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组装微构件吸附用玻璃针尖规范化加工工艺研究 被引量:2
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作者 路敦武 黄惠杰 +3 位作者 沈蓓军 杨良民 刘增水 何伟 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1997年第2期54-57,共4页
建立了组装微构件吸附用玻璃针尖规范化加工装置,研究了有特定要求吸附针尖的规范化加工工艺,对得到的结果进行了分析和讨论。
关键词 微机械 组装用 玻璃针尖加工 机械加工工艺
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