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球状微米金刚石的制备过程及其场发射性能的研究
被引量：
1
1
作者
高金海
张武勤
+1 位作者
李桢
张兵临
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第9期877-881,共5页
在纯平的陶瓷衬底上面,利用磁控溅射方法镀上一层金属钛。对金属钛层进行表面缺陷处理后,放入微波等离子体化学气相沉积腔中,利用正交实验方法制备出场发射性能最优的薄膜,通过扫描电镜、X射线衍射仪、拉曼光谱仪等仪器,研究了薄膜的微...
在纯平的陶瓷衬底上面,利用磁控溅射方法镀上一层金属钛。对金属钛层进行表面缺陷处理后,放入微波等离子体化学气相沉积腔中,利用正交实验方法制备出场发射性能最优的薄膜,通过扫描电镜、X射线衍射仪、拉曼光谱仪等仪器,研究了薄膜的微观表面形态、结构组成等,得到了该薄膜是球状微米金刚石薄膜的结论。并进一步研究了最优场发射薄膜的发射机理。
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关键词
球状微米金刚石薄膜
场致电子发射
微波等离子体化学气相沉积
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职称材料
题名
球状微米金刚石的制备过程及其场发射性能的研究
被引量：
1
1
作者
高金海
张武勤
李桢
张兵临
机构
郑州师范学院物理与电子工程学院
郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室
出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第9期877-881,共5页
基金
教育部科学技术重点资助项目(No.205091)
河南省科学技术成果项目(教高豫科鉴委字〔2015〕第569号)
河南省高等学校重点科研项目(项目编号:16A140039)~~
文摘
在纯平的陶瓷衬底上面,利用磁控溅射方法镀上一层金属钛。对金属钛层进行表面缺陷处理后,放入微波等离子体化学气相沉积腔中,利用正交实验方法制备出场发射性能最优的薄膜,通过扫描电镜、X射线衍射仪、拉曼光谱仪等仪器,研究了薄膜的微观表面形态、结构组成等,得到了该薄膜是球状微米金刚石薄膜的结论。并进一步研究了最优场发射薄膜的发射机理。
关键词
球状微米金刚石薄膜
场致电子发射
微波等离子体化学气相沉积
Keywords
globularmicron diamond films
field emission
chemical vapor deposition
分类号
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
球状微米金刚石的制备过程及其场发射性能的研究
高金海
张武勤
李桢
张兵临
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2016
1
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