馈
主办单位：上海市教育委员会
技术支持：重庆维普资讯有限公司
渝公网安备 50019002500403号
使用帮助 返回顶部