两位置球面面形检测方法研究 被引量：3

1

作者 彭建华 沈亦兵 +1 位作者 汪凯巍 刘勇 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第9期1361-1365,共5页

三位置球面面形绝对检测方法在一定的条件下可以简化为两位置球面面形检测方法.本文在研究三位置绝对检测原理的基础上,提出了基于菲索干涉系统新的两位置球面面形检测方法.该方法的简化条件分为参考面面形误差偶对称或被检面面形误差... 三位置球面面形绝对检测方法在一定的条件下可以简化为两位置球面面形检测方法.本文在研究三位置绝对检测原理的基础上,提出了基于菲索干涉系统新的两位置球面面形检测方法.该方法的简化条件分为参考面面形误差偶对称或被检面面形误差偶对称两种不同的情况.实验结果表明,两位置检测方法可以有效实现PVr值λ/30的高准确度检测,且检测结果PVr值重复性在±λ/300范围内,RMS值重复性在±λ/4 000范围内.采用两位置检测方法得到的面形误差分布结果与三位置绝对检测方法非常接近,PVr值相差小于λ/300,RMS值相差小于λ/2 500.因此在一定条件下,两位置检测方法可以有效简化实验装置和检测步骤,且不失三位置绝对检测方法的准确度和重复性. 展开更多

关键词 两位置球面面形检测 三位置绝对检测 准确度 重复性

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非球面面形检测的特征干涉图数字分析法 被引量：3

2

作者 白剑 曹天宁 +1 位作者 程上彝 杨国光 《浙江大学学报（自然科学版）》 CSCD 2000年第1期105-109,共5页

对干涉图的数字分析法进行了研究 ,首先 ,利用动态条纹扫描技术对干涉图进行数字分析 ,然后与理论计算结果相比较 ,从而获得面形误差数据 ,最后在改进型 SPG- 型激光数字波面干涉仪上进行实测验证 ,表明其测量精度可达 λ/ 2 0 ( PV) ... 对干涉图的数字分析法进行了研究 ,首先 ,利用动态条纹扫描技术对干涉图进行数字分析 ,然后与理论计算结果相比较 ,从而获得面形误差数据 ,最后在改进型 SPG- 型激光数字波面干涉仪上进行实测验证 ,表明其测量精度可达 λ/ 2 0 ( PV) .对非球面度较小的非球面面形 ,其检测可通过直接利用标准球面镜作为参考表面在干涉仪上获得“非球面特征干涉图” 展开更多

关键词 条纹扫描技术 非球面面形检测 干涉图 数字分析

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PZT移相和CCD非线性对高精度球面面形检测的影响 被引量：2

3

作者 刘勇 沈亦兵 彭建华 《浙江大学学报（工学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期2116-2120,2127,共6页

为了提高球面面形的检测精度,对移相菲索干涉仪的球面测量方法中影响高精度球面面形检测的压电陶瓷晶体(PZT)移相误差和电荷耦合探测器(CCD)非线性误差进行探讨.通过理论分析和数值模拟的方法分别对PZT移相误差、CCD非线性误差进行具体... 为了提高球面面形的检测精度,对移相菲索干涉仪的球面测量方法中影响高精度球面面形检测的压电陶瓷晶体(PZT)移相误差和电荷耦合探测器(CCD)非线性误差进行探讨.通过理论分析和数值模拟的方法分别对PZT移相误差、CCD非线性误差进行具体分析,着重研究PZT移相误差和CCD非线性误差的综合影响.由五步移相算法,推导得出PZT和CCD的综合误差公式,对影响综合误差大小的主要因素如CCD二次非线性系数、条纹对比度和被检面曲率半径与口径的比值等进行分析.结果表明,提出的控制PZT和CCD综合误差影响的准则和相应的减小误差影响的方法,可以提高球面面形的检测精度. 展开更多

关键词 菲索干涉仪 PZT移相误差 CCD非线性误差 球面面形

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基于红外激光干涉仪的非球面面形测试技术研究 被引量：1

4

作者 李彦生 唐莹娟 +6 位作者 李汝劼 许红 苏斌 何雨纯 程敬辉 陈奕君 王乔方 《红外技术》 CSCD 北大核心 2022年第11期1243-1247,共5页

本文提出了一种基于红外激光干涉仪检测非球面面形的新方法,分为3个步骤:首先,利用红外激光干涉仪测量分析出非球面与标准球面之间的波像差;然后,根据非球面方程得出非球面与标准球面之间波像差的理论值;最后通过计算得出非球面的面形... 本文提出了一种基于红外激光干涉仪检测非球面面形的新方法,分为3个步骤:首先,利用红外激光干涉仪测量分析出非球面与标准球面之间的波像差;然后,根据非球面方程得出非球面与标准球面之间波像差的理论值;最后通过计算得出非球面的面形偏差。为验证这一方法的正确性和可靠性,采用ZYGO可见光干涉仪,使用补偿镜法测量了同一块抛物面反射镜的面形误差。结果表明,两种测量方法结果吻合。本新方法方便快捷,具有较强的通用性,可以用于非球面在加工过程中的面形测试。 展开更多

关键词 红外激光干涉仪 非球面面形 波像差

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凹非球面的非零位干涉检测技术

5

作者 张旭 李世杰 +3 位作者 刘丙才 田爱玲 梁海锋 蔡长龙 《中国光学（中英文）》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期140-149,共10页

为了实现凹非球面的快速、高精度与通用化检测,文中提出了一种将非球面当做球面,直接采用干涉仪检测的非零位干涉检测方法,并结合相应的数据处理方法,获得非球面的面形误差检测结果。首先,介绍了该方法的检测原理,建立了回程误差、调整... 为了实现凹非球面的快速、高精度与通用化检测,文中提出了一种将非球面当做球面,直接采用干涉仪检测的非零位干涉检测方法,并结合相应的数据处理方法,获得非球面的面形误差检测结果。首先,介绍了该方法的检测原理,建立了回程误差、调整误差的计算与去除模型,研究了面形误差的数据处理方法。然后,以两个不同非球面度的凹非球面为例,对其回程误差和调整误差进行了仿真计算,验证了该方法的有效性。最后,搭建了凹非球面的非零位检测实验装置,成功测量得到其面形误差。通过与自准直零位检测法或LUPHOScan轮廓测量法检测结果对比发现,两种方法测量得到的面形分布和评价指标具有高度一致性,验证了该检测方法的正确性。该检测方法在保证高精度测量的同时兼备一定的通用性与便捷性,为凹非球面的通用化检测提供了一种有效手段。 展开更多

关键词 非球面面形测量 非零位干涉检测 回程误差 数据处理

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一种基于Matlab的非球面光学元件面形参数测试技术 被引量：7

6

作者 尤越 王乔方 字正华 《红外技术》 CSCD 北大核心 2014年第4期331-335,共5页

提出了一种接触式轮廓仪测量非球面参数的新方法,该方法通过在传统的二维接触式轮廓仪基础上增加旋转,从而实现了三维测量。为了验证新方法的测量准确性与可行性,文中使用ZYGO干涉仪对旋转对称球面进行检测,与新方法的检测结果加以对比... 提出了一种接触式轮廓仪测量非球面参数的新方法,该方法通过在传统的二维接触式轮廓仪基础上增加旋转,从而实现了三维测量。为了验证新方法的测量准确性与可行性,文中使用ZYGO干涉仪对旋转对称球面进行检测,与新方法的检测结果加以对比。最后,使用新方法对非球面光学元件的面形参数进行测试,分析结果表明新的测量方法具备较高的测试精度,满足测量要求。 展开更多

关键词 非球面面形参数 接触式轮廓仪 ZYGO干涉仪 测试精度

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利用相位恢复波前传感技术检测球面镜面形

7

作者 马鑫雪 王建立 王斌 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第10期3428-3433,共6页

为了验证相位恢复波前传感器系统波前检测的能力,搭建了基于相位恢复测量方法的波前传感器检测球面镜面形的实验平台。该平台结构简单,抗震动,可以在对光路不进行任何改变的前提下,利用成像系统上已有的相机对整个光学系统进行在位检测... 为了验证相位恢复波前传感器系统波前检测的能力,搭建了基于相位恢复测量方法的波前传感器检测球面镜面形的实验平台。该平台结构简单,抗震动,可以在对光路不进行任何改变的前提下,利用成像系统上已有的相机对整个光学系统进行在位检测。为了验证相位恢复波前传感器测量方法的准确性,将相位恢复波前传感器测量结果与ZYGO干涉仪测量结果进行比较,实验结果表明在面形误差分布及误差的峰谷值(PV)和方均根值(RMS)上,两者具有极大的相似性,所以利用相位恢复波前传感器技术能有效地检测出球面镜的面形误差。 展开更多

关键词 相位恢复 波前传感器 球面镜面形 泽尼克多项式 像差

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大曲率光学零件面形的空间载频外差干涉术检测 被引量：4

8

作者 刘贱平 梁丽萍 +1 位作者 金世龙 刘光灿 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2009年第1期110-113,共4页

光学零件表面面形检测的结果直接影响光学零件的质量,介绍了一种在平面干涉仪上检测大曲率球面光学零件面形的方法,通过对干涉图进行预处理、FFT提取相位、解包裹,并采用Zernike多项式拟合,得到被检球面相对平面的面形函数,与指定的球... 光学零件表面面形检测的结果直接影响光学零件的质量,介绍了一种在平面干涉仪上检测大曲率球面光学零件面形的方法,通过对干涉图进行预处理、FFT提取相位、解包裹,并采用Zernike多项式拟合,得到被检球面相对平面的面形函数,与指定的球面相减后,再一次进行Zernike多项式拟合,得到了被检面相对于指定球面的面形函数,由此计算出被检球面的面形误差PV值、RMS值,N与△N,并模拟出了用球面干涉仪检测时的干涉条纹。该方法克服了接触检测的缺点,精度高,PV值的标准差σ优于λ/100,RMS值的标准差σ优于λ/700,而且可通过软件设定检测任意大曲率光学零件,为大曲率半径光学零件的检测提供了一种适用的方法。 展开更多

关键词 大曲率球面面形检测 空间载频外差干涉术 ZERNIKE多项式

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离轴郎奇法检测非球面的误差分析

9

作者 郭春凤 林晓艳 胡安铎 《激光杂志》 北大核心 2015年第9期17-21,共5页

基于离轴郎奇法的检测原理,通过计算机模拟,分析了点光源的位置误差、光栅和标定靶面的位置和倾斜角度误差以及摄像机标定过程引入的误差对待测面形重建精度的影响,数值结果表明点光源的位置误差以及光栅的位置和倾斜角度误差对离轴郎... 基于离轴郎奇法的检测原理,通过计算机模拟,分析了点光源的位置误差、光栅和标定靶面的位置和倾斜角度误差以及摄像机标定过程引入的误差对待测面形重建精度的影响,数值结果表明点光源的位置误差以及光栅的位置和倾斜角度误差对离轴郎奇法的检测精度有着较大的影响。此外,对不同非球面面形的离轴郎奇法检测精度进行了比较,结果表明离轴郎奇法检测椭球面和抛物面的精度高于检测双曲面。离轴郎奇法检测非球面的误差分析可以有效地指导离轴郎奇法检测过程中的误差管控,从而提高其实际检测非球面的精度。 展开更多

关键词 光学测量 三维面形测量 非球面面形 离轴郎奇法 条纹分析

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用于非球面绝对检测的计算全息位相探测类剪切干涉法

10

作者 戴晓芳 魏耀林 +1 位作者 葛宝臻 陈兴梧 《天津大学学报》 EI CAS CSCD 1996年第5期658-663,共6页

分析了计算全息（ＣＧＨ）位相探测干涉仪系统的原理特点，提出三波面类剪切干涉法，以消除系统误差，提高非球面检测精度，达到绝对测量的目的．

关键词 计算全息图 类剪切干涉法 非球面面形 绝对检测

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光学元件测试及设备

11

《中国光学》 EI CAS 1996年第1期81-82,共2页

TB92 96010572微机形成的非球面干涉图=Generating asphericsurfaces interferograms by mierocomputer[刊,中]/曹天宁,岑兆丰(浙江大学现代光学仪器国家重点实验室。浙江,杭州(310027))∥光学仪器。—1995,17(2)。

关键词 光学非球面 干涉图 现代光学仪器 折射率分布常数 自聚焦透镜 浙江大学 检测方法 精度分析 国家重点实验室 非球面面形

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光学工艺 光学加工工艺与设备

12

《中国光学》 CAS 2005年第2期96-96,共1页

TH703 2005021527 非球面最适球面的确定方法-三点法=Determination of aspheric reference sphere by tri-point method[刊,中]／王红 军(西安工业学院光电科学与工程学院.陕西,西安 (710032)),田爱玲…//应用光学．-2004,25(4).-63-65... TH703 2005021527 非球面最适球面的确定方法-三点法=Determination of aspheric reference sphere by tri-point method[刊,中]／王红 军(西安工业学院光电科学与工程学院.陕西,西安 (710032)),田爱玲…//应用光学．-2004,25(4).-63-65 根据非球面生产的实际情况,指出非球面最适球面的 确定方法,详细分析最适球面的计算方法,并对一抛物面 进行了实倒计算。通过与最小二乘法的计算结果比较。 展开更多

关键词 非球面面形 光学加工 工艺与设备 计算机模拟 加工方法 碳化硅 曲面 陕西 球面零件 凸面

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